半导体激光器模块、半导体激光器模块的制造方法技术

半导体激光器(5)配置多列。将各个半导体激光器(5)的列设为半导体激光器设置列(21a、21b)。各个半导体激光器设置列(21a、21b)中的各个反射镜(11)，从上方观察向大致相同轴方向反射光，构成光束群(23)。各个半导体激光器设置列(21a、21b)的光束群(23)，形成于壳体(3)的宽度方向的两侧。即，针对各个半导体激光器设置列(21a、21b)每一列构成光束群(23)，各个所述光束群(23)从上方观察形成于互相不同的轴上。

Semiconductor laser module and manufacturing method of semiconductor laser module

Semiconductor lasers (5) are configured with multiple columns. Each semiconductor laser (5) is set as a semiconductor laser setup column (21a, 21b). Each reflector (11) of each semiconductor laser array (21a, 21b) reflects light from above toward approximately the same axis, forming a beam group (23). The beam groups (23) of each semiconductor laser array (21a, 21b) are formed on both sides of the width direction of the housing (3). That is, for each semiconductor laser column (21a, 21b) each column constitutes a beam group (23), each of which is observed from above on a different axis.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】半导体激光器模块、半导体激光器模块的制造方法
本专利技术涉及小型且装配性良好的半导体激光器模块等。
技术介绍
以往，存在一种将从多个半导体激光器输出的光与光纤耦合的半导体激光器模块。在半导体激光器模块的壳体内部并列设置多个半导体激光器。从而，若半导体激光器的设置数量增多，则半导体激光器模块的长度变长。因此，要求更小型的半导体激光器模块。作为这种半导体激光器模块，存在如下半导体激光器模块：例如多个激光器以互相对置的方式配置，将与各个半导体激光器相对应的透镜以及反射镜在高度方向上配置多层，并与光纤耦合(例如专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：美国专利第8432945号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题图8是表示如专利文献1所示的现有的半导体激光器模块100的俯视图。此外，图8是壳体103的上面的透视图。半导体激光器模块100主要由壳体103、半导体激光器105、透镜107、109、反射镜111、聚光透镜115、以及光纤119等构成。在壳体103的内部配置半导体激光器105、透镜107、109、反射镜111、聚光透镜115、以及光纤119等。半导体激光器模块100为了提高半导体激光器105的装载效率，配置多列半导体激光器105。即，设置多个半导体激光器设置列121a、121b。壳体103的底部以高度逐渐变高的方式形成为阶梯状。各个阶梯上表面成为半导体激光器设置面117。在各个半导体激光器设置面117设置半导体激光器105。另外，各个半导体激光器设置列121a、121b的半导体激光器105以互相不同的高度配置于半导体激光器设置面117上。从而，配置于各个半导体激光器设置列121a、121b上的半导体激光器105以一定间距配置成全部不同的高度。在各个半导体激光器设置列121a、121b中，在半导体激光器105的前方(射出方向)配置透镜107。另外，在其前方还配置透镜109。利用透镜107、109分别对从半导体激光器105射出的光的纵向以及横向进行准直。此外，透镜107、109针对各个半导体激光器105的每一个进行配置。