砂轮划片机搭载的工作平台旋转机构制造技术

技术编号:19020136 阅读:48 留言:0更新日期:2018-09-26 18:14
本实用新型专利技术涉及砂轮划片机搭载的工作平台旋转机构。该砂轮划片机搭载的工作平台旋转机构包括:旋转平台模块、同步带、驱动电机装配、工作盘,所述旋转平台模块上设有工作盘,所述旋转平台模块通过同步带连接到驱动电机装配,所述旋转平台模块与驱动电机装配下方设有承载用的安装板,所述工作盘与旋转平台模块之间设有陶瓷间隔盘。本实用新型专利技术提供的砂轮划片机搭载的工作平台旋转机构,在确保运转精度的前提下,减小设备外形尺寸,便于整机的尺寸减小和新功能组件的安装,并且,在成本上也有所降低。

Rotating mechanism of working platform for grinding dicing machine

The utility model relates to a rotating mechanism of a working platform carried by a grinding wheel scribing machine. The rotating mechanism of the working platform carried by the grinding wheel scribing machine comprises a rotating platform module, a synchronous belt, a driving motor assembly and a working disk. A working disk is arranged on the rotating platform module, and the rotating platform module is connected to the driving motor assembly through a synchronous belt. The rotating platform module is arranged below the driving motor assembly. A ceramic spacer is arranged between the working disc and the rotary platform module. The rotary mechanism of the working platform carried by the grinding wheel scribing machine provided by the utility model can reduce the external dimensions of the equipment, facilitate the reduction of the size of the whole machine and the installation of new functional components, and reduce the cost on the premise of ensuring the operation accuracy.

