一种更稳定的刻蚀下料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种更稳定的刻蚀下料装置，该刻蚀下料装置设有用于硅片装载盒升降的升降通道，在升降通道的里端面固定有背板，背板的前面竖直固定有左右两块对应的固定板，固定板与背板垂直，在固定板的前端沿边固定有用于与硅片装载盒背面的左右两条直槽相配合滑动的圆柱形的导杆，导杆处于竖直方向，在固定板下端沿边固定有用于引导直槽从下方滑入的导向板，导向板垂直向下。本实用新型专利技术避免了出现错齿现象，提高了生产效率。

A more stable etching device

The utility model discloses a more stable etching feeding device, which is provided with a lifting channel for the lifting of a silicon chip loading box, fixed a back plate on the end face of the lifting channel, and a vertical fixed plate with two corresponding blocks in front of the back plate, the fixed plate and the back plate perpendicular to the front side edge of the fixed plate. A guide rod is fixed with a cylindrical guide rod for sliding between the left and right two straight grooves on the back of the silicon loading box. The guide rod is in the vertical direction. The guide plate is fixed on the lower end of the fixed plate for guiding the straight slot to slide from the bottom, and the guide plate is vertically downward. The utility model avoids the phenomenon of wrong teeth and improves the production efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种更稳定的刻蚀下料装置
本技术涉及一种更稳定的刻蚀下料装置。
技术介绍
湿法刻蚀机是电池生产过程中重要工艺设备，通过化学反应腐蚀掉硅片背面及四周的PN结，以达到正面和背面绝缘的目的，同时去除正面的磷硅玻璃层。湿法刻蚀机中包括有刻蚀上料装置和刻蚀下料装置，刻蚀下料装置是湿刻的最后一道工序，用于将输送轨道上的硅片卸下装进硅片装载盒内，如图9所示为现有的一种刻蚀下料装置的示意图，输送至该刻蚀下料装置上的硅片通过移载机构51将硅片从输送轨道上卸下装进硅片装载盒21内。刻蚀下料装置中设有升降通道，硅片装载盒21在升降通道内上升并不断装入硅片，在升降通道的里端面固定有背板，硅片装载盒沿背板升降，在硅片装载盒与背板之间设置有将硅片装载盒向前压紧的压条。硅片装载盒21的左右两侧内面分别设有相对应的用于使得硅片能一层一层放置的定位齿，如图10所示为现有的一种移载机构的示意图，移载机构51中设有用于检测左右定位齿位置的传感器52、53，在向硅片装载盒装入硅片的过程中，移载机构通过旋转电机进行调节，使得其上的硅片与左右对应的定位齿处在同一平面上，从而能将硅片对应装入硅片装载盒21内，如图11和图12所示，硅片装载盒21在升降通道内升降过程中经常会出现左低右高或左高右低的情况，电机有时也会调整不过来，硅片的两边被放置在不同一层的定位齿上，出现错齿现象，现场工人需返工每个错齿放置的硅片，增加碎片的几率，而且也会直接出现硅片卡死。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题，就是提供一种更稳定的刻蚀下料装置，其避免了出现错齿现象，提高了生产效率。解决上述技术问题，本技术采用的技术方案如下：一种更稳定的刻蚀下料装置，刻蚀下料装置设有用于硅片装载盒升降的升降通道，在升降通道的里端面固定有背板，背板的前面竖直固定有左右两块对应的固定板，固定板与背板垂直，在固定板的前端沿边固定有用于与硅片装载盒背面的左右两条直槽相配合滑动的圆柱形的导杆，导杆处于竖直方向，在固定板下端沿边固定有用于引导直槽从下方滑入的导向板，导向板垂直向下。进一步的，导杆的下端设有倒圆锥状的导入部，导向板的前边为上端在前下端在后的斜边，斜边的上端与导入部的下端对应。进一步的，固定板通过后端固定螺栓固定于背板的前面，在背板的对应固定板的位置还开有螺纹孔，设有调节螺栓从背板的背面拧入螺纹孔中，调节螺栓的前端顶在固定板的后端面上。进一步的，导杆的上下两端分别通过螺栓固定有水平向里延伸的连接板，上下连接板的里端分别通过螺栓固定于固定板的上下两端面，导向板的上端设有左右两块竖直向上的安装部，固定板的下端部夹于两块安装部之间，并设有水平的螺栓锁紧。进一步的，背板的中部开有用于减轻背板重量的竖直方向的长方形孔。进一步的，背板的上端部的两侧分别开有用于方便工程师观察硅片装载盒所处情况的观察孔。进一步的，背板由1060铝材制成。