【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及增透膜,特别涉及一种耐磨的增透膜的制造方法。
技术介绍
现有的增透膜(减反射膜)的耐磨效果不好。
技术实现思路
有鉴于此,有必要提供一种耐磨的增透膜的制造方法。一种增透膜的制造方法,其利用真空镀膜方法在一基底上依次轮替镀多个高折射率层及多个低折射率层。该高折射率层为氟化镁,该低折射率层为二氧化钛及氧化镨的混合物。如此制造的增透膜在可见光波段(400-650nm)内的透射率大于99.5%。另外,同样用6H硬度的铅笔在500克力作用下来回划动5次,本专利技术的增透膜的划伤程度远小于现有的增透膜。附图说明图1为本专利技术较佳实施方式的增透膜的制造方法的装置示意图。图2为本专利技术较佳实施方式的增透膜的剖面示意图。图3为图2的增透膜的波长-反射率特性曲线图。主要元件符号说明如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本专利技术。具体实施方式本专利技术较佳实施方式的增透膜的制造方法利用真空镀膜方法在一基底上依次轮替蒸镀多个高折射率层及多个低折射率层。该高折射率层为氟化镁,该低折射率层为二氧化钛及氧化镨的混合物。请参图1,作为例子,本实施方式的基底10为玻璃镜片,其折射率为1.62左右。为提高该基底10的附着力,在镀膜前,该基底10宜用超声波清洗方法进行清洗。镀膜前,需提供一真空镀膜装置20,并将该真空镀膜装置20抽真空并加热。作为例子,本实施方式中,该真空镀膜装置20抽真空至2.0×10-3帕左右,并加热至300摄氏 ...
【技术保护点】
一种增透膜的制造方法,其利用真空镀膜方法在一基底上依次轮替镀多个高折射率层及多个低折射率层;该高折射率层为氟化镁,该低折射率层为二氧化钛及氧化镨的混合物。
【技术特征摘要】
1.一种增透膜的制造方法,其利用真空镀膜方法在一基底上依次轮替镀多个高折射率层及多个低折射率层;该高折射率层为氟化镁,该低折射率层为二氧化钛及氧化镨的混合物。
2.如权利要求1的增透膜的制造方法,其特征在于,在镀膜前,利用超声波清洗方法清洗该基底。
3.如权利要求1的增透膜的制造方法,其特征在于,在镀膜前提供一真空镀膜装置,并将该真空镀膜装置抽真空并加热。
4.如权利要求3的增透膜的制造方法,其特征在于,该真空镀膜装置抽真空至2.0×10-3帕左右,并加热至300摄氏度左右。
5.如权利要求3的增透膜的制造方法,其特征在于,镀膜前,该基底在该真空镀膜装置的真空高温环境下烘烤。
6.如权利要求5的增透膜的制造方法,其特征在于,该基底的烘烤时间为60分钟左右。
7.如权利要求3...
【专利技术属性】
技术研发人员:麦清灵,谢祥斌,
申请(专利权)人:佛山普立华科技有限公司,鸿海精密工业股份有限公司,
类型:发明
国别省市:广东;44