【技术实现步骤摘要】
砂轮划片机搭载的工作平台旋转机构
本专利技术涉及划片机
,特别涉及一种砂轮划片机搭载的工作平台旋转机构。
技术介绍
砂轮划片机是半导体分装过程的关键设备,其工作原理是强力磨削,而刀片是强力磨削的执行部件。砂轮划片机刀片是环形结构,安装于空气静压主轴的电机轴端上。工作时,在空气静压主轴电机的驱动下,以最高可达到60000r/min的转速来实现高速划切。由于刀片特殊的工作性质,在划切生产过程中,经常出现刀片磨损的状况,此时如果继续划切,就会影响划切质量,甚至是设备损坏。所以为了保证划切工件的划切质量,必须对刀片进行定时高度检测,检测出磨损量并及时给予补偿,而当刀片磨损量超过一定值时,则报警提示更换刀片,从而保证设备稳定工作,确保划切继续进行。目前砂轮划片机旋转机构采用的是涡轮涡杆驱动与DD马达直接驱动两种形式,但常用形式普遍存在加工复杂,装配繁琐,价格昂贵等缺陷。
技术实现思路
针对现有技术的上述缺陷,本技术提供的砂轮划片机搭载的工作平台旋转机构,解决了现有旋转工作平台在技术上和成本上存在的问题。为了达到上述目的,本技术提供如下技术方案:砂轮划片机搭载的工作平台旋转机构包括:旋转平台模块、同步带、驱动电机装配、工作盘,所述旋转平台模块上设有工作盘,所述旋转平台模块通过同步带连接到驱动电机装配,所述旋转平台模块与驱动电机装配下方设有承载用的安装板,所述工作盘与旋转平台模块之间设有陶瓷间隔盘,所述旋转平台模块与驱动电机装配通过旋转驱动模块控制,所述旋转驱动模块包括:电机驱动模块、驱动转角确定模块、工作盘转角确定模块、提示模块、转角补偿值模块,所述驱动转角确定模块通过电机驱动模块与驱动电机装配相连,所述转角补偿值模块通过提示模块连接工作盘转角确定模块,所述工作盘转角确定模块连接旋转平台模块。其中,旋转平台模块包括:旋转平台外转体、旋转平台轴承外径压盘、旋转平台轴承内径压盘、旋转平台轴承内径垫圈、旋转平台轴承外径垫圈、角接触球轴承、旋转平台空心轴、旋转平台带轮,所述旋转平台外转体外侧设有旋转平台带轮,内侧设有旋转平台空心轴,所述旋转平台空心轴上方设有旋转平台轴承外径压盘和旋转平台轴承内径压盘,所述角接触球轴承设置在旋转平台空心轴与旋转平台外转体之间,角接触球轴承内侧设有转平台轴承内径垫圈,外侧设有旋转平台轴承外径垫圈。其中,驱动电机装配包括:驱动伺服电机、驱动电机带轮、电机安装架,所述电机安装架上设有驱动伺服电机,所述驱动伺服电机与驱动电机带轮相连。其中,旋转平台模块支撑工作盘并为工作盘提供旋转服务。其中,同步带将驱动伺服电机提供旋转传递到旋转平台模块。其中,所述驱动电机装配为旋转机构提供旋转驱动。旋转平台模块,用于支撑工作盘并为工作盘提供旋转服务;同步带,用于将驱动电机提供旋转传递到旋转平台模块;驱动电机装配,用于为旋转机构提供旋转驱动;工作盘,用于支撑工作用真空吸盘,并且提供高精度平行度技术指标;安装板,用于承载所有安装件;陶瓷间隔盘,用于将工作盘与旋转平台模块用绝缘材料隔绝开来。旋转驱动模块,包括电机驱动模块、驱动转角确定模块、工作盘转角确定模块、提示模块、转角补偿值模块,其中:电机驱动模块,通过驱动模块向驱动电机发射驱动信号,使驱动电机按照要求转动;驱动转角确定模块,在驱动模块发射驱动信号之后,通过确定模块,确定转动的角度;工作盘转角确定模块,当驱动电机按照设定的转动角度驱动后,通过同步带将转动传递到工作盘组件,利用工作盘转角确定模块确定转动的角度。提示模块,用于当工作盘转角经过转角补偿后,仍然达不到目标角度时,显示工作错误的提示信息。转角补偿值模块,当工作盘转角确定模块检测出转角度数不够时,需要根据目标度数与实际度数之间的差值,提供补偿值。旋转平台模块包括:旋转平台外转体,用于实现旋转运动,并搭载外部一切安装件;旋转平台轴承外径压盘,用于将模块中的轴承压紧,确保在工作过程中无振动;旋转平台轴承内径压盘,用于将模块中的轴承压紧,确保在工作过程中无振动;旋转平台轴承内径垫圈,将一组轴承分隔开来,并且,通过内径垫圈和外径垫圈的高度差,消除轴承内的游动间隙;旋转平台轴承外径垫圈,将一组轴承分隔开来,并且,通过内径垫圈和外径垫圈的高度差,消除轴承内的游动间隙;角接触球轴承,为模块提供平顺的转动支撑;旋转平台空心轴,为模块提供固定且垂直于基准面的轴线;旋转平台带轮,将驱动电机提供的旋转扭矩传递到旋转平台带轮上,带动旋转平台模块转动;驱动电机装配包括:驱动伺服电机,为工作平台旋转机构提供转动扭矩;驱动电机带轮,将驱动电机提供的旋转扭矩传递到旋转平台带轮上,带动旋转平台模块转动;电机安装架,用于将伺服电机固定在安装板上。本技术的有益效果是:本技术提供的砂轮划片机搭载的工作平台旋转机构,在确保运转精度的前提下,减小设备外形尺寸,便于整机的尺寸减小和新功能组件的安装,并且,在成本上也有所降低。为了能更进一步了解本技术的特征以及
技术实现思路
,请参阅以下有关本技术的详细说明与附图,然而附图仅提供参考与说明用,并非用来对本技术加以限制。附图说明下面结合附图,通过对本技术的具体实施方式详细描述,将使本技术的技术方案及其它有益效果显而易见。图1是本技术砂轮划片机搭载的工作平台旋转机构的结构示意图。图2是本技术砂轮划片机搭载的工作平台旋转机构的旋转平台模块结构示意图。图3是本技术砂轮划片机搭载的工作平台旋转机构的驱动电机装配结构示意图。图4是本技术砂轮划片机搭载的工作平台旋转机构的旋转驱动模块结构示意图。具体实施方式为更进一步阐述本技术所采取的技术手段及其效果,以下结合本技术的优选实施例及其附图进行详细描述。请参阅图1至图4,砂轮划片机搭载的工作平台旋转机构包括:旋转平台模块11、同步带12、驱动电机装配13、工作盘,所述旋转平台模块11上设有工作盘,所述旋转平台模块11通过同步带12连接到驱动电机装配13,所述旋转平台模块11与驱动电机装配13下方设有承载用的安装板,所述工作盘与旋转平台模块11之间设有陶瓷间隔盘,所述旋转平台模块11与驱动电机装配13通过旋转驱动模块17控制,所述旋转驱动模块17包括:电机驱动模块171、驱动转角确定模块172、工作盘转角确定模块173、提示模块174、转角补偿值模块175,所述驱动转角确定模块172通过电机驱动模块171与驱动电机装配13相连,所述转角补偿值模块175通过提示模块174连接工作盘转角确定模块173,所述工作盘转角确定模块173连接旋转平台模块11。进一步,旋转平台模块11包括:旋转平台外转体111、旋转平台轴承外径压盘112、旋转平台轴承内径压盘113、旋转平台轴承内径垫圈114、旋转平台轴承外径垫圈115、角接触球轴承116、旋转平台空心轴117、旋转平台带轮118,所述旋转平台外转体111外侧设有旋转平台带轮118,内侧设有旋转平台空心轴117,所述旋转平台空心轴117上方设有旋转平台轴承外径压盘112和旋转平台轴承内径压盘113,所述角接触球轴承116设置在旋转平台空心轴117与旋转平台外转体111之间,角接触球轴承116内侧设有转平台轴承内径垫圈114,外侧设有旋转平台轴承外径垫圈115。进一步,驱动电机装本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.砂轮划片机搭载的工作平台旋转机构,其特征在于,包括:旋转平台模块、同步带、驱动电机装配、工作盘,所述旋转平台模块上设有工作盘,所述旋转平台模块通过同步带连接到驱动电机装配,所述旋转平台模块与驱动电机装配下方设有承载用的安装板,所述工作盘与旋转平台模块之间设有陶瓷间隔盘,所述旋转平台模块与驱动电机装配通过旋转驱动模块控制,所述旋转驱动模块包括:电机驱动模块、驱动转角确定模块、工作盘转角确定模块、提示模块、转角补偿值模块,所述驱动转角确定模块通过电机驱动模块与驱动电机装配相连,所述转角补偿值模块通过提示模块连接工作盘转角确定模块,所述工作盘转角确定模块连接旋转平台模块。

