一种靶材绑定背管的金属化超声加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种靶材绑定背管的金属化超声加工装置，包括机架、用于安装背管的端部装夹装置、超声波发生器和内加热装置，端部装夹装置设置有内旋转环；机架的上方或一侧安装有一在加工过程中在超声加工区沿背管的长度方向来回移动的横向移动机构，超声波发生器安装于横向移动机构，超声波发生器具有超声定向发射面，超声定向发射面朝向超声加工区，且超声定向发射面与背管表面之间设置有间隙。本实用新型专利技术通过内加热装置以及超声波发生器配合，对靶材绑定背管进行金属化超声加工，提高靶材绑定层与背管的粘接强度，提高焊合率，使背管和靶材的直接面粘结更加牢固，且加工过程背管无形变产生。

Metallized ultrasonic machining device for target binding back pipe

The utility model provides a metallized ultrasonic processing device for a target-bound backpipe, which comprises a frame, an End-mounting device for mounting the backpipe, an ultrasonic generator and an internal heating device, and an internal rotating ring is arranged in the End-mounting device; an upper or a side of the frame is mounted along the backpipe in the ultrasonic processing area during the processing. A transverse moving mechanism moving back and forth in the length direction is arranged in the transverse moving mechanism. The ultrasonic generator has an ultrasonic directional transmitting surface, which faces the ultrasonic processing area, and a gap is arranged between the ultrasonic directional transmitting surface and the back pipe surface. The utility model uses the inner heating device and the ultrasonic generator to metallize the target binding backpipe, improves the bonding strength between the target binding layer and the backpipe, improves the bonding rate, makes the direct surface of the backpipe and the target material bond more firmly, and the backpipe is formed invisibly during the processing.

【技术实现步骤摘要】
一种靶材绑定背管的金属化超声加工装置
本技术涉及靶材绑定背管的金属化加工
，特别是一种提高靶材绑定层粘接强度、提高焊合率的靶材绑定背管的金属化超声加工装置。
技术介绍
背管的表面质量直接影响后期成型在背管表面的靶材的质量，特别影响靶材与背管之间的粘结牢固度和焊合率。很多绑定靶材都出现了导电不好、散热不均、脱落等现象，出现这些现象的原因，往往都是背管(或背板)与靶材之间的绑定层粘结附着不好，绑定层的两侧粘结情况影响靶材的导热导电，直接影响靶材的正常使用，因此，确保绑定质量是生产合格靶材的关键点之一。而靶材的品种繁多、规格多样，不同的靶材绑定时绑定层的附着情况不同，有些板材与绑定材料之间亲和力很差，如果不经过预处理直接绑定，焊合率低气泡多，且易脱落，因此，对背管或背板进行预处理(包括金属化加工)尤为重要。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种靶材绑定背管的金属化超声加工装置，对靶材绑定背管进行金属化超声加工，提高靶材绑定层与背管的粘接强度，提高焊合率。本技术解决其技术问题所采用技术方案是：一种靶材绑定背管的金属化超声加工装置，包括机架、用于安装背管的端部装夹本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材绑定背管的金属化超声加工装置，其特征在于：包括机架(10)、用于安装背管(3)的端部装夹装置(1)、超声波发生器(2)和内加热装置，机架(10)的左右两端部分别安装有一端部装夹装置(1)，端部装夹装置(1)设置有内旋转环(11)，以实现在两端部分别固定背管(3)并驱动背管(3)沿其圆周方向旋转，内加热装置包括一固定在机架(10)上的导热定型管(4)，导热定型管(4)内部安装有加热元件，导热定型管(4)穿过安装于端部装夹装置(1)的背管(3)的内腔中，导热定型管(4)的中段设置有加热区，加热区设定为超声加工区；机架(10)的上方或一侧安装有一在加工过程中在超声加工区沿背管(3)的长度...

【技术特征摘要】
1.一种靶材绑定背管的金属化超声加工装置，其特征在于：包括机架(10)、用于安装背管(3)的端部装夹装置(1)、超声波发生器(2)和内加热装置，机架(10)的左右两端部分别安装有一端部装夹装置(1)，端部装夹装置(1)设置有内旋转环(11)，以实现在两端部分别固定背管(3)并驱动背管(3)沿其圆周方向旋转，内加热装置包括一固定在机架(10)上的导热定型管(4)，导热定型管(4)内部安装有加热元件，导热定型管(4)穿过安装于端部装夹装置(1)的背管(3)的内腔中，导热定型管(4)的中段设置有加热区，加热区设定为超声加工区；机架(10)的上方或一侧安装有一在加工过程中在超声加工区沿背管(3)的长度方向来回移动的横向移动机构(5)，超声波发生器(2)安装于横向移动机构(5)，超声波发生器(2)具有超声定向发射面，超声定向发射面朝向超声加工区，且超声定向发射面与背管(3)表面之间设置有间隙。2.根据权利要求1所述的一种靶材绑定背管的金属化超声加工装置，其特征在于：所述端部装夹装置(1)包括旋转电机、移动底座、外固定环(12)和所述内旋转环(11)，移动底座滑动安装于机架(10)，以实现调节端部装夹装置(1)的左右位置，外固定环(12)固定于移动底座，内旋转环(11)旋转安装于外固定环(12)的内腔中，旋转电机固定于移动底座，旋转电机传动连接内旋转环(11)，以实现驱动内旋转环...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈明恒，文峰，
申请(专利权)人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44