一种硅片快速冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅片快速冷却装置，包括冷却舱和支撑腿，冷却舱的顶部设有固定板，固定板的顶部设有转轴，固定板的顶部设有电机一，冷却舱的顶部设有通孔，固定板的底部中侧设有风叶，电机一的输出轴贯穿转轴与风叶连接,风叶位于通孔的内侧，冷却舱的底部设有冷却板，冷却板的顶部设有贯穿冷却板顶部并延伸至底部的气孔，气孔以矩阵方式平均分布于冷却板的顶部，冷却板的顶部设有冷却管，冷却管以S型平均分布于冷却板的顶部,设备自动运行，而且风冷可以方便的进行对硅片的降温，防止在后续工序中工人在挑拣次品时造成不必要的烫伤，非直接对着硅片直接喷涂降温，可以防止出现硅片脆化，提高成品率。

A fast cooling device for silicon wafer

The utility model discloses a silicon wafer rapid cooling device, which comprises a cooling cabin and a supporting leg. A fixed plate is arranged on the top of the cooling cabin, a rotating shaft is arranged on the top of the fixed plate, a motor is arranged on the top of the fixed plate, a through hole is arranged on the top of the cooling cabin, a wind blade is arranged on the bottom side of the fixed plate, and an output shaft of the motor is penetrated through the rotating shaft. Connected with the wind blade, the wind blade is located in the inside of the through hole, the bottom of the cooling cabin is provided with a cooling plate, and the top of the cooling plate is provided with air holes that penetrate the top of the cooling plate and extend to the bottom. The air holes are evenly distributed on the top of the cooling plate in a matrix manner, and the top of the cooling plate is provided with a cooling pipe, and the cooling pipe is evenly distributed on the top of the cooling plate in the form of S. The equipment runs automatically, and the air cooling can reduce the temperature of the silicon wafer conveniently, prevent the worker from causing unnecessary scald when picking the defective products in the follow-up process, and directly spraying the silicon wafer to reduce the temperature, which can prevent the silicon wafer brittleness and improve the yield.