在此，各个半导体激光器设置列121a、121b的半导体激光器105以互相对置的方式配置，朝向壳体103的宽度方向的中央方向照射激光。在壳体103的中央大致一列地配置反射镜111。反射镜111配置于与对应的各个半导体激光器105相同的高度的设置面上。从半导体激光器设置列121a、121b的半导体激光器105射出并利用透镜107、109进行准直的光，被反射镜111反射，大致垂直地改变方向。此时，从半导体激光器设置列121a的半导体激光器105射出的光、与从半导体激光器设置列121b的半导体激光器105射出的光，从上方观察在相同轴上进行反射。利用各个反射镜111进行反射的光(光束群123)，利用聚光透镜115进行聚光，并与光纤119进行光耦合。图9是表示半导体激光器105与反射镜111的配置的概念图。从半导体激光器105照射的光(图中箭头X)，具有预定的发散角度(图中θ)。该发散利用透镜109进行准直并用反射镜111反射(图中箭头Y)。在此，半导体激光器105的设置效率最高的情况是半导体激光器105的设置间距(图8的pD)＝半导体激光器105的宽度(图9的WS)的情况。另外，半导体激光器设置列121a、121b的各个半导体激光器105，以互相对置的方式，互相错开一半间距而配置。从而，为了避免分别反射来自左右的光的反射镜11彼此干扰，反射镜111的有效反射宽度SA需要设置成不足WS(＝pD)的1/2。例如，若将反射镜111的厚度设为0，则成为SA＝pD/2，但若考虑反射镜111的厚度部分，则反射镜111的有效反射宽度SA成为不足pD/2。如此，现有的半导体激光器模块不能采用充分宽的反射镜111的有效反射宽度SA。其结果，存在不能利用θ较大的半导体激光器105的问题。一方面，若想利用宽度更宽的反射镜111，则需要使半导体激光器105的设置间距pD比半导体激光器105的宽度WS更宽。即，需要在半导体激光器105彼此之间设置间隙。但是，如此一来，则半导体激光器105的搭载效率恶化。从而，为了提高半导体激光器105的搭载效率，分成半导体激光器设置列121a、121b，对来自各个半导体激光器105的光进行了聚光，但若将半导体激光器105彼此分开而配置，则不能充分得到如此设置多列半导体激光器设置列121a、121b的效果。另一方面，为了应对更窄的反射镜111的有效反射宽度SA，存在缩短半导体激光器105与透镜109的距离(图9的EFLSAC)的方法。图10是表示半导体激光器105与透镜109的关系的概念图。如上所述，从半导体激光器105照射的光X具有预定的发散角度θ。该光X在由θ和EFLSAC确定的范围内入射到透镜109。在此，入射到透镜109的宽度方向的端部附近的光，不完全被准直而容易发生偏离。将该偏离称作球面象差。已知球面象差与透镜109的球面的1/R2成正比。从而，为了减小球面象差，需要增大R。但是，为了增大R，有效的方法是增大EFLSAC。从而，为了减小球面象差，需要充分确保EFLSAC。因此，为了减小球面象差的影响，难以缩短半导体激光器105与透镜109的距离EFLSAC。另外，如图8所示，在现有的方法中，各个半导体激光器设置列121a、121b中的半导体激光器设置面117的阶梯间距、与反射镜111的设置面的阶梯间距不同。因此，难以调整各反射镜111，装配性差。如此，期望如下半导体激光器模块：能够提高半导体激光器105的搭载效率，并且由球面象差引起的光的偏离较小，装配性良好。本专利技术是鉴于这种问题而做出的，其目的在于提供一种小型且装配性良好的半导体激光器模块等。用于解决问题的方案为了达到所述目的，第一专利技术是一种半导体激光器模块，其特征在于，具备：壳体；多个半导体激光器，其设置于所述壳体的内部；透镜，其对从各个所述半导体激光器射出的各个激光进行准直；以及多个第一反射镜，其分别反射各个所述激光，多个所述半导体激光器配置于半导体激光器设置面上，从而构成半导体激光器设置列，所述半导体激光器设置面以相对于所述壳体的底部而高度逐渐变高的方式形成为阶梯状且高度互相不同，所述半导体激光器设置列设置多列，各个所述半导体激光器设置列中的所述半导体激光器设置面的高度互相不同，构成同一个所述半导体激光器设置列的各个所述第一反射镜，从上方观察向大致相同轴方向反射光而构成光束群，各个所述半导体激光器设置列每一列的各个所述光束群，从上方观察形成于互相不同的轴上，设置有第二反射镜，所述第二反射镜针对各个所述半导体激光器设置列每一列，使各个所述光束群进行反射，利用各个所述第二反射镜使多个所述光束群在相同轴上会聚并进行反射。