一种树脂增透膜及其制备方法技术

本发明专利技术涉及一种树脂增透膜及其制备方法，从下至上包括基板以及复合层，复合层为相互交替层叠的Ti3O5层与SiAl层组成，Ti3O5层的厚度为10~400 nm，SiAl层的厚度为10~400 nm，将基板置于含离子源的镀膜机的真空室中依次进行复合层中各层材料的镀膜并对各层材料进行蒸发得到树脂增透膜。本发明专利技术制备方法简单，步骤易于操作，采用Ti3O5和SiAl为镀膜原料，交替层叠在树脂基板上制备增透膜，各膜层致密度高，各膜层间的应力相匹配、附着力强。

【技术实现步骤摘要】
一种树脂增透膜及其制备方法
本专利技术涉及一种树脂增透膜及其制备方法，属于镀膜

技术介绍
目前手机有超薄化、多摄像头的发展趋势，摄像头对大光角的需求也日益突显。目前手机中最厚的部分为摄像头，因而摄像头减薄是手机减薄过程中急迫解决的部分。目前国内手机终端的摄像头普遍采用以蓝玻璃为基板制备的红外截止滤光片，而蓝玻璃的不断减薄也是一直以来的发展趋势。目前蓝玻璃减薄至0.145mm，已到达极限，不具备继续减薄的能力。树脂材料由于本身的性质，可持续减薄至0.11mm、0.05mm甚至0.02mm，因而树脂材料在摄像头减薄以及广角扩大等方面具有独特的优势，树脂滤光片目前逐渐被各大手机制造商接受。国际上，三星已在三年前开始大规模应用此项技术，国内小米以及OPPO也于2017年开始大规模使用，并明确在下一代产品中会采用，其他的大型手机制造商也在纷纷展开评估测试。通常，在红外截止滤光片的一侧表面镀制增透膜，从而达到高透过率的要求。增透膜又称减反射膜，沉积在光学元件表面,以减少表面反射，增加光学系统透过率的光学薄膜，它可以通过减少系统中的散射光来提高对比度。现有的红外截止滤光片增透膜由高折射率材料TiO2和低折射率材料SiO2的膜层交替层叠而成，以树脂片为基板镀制此膜系的增透膜，存在膜层间应力不匹配、膜层附着力差等缺陷。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决上述问题，提供了一种树脂增透膜及其制备方法。本专利技术采用如下技术方案：一种树脂增透膜，包括若干层相互交替层叠的Ti3O5层与SiAl层。进一步的，所述Ti3O5层与SiAl层总共设置有5~7层。进一步的，所述Ti3O5层的厚度为10~400nm。进一步的，所述SiAl层的厚度为10~400nm。进一步的，所述SiAl层中的SiO2：Al2O3的质量百分比为1.8:1~2.3:1。进一步的，增透膜的底部设置有厚度为0.01~0.2mm的基板，所述基板为PET层、COP层、COC层、PMMA层或PC层。树脂增透膜的制备方法，包括如下步骤：将基板置于含离子源的镀膜机的真空室中依次进行Ti3O5层与SiAl层的镀膜并对各层材料进行蒸发得到树脂增透膜。进一步的，镀膜前首先对基板进行离子源轰击，轰击时间为2~5min。进一步的，所述镀膜机的起始真空度为8.0×10-4pa~1.0×10-3Pa，镀膜机的温度为60~90℃；离子源的Beam电压为600~1300V，ACC电压为800~900V，Beam电流为600~1000mA。进一步的，所述Ti3O5层的蒸发速率为0.2~0.35nm/s，SiAl层的蒸发速率为0.4~0.6nm/s。本专利技术制备方法简单，步骤易于操作，采用Ti3O5和SiAl为镀膜原料，交替层叠在树脂基板上制备增透膜，各膜层致密度高，各膜层间的应力相匹配、附着力强。具体实施方式下面将结合具体实施例对本专利技术作进一步的描述。实施例一：一种树脂增透膜，从下至上依次包括基板、SiAl层、Ti3O5层、SiAl层、Ti3O5层、SiAl层。基板采用ZeonexE48RCOC基板，厚度为0.05mm，以SiAl层为第一层算起，每层增透膜的厚度依次为51nm、12.43nm、37.11nm、111.17nm和86.80nm。上述树脂增透膜的制备方法，含离子源的镀膜机的起始真空度为8.0*10-4Pa，温度为70℃；离子源的Beam电压为700V，ACC电压为900V，束流为900mA。