本发明专利技术提供一种检测氧化铟锡薄膜关键尺寸的装置，包括白光光源、中部棱镜、物镜和成像模块，还包括位于白光光源与中部棱镜之间并固定于所述白光光源上的滤波片，该滤波片用以将白光光源所发白光转变成预定颜色光后经中部棱镜及物镜照射在待测ITO薄膜上，使得待测ITO薄膜边界的灰阶度增强。实施本发明专利技术，能够在量测过程中改变白光照射来增强装置获取ITO薄膜边界的灰阶度，从而提高ITO薄膜抓边几率。
【技术实现步骤摘要】
一种检测氧化铟锡薄膜关键尺寸的装置
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种检测氧化铟锡薄膜关键尺寸的装置。
技术介绍
ITO（Indiumtinoxide）薄膜具有良好的光电性质，广泛应用于各种微电子器件和光电子器件中。ITO薄膜可以单独或与其它材料一起构成增透膜，增透膜的厚度与材料的折射率有关，而ITO薄膜的折射率受多方面因素的影响，并且由于ITO薄膜具有复杂的微观结构和光学性质，所有很难测得其关键尺寸。现有技术中，如图1所示，TFT行业量测ITO关键尺寸时，通过使用白光光源（Lamp）1/所发出的白光经过中部棱镜2/形成45度折射后进入物镜3/照射在ITO薄膜上，再由成像模块（CCD）4/抓拍成像，但是由于ITO薄膜5/厚度很薄且透明，/经常导致像模块4/抓边失败。因此，亟需一种检测氧化铟锡薄膜关键尺寸的装置，能够在量测过程中改变白光照射来增强装置获取ITO薄膜边界的灰阶度，从而提高ITO薄膜抓边几率。
技术实现思路
本专利技术实施例所要解决的技术问题在于，提供一种检测氧化铟锡薄膜关键尺寸的装置，能够在量测过程中改变白光照射来增强装置获取ITO薄膜边界的灰阶度，从而提高ITO薄膜抓边几率。为了解决上述技术问题，本专利技术实施例提供了一种检测氧化铟锡薄膜关键尺寸的装置，包括白光光源、中部棱镜、物镜和成像模块，还包括位于所述白光光源与所述中部棱镜之间并固定于所述白光光源上的滤波片，所述滤波片用以将所述白光光源所发白光转变成预定颜色光后经所述中部棱镜及所述物镜照射在待测ITO薄膜上，使得所述待测ITO薄膜边界的灰阶度增强。其中，还包括一组旋转轮镜；其中，所述滤波片上设有至少两个因密度设置相异而形成所述预定颜色不同波长的彩色变光区域；或所述滤波片设有至少一个由所述预定颜色按一定密度设置形成特定波长的彩色变光区域以及一个没有任何颜色设置并允许白光直接通过的白光区域；所述一组旋转轮镜设置于所述白光光源及所述滤波片之间，其一端活动的安装于所述白光光源上，另一端固定有所述滤波片；其中，所述一组旋转轮镜之中任一个的一端上均固定对应所述滤波片的一彩色变光区域或白光区域，另一端均可活动的旋转对应所述白光光源朝向所述滤波片的一侧并接收所述白光光源所发白光。其中，所述滤波片为圆形，其上设有由所述预定颜色形成不同波长的10个彩色变光区域并沿一定半径的圆周边缘均匀排列；或其上设有由所述预定颜色形成不同波长的10个彩色变光区域和1个没有任何颜色设置并允许白光直接通过的白光区域，且所述10个彩色变光区域和所述1个白光区域沿一定半径的圆周边缘均匀排列。其中，所述滤波片的10个彩色变光区域所形成的波长以线性递增或递减规律排列。其中，所述滤波片使用玻璃片加入所述预定颜色的染料制作而成。其中，所述滤波片上设有的预定颜色为蓝色。其中，所述滤波片的10个彩色变光区域所形成的波长分别为425nm、430nm、435nm、440nm、445nm、450nm、455nm、460nm、465nm和470nm。本专利技术实施例具有如下有益效果：本专利技术中滤波片用以将白光光源所发白光转变成预定颜色光后经中部棱镜折射再由物镜照射在待测ITO薄膜上，使得待测ITO薄膜边界的灰阶度增强，从而将白光改变为预定颜色光来提高ITO薄膜抓边几率，减少量测异常，提升装置稳定性。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，根据这些附图获得其他的附图仍属于本专利技术的范畴。图1为现有技术中检测氧化铟锡薄膜关键尺寸的装置的平面结构正视图；图2为本专利技术实施例一提供的检测氧化铟锡薄膜关键尺寸的装置的一平面结构正视图；图3为本专利技术实施例二提供的检测氧化铟锡薄膜关键尺寸的装置的另一平面结构正视图；图4为图2中滤波片的一平面结构示意图；图5为图2中滤波片的另一平面结构示意图。具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本专利技术作进一步地详细描述。如图2所示，为本专利技术实施例一中，提供的一种检测氧化铟锡薄膜关键尺寸的装置，包括白光光源1、中部棱镜2、物镜3和成像模块4，还包括：位于白光光源1与中部棱镜2之间并固定于白光光源1上的滤波片5，该滤波片5用以将白光光源1所发白光转变成预定颜色光后经中部棱镜2及物镜3照射在待测ITO薄膜7上，使得待测ITO薄膜7边界的灰阶度增强。