一种透射电镜块体样品已检测区域的定位方法技术

一种透射电镜块体样品已检测区域的定位方法，通过对透射电镜块体样品薄区孔的记录，来测量透射电镜块体样品再检测时相对第一检测时的旋转角度，求出第二次检测时透射电镜块体样品坐标系相对第一次检测时样品坐标系的旋转矩阵，进而根据第一次检测时特征区域的样品台坐标X、Y、Z、α、β来计算第二次检测的新坐标，可快速找到这些特征区域，实现使用透射电镜对同一特征区域进行数据补充，也可用于确保样品在不同透射电镜下检测同一特征区域。本发明专利技术具有以下优点：不需要添加硬件设备，操作简单，易行；而且计算简单，易于编程实现，可作为透射电子显微镜精确分析的辅助工具。

A location method for transmission electron microscope block specimen detection area

A method for locating the detected region of TEM block samples is presented. The rotation angle of TEM block samples is measured by recording the holes in the thin region of TEM block samples. The coordinate system of TEM block samples at the second test is obtained from the sample coordinate system at the first test. Then the new coordinates of the second test can be calculated according to the coordinates X, Y, Z, alpha and beta of the sample table in the characteristic region at the first test. These new coordinates can be found quickly, and the data of the same characteristic region can be supplemented by TEM, and the same sample can be ensured under different TEM. Characteristic region. The invention has the following advantages: no need to add hardware equipment, simple operation and easy operation, and simple calculation and easy programming, and can be used as an auxiliary tool for accurate analysis of transmission electron microscope.

【技术实现步骤摘要】
一种透射电镜块体样品已检测区域的定位方法
本专利技术涉及一种透射电镜块体样品已检测区域的定位方法。
技术介绍
透射电镜是材料微观表征的重要手段，广泛的应用于材料中的晶粒尺寸统计，材料中不同相的标定，第二相颗粒的尺寸和分布统计，晶体中的缺陷(位错，孪晶，层错)的组态和分布的统计。随着技术的不断进步，透射电镜的功能不断提升，不仅可以表征材料的微观组织形貌，还能够结合能谱对材料的微观成分进行分析；结合电子能量损失谱进行材料价键状态的分析；结合扫描透射功能分析晶格点阵中不同元素的占位。因此，通过透射电镜能够分析材料微观结构的多方面信息。在利用透射电镜对材料微观进行研究的过程，往往需要先从低倍下宏观的观察材料组织，然后再从高倍下微观的深入分析特征区域。另一方面由于透射电镜的功能很多，如果把每一个检测区域的所有特征(形貌、成分、原子像)都记录下来，既浪费时间，数据量也十分巨大。因此，材料微观组织结构的表征，特别是新材料的表征，需要先从宏观上认知和分析材料的组织和结构，然后再进一步从微观上细致分析成分、价键状态等，往往需要针对某一个特征反复测量。纳米结构材料具有高强度、高硬度是近几十年研究的热点材本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种透射电镜块体样品已检测区域的定位方法，其特征在于：具体包括以下步骤：步骤一、拍摄块体透射电镜样品薄区孔图像：第一次检测样品时，在低倍数下找到样品的薄区孔，将其放置到视场中心，调节放大倍数获取薄区孔的完整形状；步骤二、检测样品并记录特征区域坐标参数：检测样品时，对于每一特征区域的坐标参数进行记录X0、Y0、Z0、α0、β0；步骤三、分析第一次检测结果：系统分析第一次检测结果，查漏补缺，对于需要补充数据的特征区域，找出与之相应的坐标参数X0、Y0、Z0、α0、β0，并利用以下公式将坐标换算成样品杆没有倾转时的坐标(x，y)，

【技术特征摘要】
1.一种透射电镜块体样品已检测区域的定位方法，其特征在于：具体包括以下步骤：步骤一、拍摄块体透射电镜样品薄区孔图像：第一次检测样品时，在低倍数下找到样品的薄区孔，将其放置到视场中心，调节放大倍数获取薄区孔的完整形状；步骤二、检测样品并记录特征区域坐标参数：检测样品时，对于每一特征区域的坐标参数进行记录X0、Y0、Z0、α0、β0；步骤三、分析第一次检测结果：系统分析第一次检测结果，查漏补缺，对于需要补充数据的特征区域，找出与之相应的坐标参数X0、Y0、Z0、α0、β0，并利用以下公式将坐标换算成样品杆没有倾转时的坐标(x，y)，步骤四、再次检测样品，拍摄块体透射电镜样品薄区孔图像：第二次将样品放入透射电镜，在低倍数下找到样品的薄区孔，将其放置到视场中心，拍摄与步骤一放大倍数相同的薄...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫志刚，郑春雷，林耀军，
申请(专利权)人：燕山大学，
类型：发明
国别省市：河北,13