一种微电子器件的除尘装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种微电子器件的除尘装置，包括支撑件和固定架，固定架的底端与支撑件连接，支撑件上设有导风腔，导风腔两侧对称分布有回风腔，导风腔内嵌设有导风腔管，导风腔管顶端与离子风机连接，导风腔管底端低于支撑件的底面；回风腔内均嵌设有回风腔管，回风腔管顶端与吸尘机连接，回风腔管底端与支撑件的底面平齐离子风机和吸尘机固定在支撑架或固定架上，吸尘机位于离子风机的任一侧；本发明专利技术结合微电子器件生产实际，在导风腔管两侧均设有回风腔管，并且导风腔管的底端低于回风腔管，即导风腔管更接近微电子工件表面，清洁效果好由于吸尘腔管附近的气压低于工件附近的气压，气流快速向上卷升，被吸尘机吸走，不会扩散至生产车间中。

A dust removal device for microelectronic devices

The invention relates to a dust removal device for microelectronic devices, which comprises a support and a fixing frame, the bottom end of the fixing frame is connected with the support, a wind guide cavity is arranged on the support, a return wind cavity is symmetrically distributed on both sides of the wind guide cavity, a wind guide cavity is embedded in the wind guide cavity, the top of the wind guide cavity is connected with an ion blower, and the bottom end of the wind guide cavity is lower than the bottom end of the wind guide cavity. The back air chamber is embedded with a return air chamber pipe, and the top of the return air chamber pipe is connected with a vacuum cleaner. The bottom of the return air chamber pipe and the bottom of the support are fixed on a support frame or a fixed frame, and the vacuum cleaner is located on either side of the ion blower. Both sides of the air chamber pipe are equipped with return air chamber pipes, and the bottom end of the air duct is lower than the return air chamber pipe, that is, the air duct is closer to the surface of the microelectronic workpiece. The cleaning effect is good because the air pressure near the vacuum chamber pipe is lower than the air pressure near the workpiece, the air flow rises rapidly, and the dust absorber sucks away and does not diffuse into the production workshop.

【技术实现步骤摘要】
一种微电子器件的除尘装置
本专利技术属于微电子除尘
，尤其涉及一种微电子器件的除尘装置。
技术介绍
微电子技术是随着集成电路，尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术。其发展的理论基础是19世纪末到20世纪30年代期间建立起来的现代物理学。微电子技术包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术，微电子技术是微电子学中的各项工艺技术的总和。微电子器件属于精密器件，在微电子器件的生产、使用过程中必须保证微电子器件与灰尘隔离、保证洁净的生产环境，但由于机器、人员的活动，导致生产环境不可能完全洁净，因此，微电子器件在生产过程中还是会有particle沾染至器件上，此时需要及时对其进行清洁。专利号为CN206443651U的专利技术专利公开了一种微电子器件除尘装置，包括支撑圆板，支撑圆板的外周设有环形套，环形套的套体为中空结构，环形套的套体内侧开设数个通气孔，环形套连接导管的一端，导管的另一端连接吸尘器；支撑圆板的中间处安装离子风枪，离子风枪连接离子发生器；支撑圆板上安装导风管，导风管的下口与支撑圆板相通，导风管上装有离子风扇；以上内容本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微电子器件的除尘装置，其特征在于，包括支撑件（1）和固定架（4），所述固定架（4）的底端与支撑件（1）连接；所述支撑件（1）上设有导风腔（11）、回风腔（12），所述导风腔（11）内嵌设有导风腔管（2），所述导风腔管（2）顶端与离子风机（5）连接，所述离子风机（5）固定在支撑件（1）或固定架（4）上；所述导风腔管（2）底端穿出所述导风腔（11）并低于所述支撑件（1）的底面；所述回风腔管（12）对称分布在所述导风腔（11）两侧，所述回风腔（12）内均嵌设有回风腔管（3），所述回风腔管（3）顶端与吸尘机（6）连接，所述吸尘机（6）固定在支撑件（1）或固定架（4）上；所述回风腔管（3）底端与...

【技术特征摘要】
1.一种微电子器件的除尘装置，其特征在于，包括支撑件（1）和固定架（4），所述固定架（4）的底端与支撑件（1）连接；所述支撑件（1）上设有导风腔（11）、回风腔（12），所述导风腔（11）内嵌设有导风腔管（2），所述导风腔管（2）顶端与离子风机（5）连接，所述离子风机（5）固定在支撑件（1）或固定架（4）上；所述导风腔管（2）底端穿出所述导风腔（11）并低于所述支撑件（1）的底面；所述回风腔管（12）对称分布在所述导风腔（11）两侧，所述回风腔（12）内均嵌设有回风腔管（3），所述回风腔管（3）顶端与吸尘机（6）连接，所述吸尘机（6）固定在支撑件（1）或固定架（4）上；所述回风腔管（3）底端与所述支撑件（1）的底面平齐；所述吸尘机（6）位于离子风机（5）的任一侧。2.根据权利要求1中任一项所述的除尘装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：南方，
申请(专利权)人：西安知点信息科技有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西,61