与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：1、本技术在背板的前面设置导杆，通过导杆对硅片装载盒的导向，避免了硅片装载盒出现倾斜的情况，避免了在装入硅片时出现错齿现象。固定在固定板下端导向板能引导硅片装载盒滑入导杆，防止出现硅片装载盒的上端顶于导杆的下端的情况。上述结构都使得该刻蚀下料装置生产更稳定，提高了生产效率。2、背板改为由1060铝材制成，降低了其韧性，增加了强度，使得背板使用寿命更长。附图说明图1是本技术的背板的爆炸示意图之一；图2是本技术的背板的爆炸示意图之二；图3是本技术的背板的立体示意图之一；图4是本技术的背板的立体示意图之二；图5是本技术的导向板的立体示意图；图6是本技术的调节螺栓的安装示意图；图7是本技术的背板与硅片装载盒的装配示意图；图8是本技术的背板和硅片装载盒与升降通道的装配示意图；图9是现有的一种刻蚀下料装置的示意图；图10是现有的一种移载机构的示意图；图11是现有的刻蚀下料装置在工作时硅片装载盒存在左低右高的情况的示意图；图12是现有的刻蚀下料装置在工作时硅片装载盒存在左高右低的情况的示意图。具体实施方式如图8所示，该刻蚀下料装置设有用于硅片装载盒21升降的升降通道31，硅片装载盒21为现有的用于装载硅片的盒子，在硅片装载盒21的背面开有左右两条竖直方向的直槽211，在升降通道31的里端面固定有背板1，硅片装载盒21沿背板1升降，在硅片装载盒21与背板1之间设置有将硅片装载盒21向前压紧的两条压条22，压条22为现有的部件。如图1至图4所示，背板1的前面竖直固定有左右两块对应的固定板3，固定板3与背板1垂直，在固定板3的前端沿边固定有圆柱形的导杆4，导杆4处于竖直方向，导杆4采用304不锈钢制成，且表面镀铬，提高其耐磨性，左右两导杆4分别与硅片装载盒21背面的左右两直槽211对应，导杆4与直槽211配合滑动。导杆4的固定结构为：在导杆4的上下两端分别通过螺栓10固定有水平向里延伸的连接板2、5，上下连接板2、5的里端分别通过螺栓11固定于固定板3的上下两端面，从而将导杆4固定。导杆4的下端设有倒圆锥状的导入部41，导入部41引导导杆4更好的滑进直槽211内。在固定板3下端沿边固定有用于引导直槽211从下方滑入的导向板6，导向板6垂直向下。如图5所示，导向板6的前边为上端在前下端在后的斜边62，斜边62的上端与导入部41的下端对应。硅片装载盒21从下方往上升起时，直槽211的上端首先在导向板6的引导下与导杆4对齐，再在导入部41的引导下使得导杆4更顺畅的滑入直槽211中。导向板6的固定结构为：在导向板6的上端设有左右两块竖直向上的安装部61，固定板3的下端部夹于两块安装部61之间，并设有水平的螺栓9锁紧。固定板3通过后端固定螺栓8固定于背板1的前面，在背板1的对应固定板的位置还开有螺纹孔103，设有调节螺栓7从背板1的背面拧入螺纹孔103中，如图6所示，调节螺栓7的前端顶在固定板3的后端面上，调节螺栓7为内六角螺栓，向前调节调节螺栓7，可以将固定板3的位置向前调节，调节螺栓7实现了固定板3的前后调节。在背板1的中部开有用于减轻背板重量的竖直方向的长方形孔102，长方形孔102的位置避开了压条22所在位置。在背板1的上端部的两侧分别开有用于方便工程师观察硅片装载盒所处情况的观察孔101，观察孔101方便了工程师对装置的调整。本技术通过导杆3对硅片装载盒21的导向，能使得硅片装载盒21的顶部偏转角度始终控制在±1°。该实施例中，导杆4长度为320mm，直径为φ19mm，两导杆4之间的中心距为144.5mm，背板1的厚度为T10.0，背板1采用1060铝材制成，增加了强度。本技术的上述实施例并不是对本技术保护范围的限定，本技术的实施方式不限于此，凡此种种根据本技术的上述内容，按照本领域的普通技术知识和惯用手段，在不脱离本技术上述基本技术思想前提下，对本技术上述结构做出的其它多种形式的修改、替换或变更，均应落在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种更稳定的刻蚀下料装置，所述刻蚀下料装置设有用于硅片装载盒升降的升降通道，在所述升降通道的里端面固定有背板，其特征在于：所述背板的前面竖直固定有左右两块对应的固定板，所述固定板与所述背板垂直，在所述固定板的前端沿边固定有用于与所述硅片装载盒背面的左右两条直槽相配合滑动的圆柱形的导杆，所述导杆处于竖直方向，在所述固定板下端沿边固定有用于引导所述直槽从下方滑入的导向板，所述导向板垂直向下。

【技术特征摘要】
1.一种更稳定的刻蚀下料装置，所述刻蚀下料装置设有用于硅片装载盒升降的升降通道，在所述升降通道的里端面固定有背板，其特征在于：所述背板的前面竖直固定有左右两块对应的固定板，所述固定板与所述背板垂直，在所述固定板的前端沿边固定有用于与所述硅片装载盒背面的左右两条直槽相配合滑动的圆柱形的导杆，所述导杆处于竖直方向，在所述固定板下端沿边固定有用于引导所述直槽从下方滑入的导向板，所述导向板垂直向下。2.根据权利要求1所述的更稳定的刻蚀下料装置，其特征在于：所述导杆的下端设有倒圆锥状的导入部，所述导向板的前边为上端在前下端在后的斜边，所述斜边的上端与所述导入部的下端对应。3.根据权利要求1所述的更稳定的刻蚀下料装置，其特征在于：所述固定板通过后端固定螺栓固定于所述背板的前面，在所述背板的对应所述固定板的位置还开有螺纹孔，设有调...

【专利技术属性】
技术研发人员：束俊，李斌，刘屹，鲍洪亮，
申请(专利权)人：晶澳扬州太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32