氧化铍陶瓷流延成型浆料及其生产方法技术

本发明专利技术属于电子陶瓷材料生产技术领域，具体涉及一种氧化铍陶瓷流延成型浆料及其生产方法。针对现有技术还未见有氧化铍陶瓷流延成型浆料及其制备方法，无法制备性能更好的氧化铍陶瓷的问题，本发明专利技术提供一种氧化铍陶瓷流延成型浆料，其特征在于，浆料的组成为：按重量百分比计，粉体50％～70％，有机溶剂30％～50％，所述粉体为氧化铍粉体、二氧化硅粉体和氧化镁粉体的混合物，所述有机溶剂为邻苯二甲酸酯、甲苯、丁酮、异丙醇、磷酸酯类阴离子乳化剂和聚乙烯醇缩丁醛的混合物。本发明专利技术还提供了上述浆料的制备方法，经过预球磨、两次球磨，得到的浆料流延性能好，厚度薄、面积大、效率高、制造工艺更简单，具有明显的经济效益和社会效益。

Beryllium ceramic casting tape and its production method

The invention belongs to the technical field of electronic ceramic material production, in particular to a beryllium oxide ceramic tape casting slurry and a production method thereof. Aiming at the problem that there is no beryllium oxide ceramic tape-casting slurry and its preparation method in the prior art, and it is impossible to prepare beryllium oxide ceramics with better performance, the present invention provides a beryllium oxide ceramic tape-casting slurry, which is characterized by the composition of slurry as follows: powder 50%~70%, organic solvent 30%. The powder is a mixture of beryllium oxide powder, silica powder and magnesium oxide powder. The organic solvent is a mixture of phthalate ester, toluene, butanone, isopropanol, phosphate anionic emulsifier and polyvinyl butyral. The invention also provides the preparation method of the slurry. After pre-ball milling and twice ball milling, the slurry has good ductility, thin thickness, large area, high efficiency, simpler manufacturing process, and obvious economic and social benefits.

【技术实现步骤摘要】
氧化铍陶瓷流延成型浆料及其生产方法
本专利技术属于电子陶瓷材料生产
，具体涉及一种氧化铍陶瓷流延成型浆料及其生产方法。
技术介绍
氧化铍(BeO)高导热陶瓷是基础性关键无机非金属材料，对军工、核工业、航天、芯片制造具有重要战略意义。因具有高导热系数、高强度、高绝缘、低介质损耗以及良好的封装工艺适应性等特征，高导热特种陶瓷在微波技术、电真空技术、核技术、微电子与光电子
受到高度重视和广泛应用，直接影响大功率半导体器件、大功率集成电路、大功率微波真空器件及核反应堆系统的导热、绝缘性能，属于关键核心材料。目前，国际上在微波技术、核技术、真空电子技术、微电子与光电子
中，BeO高导热陶瓷作为主体散热绝缘材料，其优越的导热性能是其它材料无法取代的。随着技术发展，BeO高导热陶瓷应用领域也不断拓宽，新的领域也对BeO陶瓷材料基片具有更高的要求，要求更大面积，更薄和更均匀。对于4英寸以上、厚度0.3mm以内的陶瓷基片，一般都采用流延成型的方式进行生产制作，如氧化铝、氮化铝等材料流延成型的工艺已相当成熟。对于氧化铍材料，由于其毒性等原因，还未见有氧化铍流延成型方面的文献报道，而氧化本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.氧化铍陶瓷流延成型浆料，其特征在于，浆料的组成为：按重量百分比计，粉体50％～70％，有机溶剂30％～50％，所述粉体为氧化铍粉体、二氧化硅粉体和氧化镁粉体的混合物，所述有机溶剂为邻苯二甲酸酯、甲苯、丁酮、异丙醇、磷酸酯类阴离子乳化剂和聚乙烯醇缩丁醛的混合物。

【技术特征摘要】
1.氧化铍陶瓷流延成型浆料，其特征在于，浆料的组成为：按重量百分比计，粉体50％～70％，有机溶剂30％～50％，所述粉体为氧化铍粉体、二氧化硅粉体和氧化镁粉体的混合物，所述有机溶剂为邻苯二甲酸酯、甲苯、丁酮、异丙醇、磷酸酯类阴离子乳化剂和聚乙烯醇缩丁醛的混合物。2.根据权利要求1所述的氧化铍陶瓷流延成型浆料，其特征在于：所述的粉体由二氧化硅粉体、氧化镁粉体和氧化铍粉体按重量比＝0.05～0.2︰0.3～0.45︰100制备而成。3.根据权利要求1所述的氧化铍陶瓷流延成型浆料，其特征在于：所述的二氧化硅和氧化镁粉体均为纳米级，所述的氧化铍粉体纯度≥99.5％。4.根据权利要求1所述的氧化铍陶瓷流延成型浆料，其特征在于：所述的粉体粒度分布为D10＝0.2～0.4μm，D50＝1.5～3.0μm，D90＝4.0～5.5μm。5.根据权利要求1所述的氧化铍陶瓷流延成型浆料，其特征在于：所述的有机溶剂组成为：按重量百分比计，邻苯二甲酸酯5～8％、甲苯30～40％、丁酮18～25％、异丙醇18～25％、磷酸酯类阴离子乳化剂0.5～1％和聚乙烯醇缩丁醛15～20％。6.根据权利要求1所述的氧化铍...

【专利技术属性】
技术研发人员：段冰，王刚，尚华，林贵洪，任鹏道，刘志文，
申请(专利权)人：宜宾红星电子有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51