The utility model discloses a working medium supply system, which comprises a working medium input pipeline, a working medium output pipeline, an extruding gas input pipeline, an extruding gas output pipeline and a storage tank, an output end of the working medium input pipeline extending above the liquid surface of the storage tank, and an extruding gas input is arranged at the top of the storage tank respectively. A third valve body, a fourth valve body, a fifth valve body, a first filter and a first pressure sensor are arranged on the extrusion gas input pipeline. The output end of the extrusion gas input pipeline is connected with the extrusion gas input port, and the extrusion gas is extruded. The input end of the output pipeline is connected with the extrusion gas output port, and the seventh valve body is arranged on the extrusion gas output pipeline; the working medium supply system of the utility model realizes the stable transmission of the working medium with large flow rate, and can supply 12 to 18 machines for simultaneous use.
【技术实现步骤摘要】
一种工作介质供应系统
本技术涉及工作介质供应
,尤其涉及一种工作介质供应系统。
技术介绍
在半导体领域,为了输送和储存的方便,有些工作介质以凝固状态存在于钢瓶中,但是需要在气态或液态下使用。这种工作介质的供应方式如下:将装有凝固态工作介质的钢瓶外侧包裹加热管,通过加热管将钢瓶加热到35℃,钢瓶内的凝固态工作介质气化变为气体,在压力传感器的监控下,依次通过过滤器、调压阀,输送到工作管道内。在整个输送过程中,不仅需要对钢瓶进行加热,还需要对压力传感器、过滤器和调压阀进行加热,保证气体的供应通畅。由于气化后的气体在输送过程中,吸收的热量有限,气化后的气体受温度影响会转化为液相与气相的混合相,混合相流通速度比较慢,输送的流量小,一般只能满足2-3台机器的使用,当需要满足10台机器的使用时,不得不采购更多的同类设备来实现,输送成本高,占用空间大。
技术实现思路
为了解决以凝固状态存在的工作介质通过加热的模式输送,流量小,无法满足多台机器同时使用的问题,本技术的目的是提供一种工作介质供应系统。为了实现上述目的,本技术采用如下技术方案:一种工作介质供应系统,包括工作介质输入管路、工作介质输出管路,挤压气体输入管路,挤压气体输出管路和储存罐,所述工作介质输入管路的输入端连接钢瓶,所述钢瓶内储存有凝固状态的工作介质,所述钢瓶外侧缠绕有加热管,用于将钢瓶内凝固状态的工作介质转化为非凝固状态,所述工作介质输入管路上设置有第一阀体,用于控制工作介质输入管路的开与关,所述工作介质输入管路的输出端伸入储存罐液面上方,所述储存罐外侧缠绕有加热管,用于将储存罐内半凝固状态的工作介质完全转化 ...
【技术保护点】
1.一种工作介质供应系统,其特征在于,包括工作介质输入管路(1)、工作介质输出管路(2),挤压气体输入管路(3),挤压气体输出管路(4)和储存罐(5),所述工作介质输入管路(1)的输入端连接钢瓶,所述钢瓶内储存有凝固状态的工作介质,所述钢瓶外侧缠绕有加热管,用于将钢瓶内凝固状态的工作介质转化为非凝固状态,所述工作介质输入管路(1)上设置有第一阀体(6),用于控制工作介质输入管路(1)的开与关,所述工作介质输入管路(1)的输出端伸入储存罐(5)液面上方,所述储存罐(5)外侧缠绕有加热管,用于将储存罐(5)内半凝固状态的工作介质完全转化为液态,所述储存罐(5)顶端分别设置有挤压气体输入口(7)和挤压气体输出口(8),所述工作介质输出管路(2)的输入端伸入储存罐(5)底部,所述工作介质输出管路(2)上设置有第二阀体(9),用于控制工作介质输出管路(2)的开与关,所述工作介质输出管路(2)的输出端连接工作管路,所述挤压气体输入管路(3)的输入端连接挤压气体的罐体,所述挤压气体输入管路(3)上依次设置有第三阀体(10),第四阀体(11),第五阀体(12),第一过滤器(13)和第一压力传感器(14 ...
【技术特征摘要】
1.一种工作介质供应系统,其特征在于,包括工作介质输入管路(1)、工作介质输出管路(2),挤压气体输入管路(3),挤压气体输出管路(4)和储存罐(5),所述工作介质输入管路(1)的输入端连接钢瓶,所述钢瓶内储存有凝固状态的工作介质,所述钢瓶外侧缠绕有加热管,用于将钢瓶内凝固状态的工作介质转化为非凝固状态,所述工作介质输入管路(1)上设置有第一阀体(6),用于控制工作介质输入管路(1)的开与关,所述工作介质输入管路(1)的输出端伸入储存罐(5)液面上方,所述储存罐(5)外侧缠绕有加热管,用于将储存罐(5)内半凝固状态的工作介质完全转化为液态,所述储存罐(5)顶端分别设置有挤压气体输入口(7)和挤压气体输出口(8),所述工作介质输出管路(2)的输入端伸入储存罐(5)底部,所述工作介质输出管路(2)上设置有第二阀体(9),用于控制工作介质输出管路(2)的开与关,所述工作介质输出管路(2)的输出端连接工作管路,所述挤压气体输入管路(3)的输入端连接挤压气体的罐体,所述挤压气体输入管路(3)上依次设置有第三阀体(10),第四阀体(11),第五阀体(12),第一过滤器(13)和第一压力传感器(14),所述挤压气体输入管路(3)的输出端连接挤压气体输入口(7),所述挤压气体输出管路(4)的输入端连接挤压气体输出口(8),所述挤压气体输出管路(4)上设置有第七阀体(16)。2.如权利要求1所述的工作介质供应系统,其特征在于,所述工作介质供应系统还包括吹扫气体输入管路(17)和吹扫气体输出管路(18),所述吹扫气体输入管路(17)的输入端连接吹扫气体的罐体,所述吹扫气体输入管路(17)上设置有第八阀体(19)、第九阀体(20)、第二过滤器(21)、第十阀体(22),所述吹扫气体输入管路(17)分别与工作介质输入管路(1)和工作介质输出管路(2)相连通,所述工作介质输入管路(1)与吹扫气体输入管路(17)的连接处设置有第十一阀...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄金海,
申请(专利权)人:上海弗川自动化技术有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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