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本发明一种物体表面平整度快速测量装置属于工业生产机械光学检测测试等技术领域。该装置由照明成像模块和运动机构组成；照明成像模块由照明系统和成像系统组成；在照明系统中，沿光线传播方向依次设置激光器、分光镜、物镜和被测物件；在成像系统中，沿光线传...
该专利属于仲东明所有，仅供学习研究参考，未经过仲东明授权不得商用。

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