一种新型蓝宝石抛光液制造技术

技术编号:19074199 阅读:30 留言:0更新日期:2018-09-29 17:08
新型蓝宝石抛光液,其制备原料至少包括N‑甲基吡咯烷酮、醇胺、醇醚、脂肪醇聚氧乙烯醚、亚甲基双萘磺酸钠、过渡金属氧化物、水。

【技术实现步骤摘要】
一种新型蓝宝石抛光液
本专利技术涉及蓝宝石表面处理领域,尤其涉及新型蓝宝石抛光液。
技术介绍
蓝宝石具有硬度高、熔点高、透光性好、热传导性和电绝缘性优良、化学性能稳定等特点。能够用于精密仪器仪表、航天工业的红外透光材料、激光器的窗口和反射镜、半导体硅的外延几篇、半导体GaN的外延衬底材料、绝缘衬底的集成芯片,对蓝宝石的表面质量要求较高。
技术实现思路
为了解决现有技术问题,本专利技术提供一种新型蓝宝石抛光液,其制备原料至少包括N-甲基吡咯烷酮、醇胺、醇醚、脂肪醇聚氧乙烯醚、亚甲基双萘磺酸钠、过渡金属氧化物、水。在一些实施方式中,所述醇胺选自三异丙醇胺、二乙醇胺、N,N-二苄基乙醇、N-丁基二乙醇胺、三乙醇胺、N,N-二丁基乙醇胺、N-(苯氧基异丙基)乙醇胺、N-甲基二乙醇胺、N,N-二甲基乙醇胺、乙基羟乙胺、二异丙醇胺、油酰乙醇胺、N-苯基乙醇胺、杏仁酰二乙醇胺、橄榄油酰二乙醇胺、芝麻油酰二乙醇胺、麦胚芽酰二乙醇胺、N-乙基二乙醇胺、月桂醇硫酸酯三乙醇胺盐、二烯丙基乙醇胺、苯乙酸醇胺、三乙醇胺月桂酸酯中的至少一种。在一些实施方式中,所述醇醚选自二乙二醇甲乙醚、乙二醇单辛醚、二聚乙二醇单甲基戊基醚、一缩二丙二醇单甲醚、丙二醇甲醚、乙二醇甲醚、乙二醇二甲醚、乙二醇单乙醚、4-甲氧基-1-丁醇、3-乙氧基丙醇、二乙二醇单甲醚、乙二醇单丁醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇二甲醚、二丙二醇二甲醚、乙二醇单己基醚、二乙二醇二乙醚、三乙二醇二甲醚、三乙二醇单乙醚、二乙二醇单己醚、二乙二醇二丁醚、二丙二醇甲基醚、乙二醇苯醚、丙二醇单烯丙基醚、四乙二醇二甲醚、二丙二醇甲丙醚、四乙二醇单丁醚、二丙二醇单乙醚、丙二醇丁基醚、丙二醇二缩水甘油基醚中的至少一种。在一些实施方式中,所述脂肪醇聚氧乙烯醚选自AEO-9、AEO-7、AEO-3中的至少一种。在一些实施方式中,所述过渡金属氧化物中的金属为镧系元素。在一些实施方式中,所述镧系元素选自镧、铈、钕、铕、铒、铥、镱中的至少一种。在一些实施方式中,所述过渡金属氧化物为粒径为10-30nm的第一过渡金属氧化物与粒径为30-60nm的第二过渡金属氧化物的混合物。在一些实施方式中,所述第一过渡金属氧化物与第二过渡金属氧化物的重量比为7:2。在一些实施方式中,还包括聚乙烯吡咯烷酮。在一些实施方式中,所述聚乙烯吡咯烷酮的平均分子量为10000-33000。附图说明图1为将实施例2离心,取上清液烘干后的核磁共振氢谱;图2为实施例2的顶空-气相色谱的色谱流出图。具体实施方式为了下面的详细描述的目的,应当理解,本专利技术可采用各种替代的变化和步骤顺序,除非明确规定相反。此外,除了在任何操作实例中,或者以其他方式指出的情况下,表示例如说明书和权利要求中使用的成分的量的所有数字应被理解为在所有情况下被术语“约”修饰。因此,除非相反指出,否则在以下说明书和所附权利要求中阐述的数值参数是根据本专利技术所要获得的期望性能而变化的近似值。至少并不是试图将等同原则的适用限制在权利要求的范围内,每个数值参数至少应该根据报告的有效数字的个数并通过应用普通舍入技术来解释。尽管阐述本专利技术的广泛范围的数值范围和参数是近似值,但是具体实例中列出的数值尽可能精确地报告。然而,任何数值固有地包含由其各自测试测量中发现的标准偏差必然产生的某些误差。此外,应当理解,本文所述的任何数值范围旨在包括归入其中的所有子范围。例如,“1至10”的范围旨在包括介于(并包括)所述最小值1和所述最大值10之间的所有子范围,即具有等于或大于1的最小值和等于或小于10的最大值。