一种弯曲形变检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种弯曲形变检测装置，其包括升降机构、第一安装架、第二安装架、控制器以及指示器件，第一安装架和第二安装架分别位于升降机构的两侧；第一安装架和第二安装架上设置有相对应的第一对射传感器和相对应的第二对射传感器，第一对射传感器与第二对射传感器在竖直方向上的距离大于待测工件的厚度；控制器与升降机构、第一对射传感器以及第二对射传感器分别电连接，升降机构用于使待测工件运动至第一对射传感器与第二对射传感器之间的指定位置；第一对射传感器和第二对射传感器均与指示器件电连接。本实用新型专利技术的弯曲形变检测装置，其能够较好地实现对待测工件是否发生了弯曲形变的检测。

A bending deformation detection device

The utility model provides a bending deformation detection device, which comprises a lifting mechanism, a first mounting rack, a second mounting rack, a controller and an indicating device. The first mounting rack and the second mounting rack are respectively located on both sides of the lifting mechanism; the first mounting rack and the second mounting rack are provided with corresponding first relative shooting sensor and an indication device. Corresponding to the second pair of shooting sensors, the distance between the first pair of shooting sensors and the second pair of shooting sensors in the vertical direction is greater than the thickness of the workpiece to be measured; the controller is electrically connected with the lifting mechanism, the first pair of shooting sensors and the second pair of shooting sensors respectively, and the lifting mechanism is used to move the workpiece to the first pair of shooting sensors and the second pair of shooting sensors. The specified position between the second pair of projection sensors; the first pair of projection sensors and the second pair of projection sensors are electrically connected to the indicating device. The bending deformation detection device of the utility model can better realize the detection of whether the bending deformation of the workpiece has occurred.

