The utility model relates to a vacuum system for producing a solar coated glass. When a vacuum system for producing a solar coated glass is used to create a vacuum environment for the plating operation of the solar coated glass, a vacuum device is used to vacuum the vacuum tank so that the vacuum tank is stored in a vacuum, and the feed is required. When the chamber is vacuumed, the vacuum device vacuumates the feed chamber, while the vacuum tank is connected to the feed chamber and inhaled the gas in the feed chamber so as to accelerate the speed of the pressure reduction in the feeding chamber; the second section between the vacuum tank and the feed chamber when the air pressure between the feed chamber and the vacuum tank is closer. The check valve is closed and the vacuum device only evacuates the feed chamber so that the vacuum degree of the feed chamber can reach the requirement quickly.
【技术实现步骤摘要】
一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统
本技术涉及一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统。
技术介绍
太阳能作为取之不尽用之不竭的新能源,最近几年得到了长足的进步与发展。CIGS薄膜太阳能电池是全球光伏领域的开创性成果,是新一代最具竞争力的商业化薄膜太阳能电池,具有稳定性好、抗辐照性能好、成本低、效率高等优点。CIGS产线需要经过很多工艺过程,其核心设备是镀膜设备,包括磁控溅射镀膜和蒸发镀膜等方法,这都需要在真空环境下进行。其中铜铟镓三元金属薄膜磁控溅射生产线是整个工艺实现的基础。对于铜铟镓三元金属薄膜磁控溅射生产线,规定两片玻璃原片进入进口腔室的时间间隔为机械节拍。铜铟镓生产线的产能和机械节拍息息相关。一般一个机械节拍包括很多动作,比如进口腔室破空、门阀打开、玻璃传输、门阀关闭、进口室抽真空等等。为了提高经济效益,加快机械节拍就成了关键手段。经过分析可以得出,机械动作时间很短,进一步压缩的可能性比较小。抽真空的时间占到整个节拍的50%左右,所以怎么提高抽真空的时间就成了关键手段。一般为了达到快速抽空的目的,进口腔室的真空泵一般都是常开的。所以在进口腔室处于大气状态的时候,真空泵一直在做无用功,浪费了大量能源。以往加快抽空时间主要从两个方面着手,一个是减少腔体容积,经过技术的提高,这一块基本已经做到极限,提高的空间不大。另一个方法是配置更多的真空泵或者配置抽速更快的真空泵。这不但会大大提高固定资产的投入,同时受到真空泵的限制,没有更快的泵可选。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点,本技术的目的在于提供一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统及其作业方法,能够提 ...
【技术保护点】
1.一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统,其特征是,包括进料腔室(1)和缓冲腔室(4),进料腔室(1)具有进料门阀(2),进料腔室(1)与缓冲腔室(4)之间设有隔离门阀(3);进料腔室(1)上连接有第一连接管(8)和第二连接管(9),第一连接管(8)上连接有抽真空装置和第一截止阀(14),第一截止阀(14)位于抽真空装置与进料腔室(1)之间,第二连接管(9)上连接有真空罐(5)和第二截止阀(15),第二截止阀(15)位于进料腔室(1)与真空罐(5)之间,抽真空装置与真空罐(5)连接有第三连接管(10),第三连接管(10)上设有第三截止阀(16);所述第一连接管(8)上连接有第一真空计(11),第一真空计(11)位于第一截止阀(14)和抽真空装置之间,所述进料腔室(1)上连接有第二真空计(12),所述真空罐(5)上连接有第三真空计(13)。
【技术特征摘要】
1.一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统,其特征是,包括进料腔室(1)和缓冲腔室(4),进料腔室(1)具有进料门阀(2),进料腔室(1)与缓冲腔室(4)之间设有隔离门阀(3);进料腔室(1)上连接有第一连接管(8)和第二连接管(9),第一连接管(8)上连接有抽真空装置和第一截止阀(14),第一截止阀(14)位于抽真空装置与进料腔室(1)之间,第二连接管(9)上连接有真空罐(5)和第二截止阀(15),第二截止阀(15)位于进料腔室(1)与真空罐(5)之间,抽真空装置与真空罐(5)连接有第三连接管(10),第三连接管(10)上设有第三截止阀(16);所述第一连接管(8)上连接有第一真空计(11),第一真空计(11)位于第一截止阀(14)和抽真空装置之间,所述进料腔室(1)上连接有第二真空计(12),所述真空罐(5)上连接有第三真空计(13)。2.根据权利要求1所述的用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统,其特征在于:所述抽真...
【专利技术属性】
技术研发人员:张仰平,王贝,刘锐,程明,张超群,葛治亮,
申请(专利权)人:中国建材国际工程集团有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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