【技术特征摘要】
1.砂轮划片机搭载的工作平台旋转机构,其特征在于,包括:旋转平台模块、同步带、驱动电机装配、工作盘,所述旋转平台模块上设有工作盘,所述旋转平台模块通过同步带连接到驱动电机装配,所述旋转平台模块与驱动电机装配下方设有承载用的安装板,所述工作盘与旋转平台模块之间设有陶瓷间隔盘,所述旋转平台模块与驱动电机装配通过旋转驱动模块控制,所述旋转驱动模块包括:电机驱动模块、驱动转角确定模块、工作盘转角确定模块、提示模块、转角补偿值模块,所述驱动转角确定模块通过电机驱动模块与驱动电机装配相连,所述转角补偿值模块通过提示模块连接工作盘转角确定模块,所述工作盘转角确定模块连接旋转平台模块。2.根据权利要求1所述的砂轮划片机搭载的工作平台旋转机构,其特征在于,所述旋转平台模块包括:旋转平台外转体、旋转平台轴承外径压盘、旋转平台轴承内径压盘、旋转平台轴承内径垫圈、旋转平台轴承外径垫圈、角接触球轴承、旋转平台空心轴、旋转平台带轮,所...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙家全叶琳琳徐长远
申请(专利权)人:沈阳汉为科技有限公司
类型:新型
国别省市:辽宁,21

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