在本专利技术实施例一中，滤波片5使用玻璃片加入预定颜色的染料制作而成；其中，滤波片5上设有的预定颜色为蓝色，使得该滤波片5为蓝光滤波片。可以理解的是，滤波片5包括但不限于蓝光滤波片，只要能够照射待测ITO薄膜7后，使得待测ITO薄膜7边界的灰阶度增强即可。如图3所示，为本专利技术实施例二中，提供的另一种检测氧化铟锡薄膜关键尺寸的装置，包括白光光源1、中部棱镜2、物镜3和成像模块4，还包括：位于白光光源1与中部棱镜2之间并固定于白光光源1上的滤波片5，该滤波片5用以将白光光源1所发白光转变成预定颜色光后经中部棱镜2及物镜3照射在待测ITO薄膜7上，使得待测ITO薄膜7边界的灰阶度增强；还包括一组旋转轮镜6；其中，滤波片5上设有至少两个因密度设置相异而形成预定颜色不同波长的彩色变光区域；或滤波片5设有至少一个由预定颜色按一定密度设置形成特定波长的彩色变光区域以及一个没有任何颜色设置并允许白光直接通过的白光区域；一组旋转轮镜6设置于白光光源1及滤波片5之间，其一端活动的安装于白光光源1上，另一端固定有滤波片5；其中，一组旋转轮镜6之中任一个的一端上均固定对应滤波片5的一彩色变光区域或白光区域，另一端均可活动的旋转对应白光光源1朝向滤波片5的一侧并接收白光光源1所发白光。可以理解的是，区别于本专利技术实施例一中的一种检测氧化铟锡薄膜关键尺寸的装置，本专利技术实施例二中的一种检测氧化铟锡薄膜关键尺寸的装置可以对应选择预定颜色的不同波长来调整待测ITO薄膜7边界的灰阶度大小，使得ITO薄膜抓边几率更高，得到的量测结果更精确，即可由用户设定控制旋转轮镜6的旋转档位，根据滤波片5不用波段的光进而调整待测ITO薄膜7边界清晰度，使得量测时抓取关键尺寸边界稳定性增加。在本专利技术实施例二中，为了便于使用和操作，将一组旋转轮镜6设置为按照圆形规律进行旋转，因此将滤波片5设置为圆形。滤波片5上可以设有由预定颜色因密度设置不同而形成不同波长的彩色变光区域，也可以在彩色变光区域增设有没有任何颜色设置并允许白光直接通过的白光区域，这样就可以实现多种量测的需求。在一个实施例中，滤波片5上设有由预定颜色形成不同波长的10个彩色变光区域并沿一定半径的圆周边缘均匀排列。应当说明的是，此时一组旋转轮镜6由10个镜头捆绑在一起。在另一个实施例中，滤波片5上设有由预定颜色形成不同波长的10个彩色变光区域和1个没有任何颜色设置并允许白光直接通过的白光区域，且10个彩色变光区域和1个白光区域沿一定半径的圆周边缘均匀排列。应当说明的是，此时一组旋转轮镜6由11个镜头捆绑在一起。应当说明的是，使用玻璃片加入预定颜色的染料制作而成；其中，滤波片5上设有的预定颜色为蓝色，使得该滤波片5为蓝光滤波片。本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种检测氧化铟锡薄膜关键尺寸的装置，包括白光光源（1）、中部棱镜（2）、物镜（3）和成像模块（4），其特征在于，还包括位于所述白光光源（1）与所述中部棱镜（2）之间并固定于所述白光光源（1）上的滤波片（5），所述滤波片（5）用以将所述白光光源（1）所发白光转变成预定颜色光后经所述中部棱镜（2）及所述物镜（3）照射在待测ITO薄膜（7）上，使得所述待测ITO薄膜（7）边界的灰阶度增强。
【技术特征摘要】
1.一种检测氧化铟锡薄膜关键尺寸的装置，包括白光光源（1）、中部棱镜（2）、物镜（3）和成像模块（4），其特征在于，还包括位于所述白光光源（1）与所述中部棱镜（2）之间并固定于所述白光光源（1）上的滤波片（5），所述滤波片（5）用以将所述白光光源（1）所发白光转变成预定颜色光后经所述中部棱镜（2）及所述物镜（3）照射在待测ITO薄膜（7）上，使得所述待测ITO薄膜（7）边界的灰阶度增强。2.如权利要求1所述的检测氧化铟锡薄膜关键尺寸的装置，其特征在于，还包括一组旋转轮镜（6）；其中，所述滤波片（5）上设有至少两个因密度设置相异而形成所述预定颜色不同波长的彩色变光区域；或所述滤波片（5）设有至少一个由所述预定颜色按一定密度设置形成特定波长的彩色变光区域以及一个没有任何颜色设置并允许白光直接通过的白光区域；所述一组旋转轮镜（6）设置于所述白光光源（1）及所述滤波片（5）之间，其一端活动的安装于所述白光光源（1）上，另一端固定有所述滤波片（5）；其中，所述一组旋转轮镜（6）之中任一个的一端上均固定对应所述滤波片（5）的一彩色变光区域或白光区域，另一端均可活动的旋转对应所述白光光源（1）朝向所述滤波片（...
【专利技术属性】
技术研发人员：邹雨佑，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44
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