The utility model provides a film transmission uniformity detection device, which comprises a laser light source, a workbench, a photoelectric detector, a signal conditioning unit, a digital-to-digital conversion unit, a digital phase-locked amplifier, a digital-to-analog conversion unit and a control unit; the workbench is provided with a sample table and a circular hole, and the sample table is movably covered on the circular hole. The radius of the circular hole is larger than the radius of the spot of the laser light source at the sample platform; the laser light source and the photoelectric detector are separated on both sides of the worktable, so that the central line is perpendicular to the worktable and passes through the circular hole; the photoelectric detector is in turn connected with the signal conditioning unit, the analog-digital conversion unit, the digital phase-locked amplifier, the digital-analog conversion unit and the laser. The light source is electrically connected, and the control unit is electrically connected with the digital lock-in amplifier and the workbench for receiving the detection signal of the digital lock-in amplifier and controlling the movement of the sample bench with the sample for the next region sample detection. The utility model improves the detection accuracy under the condition of weak light source and strong light noise.
【技术实现步骤摘要】
一种薄膜透光均匀性检测装置
本专利技术涉及薄膜检测领域,具体而言,涉及一种薄膜透光均匀性检测装置。
技术介绍
目前,对薄膜透光均匀性检测,如椭圆偏振测量法是通过分析光在被测样品上反射前后偏振状态的变化,来测定薄膜的参数的,但其采用椭偏法测量的数据在数学处理上非常的复杂和繁琐。等厚干涉和干涉色测量法是根据劈尖干涉原理,将平行单色光垂直照射到薄膜上,经多次反射干涉而产生鲜明的干涉条纹,然后再根据条纹的偏移,就可求出薄膜的参数,但对被测的薄膜要求较高(薄膜须具有高反射和平坦的表面),需要把薄膜制成台阶才能测量,限制了其应用。光度法和反射光谱法因测试简单,被广泛应用,但在测微弱光强及噪声干扰等情况下,测量不确定度很大,易产生检测误差。
技术实现思路
本技术提供了一种薄膜透光均匀性检测装置,旨在增强检测的准确性、稳定性,改善在弱光源和强光噪声的环境下易产生误差的问题。本技术的一种薄膜透光均匀性检测装置包括:激光光源、工作台、光电探测器、信号调理单元、模数转换单元、数字锁相放大器、数模转换单元、控制单元;所述工作台上设有样品台和圆孔,所述样品台可移动的覆盖在所述圆孔上,所述圆孔的半径大于所述激光光源在所述样品平台处的光斑半径;所述激光光源与所述光电探测器分设在所述工作台两侧,使其中心连线垂直于所述工作台并从所述圆孔穿过;所述光电探测器依次与所述信号调理单元、所述模数转换单元、所述数字锁相放大器、所述数模转换单元及所述激光光源电连接,所述控制单元与所述数字锁相放大器及所述工作台电连接;进一步地,在本技术较佳的实施例中,所述圆孔始终处于所述样品台移动范围内,使所述激光光源能够通过 ...
【技术保护点】
1.一种薄膜透光均匀性检测装置,其特征在于包括:激光光源、工作台、光电探测器、信号调理单元、模数转换单元、数字锁相放大器、数模转换单元、控制单元;所述工作台上设有样品台和圆孔,所述样品台可移动的覆盖在所述圆孔上,所述圆孔的半径大于所述激光光源在所述样品平台处的光斑半径;所述激光光源与所述光电探测器分设在所述工作台两侧,使其中心连线垂直于所述工作台并从所述圆孔穿过;所述光电探测器依次与所述信号调理单元、所述模数转换单元、所述数字锁相放大器、所述数模转换单元及所述激光光源电连接,所述控制单元与所述数字锁相放大器及所述工作台电连接,用于接收所述数字锁相放大器的检测信号及控制带有样品的所述样品台移动,进行下一区域检测。
【技术特征摘要】
1.一种薄膜透光均匀性检测装置,其特征在于包括:激光光源、工作台、光电探测器、信号调理单元、模数转换单元、数字锁相放大器、数模转换单元、控制单元;所述工作台上设有样品台和圆孔,所述样品台可移动的覆盖在所述圆孔上,所述圆孔的半径大于所述激光光源在所述样品平台处的光斑半径;所述激光光源与所述光电探测器分设在所述工作台两侧,使其中心连线垂直于所述工作台并从所述圆孔穿过;所述光电探测器依次与所述信号调理单元、所述模数转换单元、所述数字锁相放大器、所述数模转换单元及所述激光光源电连接,所述控制单元与所述数字锁相放大器及所述工作台电连接,用于接收所述数字锁相放大器的检测信号及控制带有样品的所述样品台移动,进行下一区域检测。2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述圆孔始终处于所述样品台移动范围内。3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述数字锁相放大器包括基于FPGA的数字锁相放大器,...
【专利技术属性】
技术研发人员:高忠坚,陈伟斌,沈英中,张锐戈,周辅坤,
申请(专利权)人:三明学院,
类型:新型
国别省市:福建,35
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