【技术实现步骤摘要】
一种硅片快速冷却装置
本技术涉及快速冷却装置
，具体为一种硅片快速冷却装置。
技术介绍
在晶体硅的生产过程中，需要将硅片进行清洗、去伤层、植绒、扩散、制结、刻蚀、印刷、烧结等工序，为了使硅片能够根据需要进行加工，需要一部接着一步的工序进行工作，现有技术中硅片在生产加工过程中，由于加工工艺等原因，制出的硅片温度较高，硅片在进入其他工序时不一定能冷却下来，工人在挑拣硅片时易造成工人手部的烧伤，增加劳动的强度，或者添加的冷却工序使用液氮直接喷射在硅片上的方法成本太高，而且急剧降温会使硅片材质脆弱不堪，影响成品率。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种硅片快速冷却装置，设备自动运行而且可以方便的进行对硅片的降温，防止在后续工序中工人在挑拣次品时造成不必要的烫伤，稳步降温可以防止出现硅片脆化，提高成品率，可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅片快速冷却装置，包括冷却舱和支撑腿，所述冷却舱的顶部设有固定板，所述固定板的顶部设有电机一，所述冷却舱的顶部设有通孔，所述固定板的底部中侧设有风叶，所述电机一的输出轴贯穿固定板的顶部并延伸至底部与风叶连接，所述风叶位于通孔的内侧，所述冷却舱的底部设有冷却板，所述冷却板的顶部设有贯穿冷却板顶部并延伸至底部的气孔，所述冷却板的顶部设有冷却管，所述冷却管的进液端和出液端均贯穿冷却舱的内侧并延伸至外部，所述冷却舱的右侧设有出液管，所述冷却舱与设有出液管一侧的侧面设有进液管，所述出液管的进液端与冷却管的出液端连接，所述进液管的出液端与冷却管的进液端连接，所述冷却舱的底部左右两侧均设有支撑板，支撑板右侧设有散热箱，所述散热箱的顶部设有压缩泵，所述散热箱的出液端与压缩泵的进液端连接，所述压缩泵的进液端与出液管的出液端连接，所述散热箱的出液端与进液管的进液端连接，所述支撑腿的顶部设有转轴，所述转轴的侧面设有传送带，所述支撑腿的顶部设有贯穿一侧并延伸至另一侧与转轴连接的电机二，电机一、压缩泵和电机二的输入端电连接外部电源开关的输出端。作为本技术的一种优选技术方案，所述固定板的顶部设有转轴，所述电机一的输出轴贯穿转轴与风叶连接。作为本技术的一种优选技术方案，所述气孔以矩阵方式平均分布于冷却板的顶部，所述冷却管以S型平均分布于冷却板的顶部。作为本技术的一种优选技术方案，所述冷却管与所述气孔相互交错设置。作为本技术的一种优选技术方案，所述冷却舱的前后两侧均设有支撑腿，并且传送带穿过两个支撑板之间。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本硅片快速冷却装置，设备自动运行而且可以方便的进行对硅片的降温，防止在后续工序中工人在挑拣次品时造成不必要的烫伤，非急剧性稳步降温可以防止出现硅片脆化，提高成品率。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术结构后侧剖面图。图中：1冷却舱、2固定板、3电机一、4风叶、5冷却板、6气孔、7冷却管、8出液管、9进液管、10支撑板、11散热箱、12压缩泵、13支撑腿、14传送带、15电机二。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-2，本技术提供一种技术方案：一种硅片快速冷却装置，包括冷却舱1和支撑腿13，冷却舱1的顶部设有固定板2，固定板2的顶部设有转轴，固定板2的顶部设有电机一3，冷却舱1的顶部设有通孔，固定板2的底部中侧设有风叶4，电机一3的输出轴贯穿转轴与风叶4连接,风叶4位于通孔的内侧，冷却舱1的底部设有冷却板5，冷却板5的顶部设有贯穿冷却板5顶部并延伸至底部的气孔6，气孔6以矩阵方式平均分布于冷却板5的顶部，冷却板5的顶部设有冷却管7，冷却管7以S型平均分布于冷却板5的顶部,冷却管7与气孔6相互交错设置,冷却管7的进液端和出液端均贯穿冷却舱1的内侧并延伸至外部，冷却舱1的右侧设有出液管8，冷却舱1与设有出液管8一侧的侧面设有进液管9，出液管8的进液端与冷却管7的出液端连接，进液管9的出液端与冷却管7的进液端连接，冷却舱1的底部左右两侧均设有支撑板10，支撑板10右侧设有散热箱11，散热箱11的顶部设有压缩泵12，散热箱11的出液端与压缩泵12的进液端连接，压缩泵12的进液端与出液管8的出液端连接，散热箱11的出液端与进液管9的进液端连接，支撑腿13的顶部设有转轴，冷却舱1的前后两侧均设有支撑腿13，转轴的侧面设有传送带14，传送带14穿过两个支撑板10之间,支撑腿13的顶部设有贯穿一侧并延伸至另一侧与转轴连接的电机二15，电机一3、压缩泵12和电机二15的输入端电连接外部电源开关的输出端。在使用时：打开外部电源开关，电机二15转动带动转轴转动使传送带14开始传动，将需要降温的硅片依次放在传送带14的进料端电机一3转动带动风叶4转动向冷却舱1的内部吹风，压缩泵12将冷却管7内部挥发的冷却液气体压进散热箱11，散热箱11的出液端将液化的冷却液输送进冷却管7内进行对冷却舱1内侧的空气降温，被冷却的空气从冷却板5顶部设有的气孔6吹向传送带14上需要降温的硅片，硅片受到凉风吹温度下降，硅片随着传送带14送至下一道工序。本技术使用传送带14使设备自动运行，而且风冷可以方便的进行对硅片的降温，防止在后续工序中工人在挑拣次品时造成不必要的烫伤，非直接对着硅片直接喷涂降温，可以防止出现硅片脆化，提高成品率。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片快速冷却装置，包括冷却舱(1)和支撑腿(13)，其特征在于：所述冷却舱(1)的顶部设有固定板(2)，所述固定板(2)的顶部设有电机一(3)，所述冷却舱(1)的顶部设有通孔，所述固定板(2)的底部中侧设有风叶(4)，所述电机一(3)的输出轴贯穿固定板(2)的顶部并延伸至底部与风叶(4)连接，所述风叶(4)位于通孔的内侧，所述冷却舱(1)的底部设有冷却板(5)，所述冷却板(5)的顶部设有贯穿冷却板(5)顶部并延伸至底部的气孔(6)，所述冷却板(5)的顶部设有冷却管(7)，所述冷却管(7)的进液端和出液端均贯穿冷却舱(1)的内侧并延伸至外部，所述冷却舱(1)的右侧设有出液管(8)，所述冷却舱(1)与设有出液管(8)一侧的侧面设有进液管(9)，所述出液管(8)的进液端与冷却管(7)的出液端连接，所述进液管(9)的出液端与冷却管(7)的进液端连接，所述冷却舱(1)的底部左右两侧均设有支撑板(10)，支撑板(10)右侧设有散热箱(11)，所述散热箱(11)的顶部设有压缩泵(12)，所述散热箱(11)的出液端与压缩泵(12)的进液端连接，所述压缩泵(12)的进液端与出液管(8)的出液端连接，所述散热箱(11)的出液端与进液管(9)的进液端连接，所述支撑腿(13)的顶部设有转轴，所述转轴的侧面设有传送带(14)，所述支撑腿(13)的顶部设有贯穿一侧并延伸至另一侧与转轴连接的电机二(15)，电机一(3)、压缩泵(12)和电机二(15)的输入端电连接外部电源开关的输出端。...

【技术特征摘要】
1.一种硅片快速冷却装置，包括冷却舱(1)和支撑腿(13)，其特征在于：所述冷却舱(1)的顶部设有固定板(2)，所述固定板(2)的顶部设有电机一(3)，所述冷却舱(1)的顶部设有通孔，所述固定板(2)的底部中侧设有风叶(4)，所述电机一(3)的输出轴贯穿固定板(2)的顶部并延伸至底部与风叶(4)连接，所述风叶(4)位于通孔的内侧，所述冷却舱(1)的底部设有冷却板(5)，所述冷却板(5)的顶部设有贯穿冷却板(5)顶部并延伸至底部的气孔(6)，所述冷却板(5)的顶部设有冷却管(7)，所述冷却管(7)的进液端和出液端均贯穿冷却舱(1)的内侧并延伸至外部，所述冷却舱(1)的右侧设有出液管(8)，所述冷却舱(1)与设有出液管(8)一侧的侧面设有进液管(9)，所述出液管(8)的进液端与冷却管(7)的出液端连接，所述进液管(9)的出液端与冷却管(7)的进液端连接，所述冷却舱(1)的底部左右两侧均设有支撑板(10)，支撑板(10)右侧设有散热箱(11)，所述散热箱(11)的顶部设有压缩泵(12)，所述散热箱(11)的出液端与...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈忠海，
申请(专利权)人：苏州德瑞姆超声科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32