优选具备：聚光透镜，其对利用各个所述第二反射镜反射的各个所述光束群进行聚光；以及光纤，其与利用所述聚光透镜进行聚光的所述光束群光耦合。第一专利技术还可以是一种半导体激光器模块，其特征在于，具备：壳体；多个半导体激光器，其设置于所述壳体的内部；透镜，其对从各个所述半导体激光器射出的各个激光进行准直；以及多个第一反射镜，其分别反射各个所述激光，多个所述半导体激光器配置于半导体激光器设置面上，从而构成半导体激光器设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体激光器模块，其特征在于，具备：壳体；多个半导体激光器，其设置于所述壳体的内部；透镜，其对从各个所述半导体激光器射出的各个激光进行准直；以及多个第一反射镜，其分别反射各个所述激光，多个所述半导体激光器配置于半导体激光器设置面上，从而构成半导体激光器设置列，所述半导体激光器设置面以相对于所述壳体的底部而高度逐渐变高的方式形成为阶梯状且高度互相不同，所述半导体激光器设置列设置多列，各个所述半导体激光器设置列中的所述半导体激光器设置面的高度互相不同，构成同一个所述半导体激光器设置列的各个所述第一反射镜，从上方观察向大致相同轴方向反射光而构成光束群，各个所述半导体激光器设置列每一列的各个所述光束群，从上方观察形成于互相不同的轴上，设置有第二反射镜，所述第二反射镜针对各个所述半导体激光器设置列每一列使各个所述光束群反射，利用各个所述第二反射镜使多个所述光束群在相同轴上会聚并进行反射。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.01.14 JP 2016-0049981.一种半导体激光器模块，其特征在于，具备：壳体；多个半导体激光器，其设置于所述壳体的内部；透镜，其对从各个所述半导体激光器射出的各个激光进行准直；以及多个第一反射镜，其分别反射各个所述激光，多个所述半导体激光器配置于半导体激光器设置面上，从而构成半导体激光器设置列，所述半导体激光器设置面以相对于所述壳体的底部而高度逐渐变高的方式形成为阶梯状且高度互相不同，所述半导体激光器设置列设置多列，各个所述半导体激光器设置列中的所述半导体激光器设置面的高度互相不同，构成同一个所述半导体激光器设置列的各个所述第一反射镜，从上方观察向大致相同轴方向反射光而构成光束群，各个所述半导体激光器设置列每一列的各个所述光束群，从上方观察形成于互相不同的轴上，设置有第二反射镜，所述第二反射镜针对各个所述半导体激光器设置列每一列使各个所述光束群反射，利用各个所述第二反射镜使多个所述光束群在相同轴上会聚并进行反射。2.根据权利要求1所述的半导体激光器模块，其特征在于，所述半导体激光器模块具备：聚光透镜，其对利用各个所述第二反射镜反射的各个所述光束群进行聚光；以及光纤，其与利用所述聚光透镜进行聚光的所述光束群光耦合。3.一种半导体激光器模块，其特征在于，具备：壳体；多个半导体激光器，其设置于所述壳体的内部；透镜，其对从各个所述半导体激光器射出的各个激光进行准直；以及多个第一反射镜，其分别反射各个所述激光，多个所述半导体激光器配置于半导体激光器设置面上，从而构成半导体激光器设置列，所述半导体激光器设置面以相对于所述壳体的底部而高度逐渐变高的方式形成为阶梯状且高度互相不同，所述半导体激光器设置列设置多列，构成同一个所述半导体激光器设置列的各个所述第一反射镜，从上方观察向大致相同轴方向反射光而构成光束群，各个所述半导体激光器设置列每一列的各个所述光束群，从上方观察形成于互相不同的轴上，所述半导体激光器模块具备：第二反射镜，其针对各个所述半导体激光器设置列每一列，使各个所述光束群进行反射；聚光透镜，其对利用各个所述第二反射镜反射的各个所述光束群进行聚光；以及光纤，其与利用所述聚光透镜进行聚光的所述光束群光耦合，所述第二反射镜对至少一方的所述半导体激光器设置列，改变所述光束群的高度，针对各个所述半导体激光器设置列的所述光束群在高度方向上不重叠而向所述聚光透镜进行导光。4.根据权利要求1或3所述的半导体激光器模块，其特征在于，构成所述半导体激光器设置面的阶梯状部件与所述壳体是分体的，并且接...

【专利技术属性】
技术研发人员：石毛悠太，片山悦治，木村俊雄，
申请(专利权)人：古河电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP