一种物体表面平整度快速测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术一种物体表面平整度快速测量装置属于工业生产机械光学检测测试等技术领域。该装置由照明成像模块和运动机构组成；照明成像模块由照明系统和成像系统组成；在照明系统中，沿光线传播方向依次设置激光器、分光镜、物镜和被测物件；在成像系统中，沿光线传播方向依次设置被测物件、物镜、分光镜、衰减片、针孔和图像传感器；运动机构由上固定端，上杆，运动块，下杆，下固定端，电机，连轴器，T型转盘和限位凸起组成；运动块在停滞状态下，激光器发出的光束准焦到被测物件表面，被测物件反射的光束准焦到针孔上。本发明专利技术不仅能够对物体表面平整度进行定性检测，而且操作过程简单，操作方法容易，而且能够对噪声进行滤除或监测，检测结果准确。

【技术实现步骤摘要】
一种物体表面平整度快速测量装置
本专利技术一种物体表面平整度快速测量装置属于工业、生产、机械、光学、检测、测试等

技术介绍
平面度测量是指被测实际表面对其理想平面的变动量。平面度误差是将被测实际表面与理想平面进行比较，两者之间的线值距离即为平面度误差值；或通过测量实际表面上若干点的相对高度差，再换算以线值表示的平面度误差值。平面度误差测量的常用方法有如下几种：1、平晶干涉法：用光学平晶的工作面体现理想平面，直接以干涉条纹的弯曲程度确定被测表面的平面度误差值。2、打表测量法：打表测量法是将被测零件和测微计放在标准平板上，以标准平板作为测量基准面，用测微计沿实际表面逐点或沿几条直线方向进行测量。3、液平面法：液平面法是用液平面作为测量基准面，液平面由“连通罐”内的液面构成，然后用传感器进行测量。此法主要用于测量大平面的平面度误差。4、光束平面法：光束平面法是采用准值望远镜和瞄准靶镜进行测量，选择实际表面上相距最远的三个点形成的光束平面作为平面度误差的测量基准面。5、激光平面度测量仪：激光平面度测量仪用于测量大型平面的平面度误差。6、利用数据采集仪连接百分表测量平面度误差的方法。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种物体表面平整度快速测量装置，其在于，由照明成像模块和运动机构组成；所述的照明成像模块由照明系统和成像系统组成；在照明系统中，沿光线传播方向依次设置激光器(1‑1)、分光镜(1‑2)、物镜(1‑4)和被测物件(1‑6)；所述物镜(1‑4)由载物台(1‑3)承载，沿光轴方向运动；所述被测物件(1‑6)由二维平移台(1‑5)承载，在垂直光轴的平面内二维运动；激光器(1‑1)发出的光束，依次经过分光镜(1‑2)和物镜(1‑4)透射，准焦或离焦到被测物件(1‑6)表面；在成像系统中，沿光线传播方向依次设置被测物件(1‑6)、物镜(1‑4)、分光镜(1‑2)、衰减片(1‑7)、针孔(1‑8)和图像...

【技术特征摘要】
1.一种物体表面平整度快速测量装置，其在于，由照明成像模块和运动机构组成；所述的照明成像模块由照明系统和成像系统组成；在照明系统中，沿光线传播方向依次设置激光器(1-1)、分光镜(1-2)、物镜(1-4)和被测物件(1-6)；所述物镜(1-4)由载物台(1-3)承载，沿光轴方向运动；所述被测物件(1-6)由二维平移台(1-5)承载，在垂直光轴的平面内二维运动；激光器(1-1)发出的光束，依次经过分光镜(1-2)和物镜(1-4)透射，准焦或离焦到被测物件(1-6)表面；在成像系统中，沿光线传播方向依次设置被测物件(1-6)、物镜(1-4)、分光镜(1-2)、衰减片(1-7)、针孔(1-8)和图像传感器(1-9)；被测物件(1-6)反射的光束，以及经过物镜(1-4)透射，分光镜(1-2)反射，衰减片(1-7)透射，准焦或离焦到针孔(1-8)上；所述的运动机构由上固定端(2-1)，上杆(2-2)，运动块(2-3)，下杆(2-4)，下固定端(2-5)，电机(2-6)，连轴器(2-7)，T型转盘(2-8)和限位凸起(2-9)组成；所述上固定端(2-1)为直线轴承，与上杆(2-2)组合成直线导轨结构；所述下固定端(2-5)为直线轴承，与...

【专利技术属性】
技术研发人员：仲东明，
申请(专利权)人：仲东明，
类型：发明
国别省市：黑龙江,23