本专利技术提供一种新型蓝宝石抛光液,其制备原料至少包括N-甲基吡咯烷酮、醇胺、醇醚、脂肪醇聚氧乙烯醚、亚甲基双萘磺酸钠、过渡金属氧化物、水。在一些优选的实施方式中,以重量份计,其制备原料至少包括N-甲基吡咯烷酮0.1-1份、醇胺0.1-0.8份、醇醚0.05-0.5份、脂肪醇聚氧乙烯醚0.1-1份、亚甲基双萘磺酸钠0.05-0.5份、过渡金属氧化物50-80份、水30-40份。在一些优选的实施方式中,以重量份计,其制备原料至少包括N-甲基吡咯烷酮0.3-0.4份、醇胺0.2-0.3份、醇醚0.1-0.2份、脂肪醇聚氧乙烯醚0.2-0.3份、亚甲基双萘磺酸钠0.1-0.2份、过渡金属氧化物62-64份、水35-36份。蓝宝石化学性质稳定,耐高温和耐磨性好,硬度仅次于金刚石,有较好的介电特性和热特性。如果采用机械抛光法,只能使用金刚石粉末对蓝宝石抛光,但是抛光效率较低,并且容易在蓝宝石表面留下划痕。化学抛光主要利用化学试剂对材料表面进行腐蚀,去除材料表面的突起,使材料表面光滑平整,但是化学抛光时需要高温提供化学腐蚀所需能量,在材料表面容易留下雾斑,影响抛光效果。根据晶体生长方向不同,蓝宝石可以分为A向、C向和R向蓝宝石,其中A向蓝宝石晶体生长方向选用了原子最密面。在一些实施方式中,所述蓝宝石为A向蓝宝石。在一些实施方式中,所述醇胺选自三异丙醇胺、二乙醇胺、N,N-二苄基乙醇、N-丁基二乙醇胺、三乙醇胺、N,N-二丁基乙醇胺、N-(苯氧基异丙基)乙醇胺、N-甲基二乙醇胺、N,N-二甲基乙醇胺、乙基羟乙胺、二异丙醇胺、油酰乙醇胺、N-苯基乙醇胺、杏仁酰二乙醇胺、橄榄油酰二乙醇胺、芝麻油酰二乙醇胺、麦胚芽酰二乙醇胺、N-乙基二乙醇胺、月桂醇硫酸酯三乙醇胺盐、二烯丙基乙醇胺、苯乙酸醇胺、三乙醇胺月桂酸酯中的至少一种。在一些优选的实施方式中,所述醇胺的氮上具有取代基。作为本专利技术的一种优选的实施方式,所述醇胺选自N,N-二苄基乙醇、N-丁基二乙醇胺、N,N-二丁基乙醇胺、N-(苯氧基异丙基)乙醇胺、N-甲基二乙醇胺、N,N-二甲基乙醇胺、N-乙基二乙醇胺、N-苯基乙醇胺中的至少一种。在一些实施方式中,所述醇醚选自二乙二醇甲乙醚、乙二醇单辛醚、二聚乙二醇单甲基戊基醚、一缩二丙二醇单甲醚、丙二醇甲醚、乙二醇甲醚、乙二醇二甲醚、乙二醇单乙醚、4-甲氧基-1-丁醇、3-乙氧基丙醇、二乙二醇单甲醚、乙二醇单丁醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇二甲醚、二丙二醇二甲醚、乙二醇单己基醚、二乙二醇二乙醚、三乙二醇二甲醚、三乙二醇单乙醚、二乙二醇单己醚、二乙二醇二丁醚、二丙二醇甲基醚、乙二醇苯醚、丙二醇单烯丙基醚、四乙二醇二甲醚、二丙二醇甲丙醚、四乙二醇单丁醚、二丙二醇单乙醚、丙二醇丁基醚、丙二醇二缩水甘油基醚中的至少一种。在一些实施方式中,所述脂肪醇聚氧乙烯醚选自AEO-9、AEO-7、AEO-3中的至少一种。在一些实施方式中,所述过渡金属氧化物中的金属为镧系元素。在一些实施方式中,所述镧系元素选自镧、铈、钕、铕、铒、铥、镱中的至少一种。在一些实施方式中,所述过渡金属氧化物为粒径为10-30nm的第一过渡金属氧化物与粒径为30-60nm的第二过渡金属氧化物的混合物。在一些实施方式中,所述第一过渡金属氧化物与第二过渡金属氧化物的重量比为7:2。在一些实施方式中,还包括聚乙烯吡咯烷酮。在一些实施方式中,所述聚乙烯吡咯烷酮的平均分子量为10000-33000。所述含有聚乙烯吡咯烷酮可以直接购买得到,例如购买自攻碧克新材料科技上海有限公司。专利技术人在完成本专利技术的过程中发现,第一过渡金属氧化物与第二过渡金属氧化物以一定的粒径和重量比混合,能够形成本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.新型蓝宝石抛光液,其特征在于,其制备原料至少包括N‑甲基吡咯烷酮、醇胺、醇醚、脂肪醇聚氧乙烯醚、亚甲基双萘磺酸钠、过渡金属氧化物、水。

