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本实用新型提供一种靶材绑定背管的金属化超声加工装置，包括机架、用于安装背管的端部装夹装置、超声波发生器和内加热装置，端部装夹装置设置有内旋转环；机架的上方或一侧安装有一在加工过程中在超声加工区沿背管的长度方向来回移动的横向移动机构，超声波发...
该专利属于东莞市欧莱溅射靶材有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市欧莱溅射靶材有限公司授权不得商用。

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