【技术实现步骤摘要】
一种弯曲形变检测装置
本技术涉及太阳能电池生产
，具体涉及一种弯曲形变检测装置。
技术介绍
在太阳能电池产线中，由于衬底载具需重复使用，经过数次工艺后平板型的衬底载具会产生弯曲形变，尤其是衬底载具的周边边缘更容易发生弯曲形变，从而影响衬底(英文名称为wafer)的放置精度。此外，为了保证加工出的太阳能电池具有较好地质量，衬底的弯曲形变也需要检测。因此，如何设计一种能检测出衬底载具、衬底等待测工件是否发生了弯曲形变的检测装置成为本领域技术人员急需解决的技术问题。
技术实现思路
本技术提供了一种弯曲形变检测装置，以能够检测出衬底载具、衬底等待测工件是否发生了弯曲形变。为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种弯曲形变检测装置，其包括升降机构、第一安装架、第二安装架、控制器以及指示器件，所述第一安装架和所述第二安装架分别位于所述升降机构的两侧；所述第一安装架和所述第二安装架上设置有相对应的第一对射传感器和相对应的第二对射传感器，所述第一对射传感器与所述第二对射传感器在竖直方向上的距离大于待测工件的厚度；所述控制器与所述升降机构、所述第一对射传感器以及所述第二对射传感器分别电连接，所述升降机构用于使所述待测工件运动至所述第一对射传感器与所述第二对射传感器之间的指定位置；所述第一对射传感器和所述第二对射传感器均与所述指示器件电连接。优选地，所述第一安装架和所述第二安装架上还设置有相对应的第三对射传感器，所述第三对射传感器位于所述第一对射传感器远离所述第二对射传感器的一侧；所述第三对射传感器与所述待测工件的上侧边在竖直方向上的距离等于所述待测工件允许的最大上凹弯曲形变值；所述第三对射传感器与所述控制器以及所述指示器件均电连接。优选地，所述第一安装架和所述第二安装架上还设置有相对应的第四对射传感器，所述第四对射传感器位于所述第二对射传感器远离所述第一对射传感器的一侧；所述第四对射传感器与所述待测工件的下侧边在竖直方向上的距离等于所述待测工件允许的最大下凹弯曲形变值；所述第四对射传感器与所述控制器以及所述指示器件均电连接。优选地，所述第一对射传感器与所述第一安装架和所述第二安装架可拆卸连接；和/或所述第二对射传感器与所述第一安装架和所述第二安装架可拆卸连接；和/或所述第三对射传感器与所述第一安装架和所述第二安装架可拆卸连接；和/或所述第四对射传感器与所述第一安装架和所述第二安装架可拆卸连接。优选地，所述指示器件包括第一指示灯和第二指示灯，所述第一指示灯与所述第一对射传感器相连，所述第二指示灯与所述第二对射传感器相连。优选地，所述指示器件还包括与所述第三对射传感器相连的第一报警器、与所述第四对射传感器相连的第二报警器。优选地，所述升降机构包括升降基座、用于驱动所述升降基座在竖直方向运动的动力件，所述动力件与所述控制器电连接。优选地，所述升降机构的升降基座上设置有旋转装置，所述待测工件置于所述旋转装置上，所述旋转装置与所述控制器电连接。优选地，其还包括滑轨，所述升降机构的底部与所述滑轨滑动配合，所述升降机构的升降方向与所述升降机构在所述滑轨上的滑动方向相垂直。优选地，其还包括用于驱动所述升降机构在所述滑轨上滑动的驱动件，所述驱动件与所述控制器电连接。本技术的有益效果在于：本技术的弯曲形变检测装置，其通过升降机构使待测工件运动至指定的位置，然后第一对射传感器和第二对射传感器开始工作，由于在待测工件发生弯曲形变时，将会阻断两个第一对射传感器或两个第二对射传感器之间的光线传递，使得第一对射传感器或第二对射传感器处于触发状态并将触发信号传递给指示器件，从而通过观察指示器件即可得知第一对射传感器或第二对射传感器是否被触发，进而较好地实现了对待测工件是否发生了弯曲形变的检测。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，并将结合附图对本技术的具体实施例作进一步的详细说明，其中图1为本技术实施例提供的弯曲形变检测装置的示意图；图2为本技术实施例提供的衬底载具的示意图；图3为本技术实施例提供的衬底载具发生上凹弯曲形变时的示意图；图4为本技术实施例提供的衬底载具发生下凹弯曲形变时的示意图。附图中标记：11、第一周边边缘12、上侧边13、下侧边14、衬底载具15、第二周边边缘16、第三周边边缘17、第四周边边缘21、升降基座31、第一安装架32、第二安装架a1，a2、第三对射传感器b1，b2、第一对射传感器c1，c2、第二对射传感器d1，d2、第四对射传感器H、厚度具体实施方式为了使本领域技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面将结合具体实施例对本方案作进一步地详细介绍。如图1和图2所示，本技术实施例提供了一种弯曲形变检测装置，其包括升降机构、第一安装架31、第二安装架32、控制器以及指示器件，第一安装架31和第二安装架32分别位于升降机构的两侧；第一安装架31和第二安装架32上设置有相对应的第一对射传感器和相对应的第二对射传感器，第一对射传感器与第二对射传感器在竖直方向上的距离大于待测工件的厚度H；控制器与升降机构、第一对射传感器以及第二对射传感器分别电连接，升降机构用于使待测工件运动至第一对射传感器与第二对射传感器之间的指定位置；第一对射传感器和第二对射传感器均与指示器件电连接。本实施例中的待测工件以平板型的衬底载具14为例进行说明，可以理解的是，升降机构上与衬底载具14相接触的部位不会阻挡各对射传感器的光线传递，以避免各对射传感器被触发；由于衬底载具14的周边边缘较易于发生弯曲形变，因此可以将第一对射传感器和第二对射传感器设置在周边边缘的两侧，其中，该周边边缘指的是衬底载具14的各个周边的边缘，如图2中的第一周边边缘11、第二周边边缘15、第三周边边缘16以及第四周边边缘17；如图1所示，通过第一对射传感器和第二对射传感器对第一周边边缘11的上侧边12和下侧边13的弯曲形变进行检测，即可得知该第一周边边缘11是否发生了弯曲形变。采用同样的方法，便可对第二周边边缘15、第三周边边缘16以及第四周边边缘17进行弯曲形变的检测。其中，图1中的第一对射传感器b1和第一对射传感器b2、第二对射传感器c1和第一对射传感器c2、第三对射传感器a1和第三对射传感器a2、第四对射传感器d1和第四对射传感器d2分别为一组对射传感器；对射传感器的工作原理是当两传感器之间的光线传递被阻断时，对射传感器将处于触发状态。需要说明的是，由于第一对射传感器b1、b2与第二对射传感器c1、c2在竖直方向上的距离等于衬底载具14的厚度H时，会使第一对射传感器b1、b2和第二对射传感器c1、c2均被触发，而使得其不能检测出衬底载具14是否发生了弯曲形变，故第一对射传感器b1、b2与第二对射传感器c1、c2在图1中竖直方向上的距离只需略大于衬底载具14的厚度H，这样就能够保证在衬底载具14没有发生弯曲形变的情况下，第一对射传感器b1、b2和第二对射传感器c1、c2不会被触发，为了使检测较为准确，可以优选第一对射传感器b1、b2与第二对射传感器c1、c2在竖直方向上的距离比衬底载具14的厚度H大0.2mm，这样，只要衬底载具14使得两个第一对射传本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弯曲形变检测装置，其特征在于，其包括升降机构、第一安装架、第二安装架、控制器以及指示器件，所述第一安装架和所述第二安装架分别位于所述升降机构的两侧；所述第一安装架和所述第二安装架上设置有相对应的第一对射传感器和相对应的第二对射传感器，所述第一对射传感器与所述第二对射传感器在竖直方向上的距离大于待测工件的厚度；所述控制器与所述升降机构、所述第一对射传感器以及所述第二对射传感器分别电连接，所述升降机构用于使所述待测工件运动至所述第一对射传感器与所述第二对射传感器之间的指定位置；所述第一对射传感器和所述第二对射传感器均与所述指示器件电连接。