【技术特征摘要】
1.新型蓝宝石抛光液,其特征在于,其制备原料至少包括N-甲基吡咯烷酮、醇胺、醇醚、脂肪醇聚氧乙烯醚、亚甲基双萘磺酸钠、过渡金属氧化物、水。2.如权利要求1所述的新型蓝宝石抛光液,其特征在于,所述醇胺选自三异丙醇胺、二乙醇胺、N,N-二苄基乙醇、N-丁基二乙醇胺、三乙醇胺、N,N-二丁基乙醇胺、N-(苯氧基异丙基)乙醇胺、N-甲基二乙醇胺、N,N-二甲基乙醇胺、乙基羟乙胺、二异丙醇胺、油酰乙醇胺、N-苯基乙醇胺、杏仁酰二乙醇胺、橄榄油酰二乙醇胺、芝麻油酰二乙醇胺、麦胚芽酰二乙醇胺、N-乙基二乙醇胺、月桂醇硫酸酯三乙醇胺盐、二烯丙基乙醇胺、苯乙酸醇胺、三乙醇胺月桂酸酯中的至少一种。3.如权利要求1所述的新型蓝宝石抛光液,其特征在于,所述醇醚选自二乙二醇甲乙醚、乙二醇单辛醚、二聚乙二醇单甲基戊基醚、一缩二丙二醇单甲醚、丙二醇甲醚、乙二醇甲醚、乙二醇二甲醚、乙二醇单乙醚、4-甲氧基-1-丁醇、3-乙氧基丙醇、二乙二醇单甲醚、乙二醇单丁醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇二甲醚、二丙二醇二甲醚、乙二醇单己基醚、二乙二醇二乙醚、三乙二醇二甲醚、三乙二醇单乙醚、二乙二醇单...

【专利技术属性】
技术研发人员:郭小东
申请(专利权)人:江西汇诺科技有限公司
类型:发明
国别省市:江西,36

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1