The utility model relates to a wafer cleaning device, which comprises a cleaning rod arranged with a nozzle on which the cleaning liquid flows through the nozzle and cleans the wafer; a pipeline connected with the nozzle; a pressure sensor is arranged in the pipeline; a pump is connected with the pipeline and provides water flow power; and a pump is connected with the frequency converter and through a variable frequency device. The frequency regulator adjusts its power in real time; a controller is arranged between the pressure sensor and the frequency converter; the controller receives the pressure signal from the pressure sensor, and transforms it into an electric signal after analysis and processing, and feeds the electric signal back to the frequency converter. The wafer cleaning device can measure the water pressure in the tube in real time and feed back to the controller through a pressure sensor. The controller controls the pump speed by a frequency converter. When the pressure measured by the pressure signal is less than the preset value, the pump speed will be increased, and then the pressure in the pipe will be increased. On the contrary, the pump speed will be reduced, forming a closed-loop control, so that the pressure in the pipe can be maintained at a certain value smoothly.
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆清洗装置
本技术涉及晶圆表面清洗领域,尤其涉及一种晶圆清洗装置。
技术介绍
半导体晶圆加工过程中对其表面存在的污染物非常敏感,其严重影响晶圆的加工质量甚至导致不良品的情况发生,为了达到晶圆表面无污染物的目的,必须在制程前移除其表面的微量离子和金属杂质等污染物。通常情况下,晶圆使用化学试剂清洗后,需再使用清洗液进行清洗,以去除晶圆表面残留的化学试剂。清洗液流经管道并从喷嘴喷出,形成高压水柱,受到泵功率、流通管径等各种因素影响使得管内压力不定,压力过低时,对晶圆的清洗不彻底,压力过高时,又容易破坏晶圆表面的氧化膜。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术中的不足,提供一种能自动对其管内压力进行调整,使压力平稳维持在特定值的晶圆清洗装置。为了解决上述技术问题,本技术涉及了一种晶圆清洗装置,包括:清洗杆,其上布置有喷嘴,清洗液流经喷嘴并对晶圆进行清洗;管道,其与喷嘴相接通;管道内设置有压力传感器;泵,其与管道连通并提供水流动力;泵与变频器相连并通过变频器对其转速进行实时调节;压力传感器与变频器之间设置有控制器;控制器接收压力传感器发出的压力信号,经分析、处理后将其转化为电信号,并将电信号反馈至变频器。本技术提供的晶圆清洗装置通过压力传感器可实时地对管内水流压力进行测定并反馈给控制器,控制器通过变频器控制泵的转速。当压力传感器测定的压力值小于预设值时,增加泵的转速,反之则减小泵的转速,形成闭环控制,从而使得管内压力平稳维持在特定值。作为本技术的进一步改进,管道内设置有过滤器,且过滤器设置在压力传感器的上游。管道内设置过滤器能有效地对清洗液中大颗粒杂物进行过 ...
【技术保护点】
1.一种晶圆清洗装置,其特征在于,其包括:清洗杆,其上布置有喷嘴,清洗液流经所述喷嘴并对晶圆进行清洗;管道,其与所述喷嘴相接通;所述管道内设置有压力传感器;泵,其与所述管道连通并提供水流动力;所述泵与变频器相连并通过所述变频器对其转速进行实时调节;所述压力传感器与所述变频器之间设置有控制器;所述控制器接收所述压力传感器发出的压力信号,经分析、处理后将其转化为电信号,并将所述电信号反馈至变频器。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗装置,其特征在于,其包括:清洗杆,其上布置有喷嘴,清洗液流经所述喷嘴并对晶圆进行清洗;管道,其与所述喷嘴相接通;所述管道内设置有压力传感器;泵,其与所述管道连通并提供水流动力;所述泵与变频器相连并通过所述变频器对其转速进行实时调节;所述压力传感器与所述变频器之间设置有控制器;所述控制器接收所述压力传感器发出的压力信号,经分析、处理后将其转化为电信号,并将所述电信号反馈至变频器。2.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置,其特征在于,所述管道内设置有过滤器,且所述过滤器设置在所述压力传感器的上游。3.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置,其特征在于,所述控制器上设...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄雷,
申请(专利权)人:昆山成功环保科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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