一种高孔隙率纳米孔SiCN陶瓷材料及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种高孔隙率纳米孔SiCN陶瓷材料及其制备方法，所述SiCN陶瓷材料孔隙率为80‑90%，比表面积300‑500m2/g，体积密度为0.1~0.3g/cm3，孔径10‑200nm。该SiCN纳米孔陶瓷材料的制备方法结合了先驱体制备陶瓷技术和无氧溶剂超临界干燥技术，降低氧含量，提高了陶瓷品质。本发明专利技术属于一种新型的纳米多孔陶瓷材料，具有极高的孔隙率和比表面积，密度低，高温抗氧化性能好，耐腐蚀等特点，可广泛应用于高温/恶劣环境下的传感器、催化剂负载、半导体电子器件、超高温隔热等领域。

A high porosity nano porous SiCN ceramic material and its preparation method

The present invention discloses a high porosity nano pore SiCN ceramic material and its preparation method. The porosity of the SiCN ceramic material is 80 and 90%, the specific surface area is 300 500m2/g, the volume density is 0.1~0.3g/cm3, and the aperture is 10 200nm. The preparation method of the SiCN nano porous ceramic materials combines the precursor preparation technology and the anaerobic solvent supercritical drying technology to reduce the oxygen content and improve the quality of the ceramics. The invention belongs to a new type of nano porous ceramic material. It has high porosity and specific surface area, low density, good high-temperature oxidation resistance and corrosion resistance. It can be widely used in the fields of sensors, catalyst loads, semiconductor electronic devices, ultra high temperature insulation and so on in high temperature / bad environment.

【技术实现步骤摘要】
一种高孔隙率纳米孔SiCN陶瓷材料及其制备方法
本专利技术属于纳米孔陶瓷
，具体涉及一种高孔隙率纳米孔SiCN陶瓷及其制备方法。
技术介绍
SiCN三元陶瓷集合SiC和Si3N4的优点，作为高温结构材料和功能材料具有潜在广泛的应用前景。其高硬度、低摩擦系数、高抗氧化能力、化学惰性和宽带隙等优良的光、电和力学性能，使其在超硬涂层、光电子、催化剂负载、传感器以及微机电系统(MEMS)方面具有广泛的应用前景，另外SiCN纳米粉体具有较好的微波吸收效果有可能作为高温吸波材料中的介电损耗型微波吸收剂。SiCN材料的研究目前多集中于薄膜的制备和性能方面，致密块体材料的制备其前驱体主要为高分子，总的来说其国内外的研究存在工艺复杂、成本高的缺陷。而高孔隙率纳米孔SiCN陶瓷材料的研究更是鲜见报道。专利CN105347839A报道了一种多孔SiCN/SiC复合陶瓷材料的制备方法，其具体方案采用硅粉、SiC粉、发泡剂、烧结助剂、结合剂等作为原料，在氮气气氛下烧结而成，发泡烧结法制得的多孔陶瓷多以大孔为主，孔径分布较广，孔隙率较低。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种高孔隙率的纳米孔SiCN陶瓷本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高孔隙率纳米孔SiCN陶瓷材料，其特征在于：所述SiCN陶瓷材料孔隙率90%以上，比表面积300‑500m2/g，体积密度为0.15~0.2g/cm3，孔径10‑200nm。

【技术特征摘要】
1.一种高孔隙率纳米孔SiCN陶瓷材料，其特征在于：所述SiCN陶瓷材料孔隙率90%以上，比表面积300-500m2/g，体积密度为0.15~0.2g/cm3，孔径10-200nm。2.一种如权利要求1所述的高孔隙率纳米孔SiCN陶瓷材料的制备方法，其特征在于包含以下步骤：（1）取一定量的先驱体聚合物，加入到溶剂中，均匀分散，得到质量浓度为90~95w.t.%的先驱体溶液，加入0.5~1.0w.t.%的过氧化二异丙苯，搅拌至溶解均匀后，转移至容器中，该容器口用铝箔纸密封；（2）将步骤（1）所述的装有溶液的容器，立于盛有溶剂的压力釜中，容器口高于液面1/3~1/2倍高度，盖好釜盖后，通入高纯氮气或氩气置换空气，并充压至1~2MPa后，开始升温至160~180℃并保温1~2h（升温速率为2℃/min）；（3）步骤（2）保温完成后，将高压釜升温至240~280℃，压力8~15MPa，恒温卸压，卸压速率2MPa/h，得到高孔隙率块状先驱体；（4）将步骤（3）所得的块...

【专利技术属性】
技术研发人员：段国栋，陈世忠，其他发明人请求不公开姓名，
申请(专利权)人：响水华夏特材科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32