【技术特征摘要】
1.一种弯曲形变检测装置，其特征在于，其包括升降机构、第一安装架、第二安装架、控制器以及指示器件，所述第一安装架和所述第二安装架分别位于所述升降机构的两侧；所述第一安装架和所述第二安装架上设置有相对应的第一对射传感器和相对应的第二对射传感器，所述第一对射传感器与所述第二对射传感器在竖直方向上的距离大于待测工件的厚度；所述控制器与所述升降机构、所述第一对射传感器以及所述第二对射传感器分别电连接，所述升降机构用于使所述待测工件运动至所述第一对射传感器与所述第二对射传感器之间的指定位置；所述第一对射传感器和所述第二对射传感器均与所述指示器件电连接。2.根据权利要求1所述的弯曲形变检测装置，其特征在于，所述第一安装架和所述第二安装架上还设置有相对应的第三对射传感器，所述第三对射传感器位于所述第一对射传感器远离所述第二对射传感器的一侧；所述第三对射传感器与所述待测工件的上侧边在竖直方向上的距离等于所述待测工件允许的最大上凹弯曲形变值；所述第三对射传感器与所述控制器以及所述指示器件均电连接。3.根据权利要求2所述的弯曲形变检测装置，其特征在于，所述第一安装架和所述第二安装架上还设置有相对应的第四对射传感器，所述第四对射传感器位于所述第二对射传感器远离所述第一对射传感器的一侧；所述第四对射传感器与所述待测工件的下侧边在竖直方向上的距离等于所述待测工件允许的最大下凹弯曲形变值；所述第四对射传感器与所述控制器以及所述指示器件均电连接。4.根据权利要求3所...

【专利技术属性】
技术研发人员：何金正，
申请(专利权)人：北京创昱科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11