一种光学真空镀膜机内腔清洁方法技术

本发明专利技术提供一种光学真空镀膜机内腔清洁方法，涉及光学元件真空镀膜领域，清洁方法如下：用钢丝刷清除光学真空镀膜机内腔及夹具上的残留镀膜，使用腐蚀剂对光学真空镀膜机内腔及夹具冲刷30‑40min，持续用去离子水一次冲洗10‑20min后，在去离子水中通入惰性气体，升温后继续二次冲洗40‑50min，将夹具放入超声波机器中，升温后震荡清洗10‑20min，待光学真空镀膜机内腔及夹具通过流动的热风蒸发干燥后重新安装回系统内，结束清洗工作，本发明专利技术通过物理方法与化学方法的双重结合，实现对光学真空镀膜机内腔及其夹具上残留镀膜的充分清除，提高光学真空镀膜机的使用寿命。

Cleaning method for inner cavity of optical vacuum coating machine

The invention provides a cleaning method for the inner cavity of an optical vacuum coating machine, which relates to the field of vacuum coating of optical elements. The cleaning method is as follows: using a steel wire brush to remove the residual coating on the inner cavity and fixture of an optical vacuum coating machine, using a corrosive agent to wash the inner cavity and fixture of an optical vacuum coating machine for 30 40 minutes, and continuously using deionized water once. After washing for 10 20 minutes, the inert gas is injected into the deionized water. After heating, the clamp is flushed for 40 50 minutes. After heating, the clamp is put into the ultrasonic machine, and the clamp is washed for 10 20 minutes. After the inner cavity of the optical vacuum coating machine and the clamp are evaporated and dried by the flowing hot air, the cleaning work is finished. The invention combines the physical method with the chemical method to remove the residual coating on the inner cavity of the optical vacuum coating machine and its fixture, and improves the service life of the optical vacuum coating machine.

【技术实现步骤摘要】
一种光学真空镀膜机内腔清洁方法
本专利技术涉及光学元件真空镀膜领域，具体涉及一种光学真空镀膜机内腔清洁方法。
技术介绍
光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程。在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。常用的镀膜法有真空镀膜(物理镀膜的一种)和化学镀膜，其中真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。然而现实生活中，在进行真空镀膜时，真空镀膜设备内表面上会受到溅射物或者蒸涂物的污染，它们冷凝在光学真空镀膜机的内腔或夹具上，并在与空气接触时发生反应，形成污染物质。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种光学真空镀膜机内腔清洁方法，通过物理方法与化学方法的双重结合，实现对光学真空镀膜机内腔及其夹具上残留镀膜的充分清除，提高光学真空镀膜机的使用寿命。(二)技术方案为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种光学真空镀膜机内腔清洁方法，包括以下步骤：(1)用钢丝刷清除光学真空镀膜机内腔及夹具上的残本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学真空镀膜机内腔清洁方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)用钢丝刷清除光学真空镀膜机内腔及夹具上的残留镀膜；(2)使用腐蚀剂对光学真空镀膜机内腔及夹具冲刷30‑40min；(3)持续用去离子水一次冲洗10‑20min后，在去离子水中通入惰性气体，升温后继续二次冲洗40‑50min；(4)将夹具放入超声波机器中，升温后震荡清洗10‑20min；(5)待光学真空镀膜机内腔及夹具通过流动的热风蒸发干燥后重新安装回系统内，结束清洗工作。

【技术特征摘要】
1.一种光学真空镀膜机内腔清洁方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)用钢丝刷清除光学真空镀膜机内腔及夹具上的残留镀膜；(2)使用腐蚀剂对光学真空镀膜机内腔及夹具冲刷30-40min；(3)持续用去离子水一次冲洗10-20min后，在去离子水中通入惰性气体，升温后继续二次冲洗40-50min；(4)将夹具放入超声波机器中，升温后震荡清洗10-20min；(5)待光学真空镀膜机内腔及夹具通过流动的热风蒸发干燥后重新安装回系统内，结束清洗工作。2.如权利要求1所述的光学真空镀膜机内腔清洁方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳一民，王静辉，
申请(专利权)人：桑尼光电技术安徽有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34