各层原料蒸发前，先用离子源对基底进行3min的轰击。Ti3O5层原材料的蒸发速率为0.25nm/s，SiAl层原材料的蒸发速率为0.6nm/s。实施例二：一种树脂增透膜，从下至上依次包括基板、Ti3O5层、SiAl层、Ti3O5层、SiAl层、Ti3O5层、SiAl层。基板采用ZeonexE48RCOC基板，厚度为0.05mm。以Ti3O5层为第一层算起，每层增透膜的厚度依次为12.54nm、31.55nm、65.04nm、4.79nm、32.52nm、87.68nm。上述树脂增透膜的制备方法，含离子源的镀膜机的起始真空度为8.0*10-4Pa，温度为70℃；离子源的Beam电压为800V，ACC电压为900V，束流为900mA。各层原料蒸发前，先用离子源对基底进行2min的轰击。Ti3O5层原材料的蒸发速率为0.25nm/s，SiAl层原材料的蒸发速率为0.6nm/s。实施例三：一种树脂增透膜，从下至上依次包括基板、SiAl层、Ti3O5层、SiAl层、Ti3O5层、SiAl层、Ti3O5层、SiAl层。基板采用ZeonexE48RCOC基板，厚度为0.05mm。以SiAl层为第一层算起，每层增透膜的厚度依次为355.49nm、11.88nm、33.68nm、63.24nm、4.42nm、33.55nm和87.28nm。上述树脂增透膜的制备方法，含离子源的镀膜机的起始真空度为8.0*10-4Pa，温度为60℃；离子源的Beam电压为800V，ACC电压为900V，Beam电流为900mA。各层原料蒸发前，先用离子源对基底进行4min的轰击。Ti3O5层原材料的蒸发速率为0.25nm/s，SiAl层原材料的蒸发速率为0.6nm/s。对实施例一、实施例二和实施例三中所得增透膜的性能测试如下：膜层光谱测试：采用安捷伦Carry5000分光光度计对薄膜的单面反射率进行了测试，各例中的增透膜在420~680nm波段的反射率R<1％。膜层性能测试：按照GJB2485-95光学膜层通用规范的要求，对各例所得增透膜样品进行了的如下环境试验：（1）高低温测试：将镀膜片放入高低温实验箱中（此高低温实验箱的升温和降温速度均小于2℃/min），分别在（-55±2）℃的低温中保持2h，在（70±2）℃的高温中保持2h，各例所得增透膜的膜层均无起皮、起泡、裂纹、脱膜等现象。（2）机械强度实验：在橡皮摩擦头外裹2层干燥脱脂纱布，保持4.9N压力下顺着同一轨迹对膜层进行摩擦，往返25次，各例所得增透膜的膜层均无擦痕等损伤。（3）附着力实验：用宽为2cm，剥离强度I>2.94N/cm的胶带纸粘牢在各例所得增透膜的膜层表面，将胶带纸从膜的边缘朝表面的垂直方向迅速拉起后，各例所得增透膜的膜层均无脱落、无损伤。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种树脂增透膜，其特征在于：包括若干层相互交替层叠的Ti3O5层与SiAl层。

【技术特征摘要】
1.一种树脂增透膜，其特征在于：包括若干层相互交替层叠的Ti3O5层与SiAl层。2.如权利要求1所述的树脂增透膜，其特征在于：所述Ti3O5层与SiAl层总共设置有5~7层。3.如权利要求1所述的树脂增透膜，其特征在于：所述Ti3O5层的厚度为10~400nm。4.如权利要求1所述的树脂增透膜，其特征在于：所述SiAl层的厚度为10~400nm。5.如权利要求1所述的树脂增透膜，其特征在于：所述SiAl层中的SiO2：Al2O3的质量百分比为1.8:1~2.3:1。6.如权利要求1所述的树脂增透膜，其特征在于：增透膜的底部设置有厚度为0.01~0.2mm的基板，所述基板为PET层、COP层、COC层、PMMA层或PC层。7.权利要求1所述的树脂增透膜的制备方...

【专利技术属性】
技术研发人员：王军，
申请(专利权)人：无锡奥芬光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32