一种旋转靶材的等静压成型模具制造技术

一种旋转靶材的等静压成型模具，包括弹性外模、刚性内模和端塞，刚性内模设置在弹性外模内腔中，弹性外模与刚性内模之间管形模腔的两端分别设有端塞，端塞朝向管形模腔的一侧与待成型粉料之间设有能够随弹性外模收缩形变而与待成型粉料一起被径向压缩的塑性过渡层，塑性过渡层与端塞相接的一面为圆锥形凹面，端塞上设有与圆锥形凹面配合相接的锥形凸起。通过塑性过渡层解决了喇叭状形变和密度不均问题；刚性支撑套和定位装置使粉料填充更均匀，圆弧状金属夹板和柔性层相结合使弹性夹持装置始终紧紧包裹管状素坯，使管状素坯形状规则、壁厚均匀、尺寸精度高，不仅利于烧结得到高性能靶材，同时减少了后期车削量，增加材料利用率，降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种旋转靶材的等静压成型模具
本专利技术涉及一种旋转靶成型模具，具体地说是一种旋转靶材的等静压成型模具。
技术介绍
近年来，平板显示行业快速发展，手机触摸屏、大型平板电视的市场越来越大。随着市场的发展，对平板显示器制备技术的要求也越来越高。尤其是，用于在玻璃基板上制备金属薄膜或氧化金属薄膜的磁控溅射装置中，正在逐渐用旋转靶来取代以往的平面靶，由此也带动了ITO旋转靶的飞速发展。目前ITO旋转靶坯体的成型方法，主要有挤出法、注浆成型和冷等静压成型。挤出法和注浆成型都可近净尺寸成型，在制作异形件方面有一定的优势。但是，挤出法得到的坯体中含有大量的有机物和水，难以烧结致密；注浆成型对料浆的要求比较苛刻，成型后素坯脱模比较困难，素坯的干燥也需要比较复杂的工艺，因此，技术难度较大。冷等静压成型工艺简单，得到的素坯密度高且均匀，利于后续烧结得到高性能的旋转靶材。但是，管状素坯成型模具在装填原料后都需要在模腔两端用端塞密封，为了保证密封效果，端塞要求有一定的硬度，冷等静压成型管状素坯时，在端塞处，弹性包套的变形和位移会受到端塞的阻碍，产生端头效应，使素坯两端呈喇叭状且密度偏低。另外，管状素坯的成型模具在填充原料前，需要先定位内模和外模使其同心，现有技术中通常在模具两端设置定位环等部件进行定位。虽然在模具两端保持了同心定位，但是，由于柔性模具材料易变形，在填充原料的过程中可能导致模具局部变形，在局部产生不同心的情况，会导致填充不均匀，成型的管状素坯产生壁厚不均，表面不规则的现象。因此，冷等静压成型的管状素坯往往需要将其外表面和两端加工掉很大一部分，才能获得规则的形状（例如CN102277558A和US5，435，965）。这种加工不仅增加了工序，而且导致材料相当大的损失，这也是冷等静压法制备ITO旋转靶的过程中材料利用率低的一个重要原因。由于ITO旋转靶的制备原料比较昂贵，材料利用率的问题得不到有效解决，就会增加生产成本，降低利润空间，影响企业竞争力。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是克服模具端头效应导致素坯两端产生喇叭状形变的问题，提供一种旋转靶材的等静压成型模具。本专利技术为解决上述技术问题所采用的技术方案是：一种旋转靶材的等静压成型模具，包括弹性外模、刚性内模和端塞，刚性内模设置在弹性外模的内腔中，在弹性外模与刚性内模之间形成用于填充待成型粉料的管形模腔，管形模腔的两端分别设有端塞，所述端塞朝向管形模腔的一侧与管形模腔内填充的待成型粉料之间设有能够随弹性外模收缩形变而与待成型粉料一起被径向压缩的塑性过渡层，塑性过渡层与端塞相接的一面为圆锥形凹面，端塞上设有与该圆锥形凹面配合相接的锥形凸起。所述的塑性过渡层为圆环形的泡沫橡胶，其厚度大于30mm。所述的等静压成型模具还设有一个用于在装填待成型粉料时套在所述弹性外模外侧的刚性支撑套，刚性支撑套的内径与弹性外模的外径相当。所述刚性支撑套的轴向长度大于管形模腔填充待成型粉料部分的轴向长度。在解决上述技术问题的基础上，进一步的，所述的等静压成型模具还设有一个用于在装填待成型粉料时放置在管形模腔中的定位装置，该定位装置包括两个同心设置的圆筒，其中，内侧圆筒的内侧面与刚性内模的外侧面滑动配合，外侧圆筒的外侧面与弹性外模的内侧面滑动配合，外侧圆筒和内侧圆筒之间通过与其轴向平行的连接片固定连接。所述的定位装置上设有用于将其拉出管形模腔的提升手柄。在解决上述技术问题的基础上，进一步的，所述的等静压成型模具还设有一个用于在等静压时包围在弹性外模外侧的弹性夹持装置，所述的弹性夹持装置设有至少两块围绕弹性外模外侧壁设置的圆弧状金属夹板，圆弧状金属夹板用于夹持弹性外模的内壁上设有能够在等静压过程中受压收缩的柔性层，柔性层的内壁为圆弧面，且该圆弧面的直径大于圆弧状金属夹板内壁的圆弧直径，并与弹性外模的外壁直径相当。所述圆弧状金属夹板内壁的圆弧直径与等静压后管状素坯的外径相当。相邻的圆弧状金属夹板之间通过弹性拉紧元件连接，或者在设置的多个圆弧状金属夹板的外侧套设有用于将多个圆弧状金属夹板固定在弹性外模外壁上的弹性拉紧环。所述的圆弧状金属夹板上设有供等静压介质通过的通孔。本专利技术的有益效果是：塑性过渡层能够随弹性外模收缩形变而与待成型粉料一起被径向压缩，保证与待成型粉料接触部分的弹性外模的形变和位移不受端塞影响，从而使弹性外模装粉部位各个地方所受压力相同，均匀收缩，得到形状规则均匀的管状素坯，由此解决两端喇叭状形变及密度不均匀的问题。而且，在等静压时，从端塞到待成型粉料，塑性过渡层的径向压缩量逐渐增加，弹性外模的形变也将是一个渐变的过程，通过对塑性过渡层的压缩量进行梯度设计，这不仅改善了弹性外模在端塞肩角处急剧变形的情况，避免弹性外模被撕裂，延长了弹性外模的使用寿命，也使压力通过弹性外模传递时，不会受到端塞的影响。进一步的，在解决端头效应问题的基础上，刚性支撑套能够从外侧支撑弹性外模，在装料过程中防止弹性外模向外形变。定位装置则能够从内部支承弹性外模，保证弹性外模内壁的圆度，防止弹性外模向内产生形变。定位装置在装料过程中逐步提升，起到对弹性外模和刚性内模间隔定位的作用，保证弹性外模与刚性内模在装料部位始终同心，从而保证管形模腔内各个部位的填料厚度一致，进而保证等静压后管状素坯的壁厚均匀。进一步的，弹性夹持装置的圆弧状金属夹板在弹性拉紧元件或弹性拉紧环的作用下随弹性外模的收缩而向中心聚集收缩，始终保持对弹性外模的夹持。圆弧状金属夹板内壁与柔性层内壁弧面直径的差异使柔性层具有厚度自中心向两侧逐步减小的特殊结构。柔性层在等静压过程中受压力作用逐步收缩，其压缩量自两侧向中心逐步增大，使其内壁弧度随着弹性外模的收缩而变化，保证圆弧状金属夹板始终紧紧包裹在弹性外模的外表面，进一步保证管状素坯的外表面在等静压过程中保持规则的形状。由此得到的管状素坯形状规则、壁厚均匀、尺寸精度高、密度均匀，这不仅有利于后续烧结得到高性能的ITO旋转靶材，同时大大减少了后期车削加工量，增加材料利用率，降低生产成本，提升利润空间。附图说明图1是塑性过渡层及刚性支撑套的设置方式示意图。图2是定位装置的轴向剖面示意图。图3是图2所示定位装置的俯视图。图4是弹性夹持装置一种实施例的示意图。图中标记：1、刚性内模，2、弹性外模，3、刚性支撑套，4、端塞，5、塑性过渡层，6、待成型粉料，7、把手，8、内侧圆筒，9、外侧圆筒，10、连接片，11、提升手柄，12、圆弧状金属夹板，13、柔性层，14、通孔，15、弹性拉紧环。具体实施方式以下结合附图具体说明本专利技术的实施方式。如图1所示，本专利技术的旋转靶材等静压成型模具包括弹性外模2、刚性内模1和端塞4。刚性内模1设置在弹性外模2的内腔中，在弹性外模2与刚性内模1之间形成用于填充待成型粉料6的管形模腔。刚性内模1用于形成管状旋转靶材的中心孔，其材质较硬，通常为金属材质。弹性外模2是模具的包套，在等静压过程中收缩以压实粉料，其材质通常为氯丁橡胶、聚氨酯、硅橡胶、聚氯乙烯中的任意一种。端塞4用于将待成型粉料封闭在管形模腔中，通常采用两个端塞4分别设置在管形模腔的两端。为保证密封效果，端塞的邵氏硬度应大于50度，其材质通常为氯丁橡胶、聚氨酯、硅橡胶、聚氯乙烯中的任意一种。由于端塞硬度较高，在等静压过本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种旋转靶材的等静压成型模具，包括弹性外模（2）、刚性内模（1）和端塞（4），刚性内模（1）设置在弹性外模（2）的内腔中，在弹性外模（2）与刚性内模（1）之间形成用于填充待成型粉料（6）的管形模腔，管形模腔的两端分别设有端塞（4），其特征在于：所述端塞（4）朝向管形模腔的一侧与管形模腔内填充的待成型粉料（6）之间设有能够随弹性外模（2）收缩形变而与待成型粉料（6）一起被径向压缩的塑性过渡层（5），塑性过渡层（5）与端塞（4）相接的一面为圆锥形凹面，端塞（4）上设有与该圆锥形凹面配合相接的锥形凸起。

【技术特征摘要】
1.一种旋转靶材的等静压成型模具，包括弹性外模（2）、刚性内模（1）和端塞（4），刚性内模（1）设置在弹性外模（2）的内腔中，在弹性外模（2）与刚性内模（1）之间形成用于填充待成型粉料（6）的管形模腔，管形模腔的两端分别设有端塞（4），其特征在于：所述端塞（4）朝向管形模腔的一侧与管形模腔内填充的待成型粉料（6）之间设有能够随弹性外模（2）收缩形变而与待成型粉料（6）一起被径向压缩的塑性过渡层（5），塑性过渡层（5）与端塞（4）相接的一面为圆锥形凹面，端塞（4）上设有与该圆锥形凹面配合相接的锥形凸起。2.如权利要求1所述的一种旋转靶材的等静压成型模具，其特征在于：所述的塑性过渡层（5）为圆环形的泡沫橡胶，其厚度大于30mm。3.如权利要求1所述的一种旋转靶材的等静压成型模具，其特征在于：还设有一个用于在装填待成型粉料（6）时套在所述弹性外模（2）外侧的刚性支撑套（3），刚性支撑套（3）的内径与弹性外模（2）的外径相当。4.如权利要求3所述的一种旋转靶材的等静压成型模具，其特征在于：所述刚性支撑套（3）的轴向长度大于管形模腔填充待成型粉料部分的轴向长度。5.如权利要求1所述的一种旋转靶材的等静压成型模具，其特征在于：还设有一个用于在装填待成型粉料时放置在管形模腔中的定位装置，该定位装置包括两个同心设置的圆筒，其中，内侧圆筒（8）的内侧面与刚性内模（1）的外侧面滑动配合，...

【专利技术属性】
技术研发人员：师琳璞，崔晓芳，薛建强，郗雨林，
申请(专利权)人：中国船舶重工集团公司第七二五研究所，
类型：发明
国别省市：河南,41