基于氮化铝薄膜的日盲型柔性紫外光探测器制造技术

本发明专利技术公开了一种基于氮化铝薄膜的日盲型柔性紫外光探测器，主要解决现有日盲型紫外光探测器灵敏度低且不能弯曲的问题。其技术方案是：1.使用脉冲激光沉积技术，在氧化锌做牺牲层的蓝宝石衬底上生长氮化铝薄膜；2.在氮化铝薄膜表面旋涂聚甲基丙烯酸甲酯，用硫酸铵溶液除去氧化锌薄膜；3.将氮化铝薄膜转移到后续所需的柔性透光衬底上，用丙酮溶液除去聚甲基丙烯酸甲酯；4.在氮化铝薄膜表面加电极，完成柔性日盲型紫外探测器的制作。本发明专利技术采用氮化铝薄膜作为紫外探测材料，提高了探测器收集光生载流子的速度，提高了日盲型紫外探测器的灵敏度，实现了探测器的弯曲，满足柔性电子设备的要求，可用于半导体器件的制备。

【技术实现步骤摘要】
基于氮化铝薄膜的日盲型柔性紫外光探测器
本专利技术属于微电子
，特别涉及一种日盲型柔性紫外光探测器，可用于半导体器件的制备。
技术介绍
太阳紫外辐射在通过大气层时，大气层中的臭氧层对200～280nm波段的紫外辐射具有强烈的吸收作用，这一波段紫外辐射在近地大气中几乎不存在，形成所谓的日盲区。日盲型紫外探测器利用日盲区的紫外波段探测目标,其背景干扰小,且不需要低温致冷,体积小,重量轻,与硅紫外探测器、光电倍增管等现行紫外探测器相比具有独特的优势。它的工作温度高、对环境适应能力和抗辐照能力强、紫外光/可见光抑制比高、工作时不需要滤波器。可广泛应用于紫外告警、紫外制导、紫外通信领域,还可以用来监测环境及火焰报警,在冶金、电力、医药等领域都有着广泛的应用。柔性电子器件是将电子器件制作在柔性、可延展的有机物或薄金属衬底上的一种新兴电子技术，因其独有的延展性，近年来在电子、医疗、能源和国防等领域展现出了广阔的应用前景，如柔性显示器、柔性可穿戴设备、印刷RFID、半球形数码相机、表皮电子和柔性太阳能电池。实现日盲型紫外探测器的柔性功能，对柔性电子探测设备有很重要的意义。氮化铝是具有多种物理和本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于氮化铝薄膜的日盲型柔性紫外光探测器的制作方法，包括：(1)在蓝宝石衬底上生长氧化锌薄膜：1a)将蓝宝石衬底、氧化锌靶材和氮化铝靶材放入脉冲激光沉积系统的反应室中，对反应室抽真空；1b)向反应室中通入氧气，使反应室的氧压维持在5*10‑5mbar，设定激光器的能量密度为1.2J/cm2和频率为6Hz，设定衬底的温度为600℃，使激光器射出激光，烧灼氧化锌靶材2500次，使烧灼出来的氧化锌等离子体沉积在蓝宝石衬底上，完成氧化锌薄膜的生长；(2)在氧化锌薄膜上沉积一层氮化铝薄膜：调节通入反应室的氧气，使反应室的氧压维持在1.8*10‑5mbar，设定激光器的能量密度为2.4J/cm2和频...

【技术特征摘要】
2017.12.29 CN 20171147906441.一种基于氮化铝薄膜的日盲型柔性紫外光探测器的制作方法，包括：(1)在蓝宝石衬底上生长氧化锌薄膜：1a)将蓝宝石衬底、氧化锌靶材和氮化铝靶材放入脉冲激光沉积系统的反应室中，对反应室抽真空；1b)向反应室中通入氧气，使反应室的氧压维持在5*10-5mbar，设定激光器的能量密度为1.2J/cm2和频率为6Hz，设定衬底的温度为600℃，使激光器射出激光，烧灼氧化锌靶材2500次，使烧灼出来的氧化锌等离子体沉积在蓝宝石衬底上，完成氧化锌薄膜的生长；(2)在氧化锌薄膜上沉积一层氮化铝薄膜：调节通入反应室的氧气，使反应室的氧压维持在1.8*10-5mbar，设定激光器的能量密度为2.4J/cm2和频率为6Hz，设定衬底的温度为600℃，使激光器射出激光，烧灼氮化铝靶材2500次，以在氧化锌薄膜上沉积氮化铝等离子体，得到氮化铝薄膜；(3)在氮化铝薄膜上旋涂聚甲基丙烯酸甲酯PMMA：在氮化铝薄膜的表面旋涂一层用氯苯稀释1/6的聚甲基丙烯酸甲酯PMMA溶液，并放在加热台上，在150℃下加热3分钟，在180℃下加热1.5分钟，再自然降温，形成一层附有聚甲基丙烯酸甲酯PMMA的氮化铝薄膜；(4)将附有聚甲基丙烯酸甲酯PMMA的氮化铝薄膜与蓝宝石衬底分离：将旋...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆小力，史泽堃，张稀铁，王涛，姚会娟，张进成，郝跃，
申请(专利权)人：西安电子科技大学，
类型：发明
国别省市：陕西,61