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本发明涉及一种微电子器件的除尘装置，包括支撑件和固定架，固定架的底端与支撑件连接，支撑件上设有导风腔，导风腔两侧对称分布有回风腔，导风腔内嵌设有导风腔管，导风腔管顶端与离子风机连接，导风腔管底端低于支撑件的底面；回风腔内均嵌设有回风腔管，回...
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