增透膜的制造方法技术

技术编号:11173288 阅读:74 留言:1更新日期:2015-03-20 02:41
本发明专利技术提供一种增透膜的制造方法,其利用真空镀膜方法在一基底上依次轮替蒸镀多个高折射率层及多个低折射率层。该高折射率层为氟化镁,该低折射率层为二氧化钛及氧化镨的混合物。如此制造的增透膜透射率高且耐磨。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及增透膜,特别涉及一种耐磨的增透膜的制造方法
技术介绍
现有的增透膜(减反射膜)的耐磨效果不好。
技术实现思路
有鉴于此,有必要提供一种耐磨的增透膜的制造方法。一种增透膜的制造方法,其利用真空镀膜方法在一基底上依次轮替镀多个高折射率层及多个低折射率层。该高折射率层为氟化镁,该低折射率层为二氧化钛及氧化镨的混合物。如此制造的增透膜在可见光波段(400-650nm)内的透射率大于99.5%。另外,同样用6H硬度的铅笔在500克力作用下来回划动5次,本专利技术的增透膜的划伤程度远小于现有的增透膜。附图说明图1为本专利技术较佳实施方式的增透膜的制造方法的装置示意图。图2为本专利技术较佳实施方式的增透膜的剖面示意图。图3为图2的增透膜的波长-反射率特性曲线图。主要元件符号说明如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本专利技术。具体实施方式本专利技术较佳实施方式的增透膜的制造方法利用真空镀膜方法在一基底上依次轮替蒸镀多个高折射率层及多个低折射率层。该高折射率层为氟化镁,该低折射率层为二氧化钛及氧化镨的混合物。请参图1,作为例子,本实施方式的基底10为玻璃镜片,其折射率为1.62左右。为提高该基底10的附着力,在镀膜前,该基底10宜用超声波清洗方法进行清洗。镀膜前,需提供一真空镀膜装置20,并将该真空镀膜装置20抽真空并加热。作为例子,本实施方式中,该真空镀膜装置20抽真空至2.0×10-3帕左右,并加热至300摄氏度左右。镀膜前,该基底10在该真空镀膜装置20的真空高温环境下烘烤。作为例子,本实施方式中,该基底10的烘烤时间为60分钟左右。该真空镀膜装置20包括一坩埚21、一电子枪22及一膜厚监控水晶片23。该坩埚21用于收容该高折射率层及该低折射率层的原料。该电子枪22用于发射电子束以轰击、蒸发原料进行蒸镀。该膜厚监控水晶片23用于监控该高折射率层及该低折射率层的增厚速率、膜厚。作为例子,本实施方式中,蒸镀该高折射率层及该低折射率层时,该电子枪22的工作电流分别约为25mA及330mA(工作电压为220V)。如此,借助该膜厚监控水晶片23可录得该高折射率层及该低折射率层的增厚速率分别约为4埃/秒及4.1埃/秒。该真空镀膜装置20还包括一气体入口24,用于在蒸镀该低折射率层时导入氧气。作为例子,本实施方式中,在蒸镀该低折射率层时,该真空镀膜装置20内的氧气压强约为1.0×10-2帕。请参阅图2,镀膜后,可在该基底10得到本实施方式的增透膜30。该增透膜30包括依次轮替堆叠的一第一高折射率层31、第一低折射率层32、一第二高折射率层33、一第二低折射率层34、一第三高折射率层35、一第三低折射率层36及一第四高折射率层37。也即是说,该增透膜30共有七层。作为例子,下面给出各个膜层的物理厚度:请参阅图3,为测量到的该增透膜30的波长-反射率特性曲线图。可见,该增透膜30在可见光波段(400-650nm)内的反射率低于0.5%(即透射率大于99.5%)。另外,同样用6H硬度的铅笔在500克力作用下来回划动5次,该增透膜30的划伤程度远小于现有的增透膜。总之,本
的普通技术人员应当认识到,以上的实施方式仅是用来说明本专利技术,而并非用作为对本专利技术的限定,只要在本专利技术的实质精神范围之内,对以上实施例所作的适当改变和变化都落在本专利技术要求保护的范围之内。本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种增透膜的制造方法,其利用真空镀膜方法在一基底上依次轮替镀多个高折射率层及多个低折射率层;该高折射率层为氟化镁,该低折射率层为二氧化钛及氧化镨的混合物。

【技术特征摘要】
1.一种增透膜的制造方法,其利用真空镀膜方法在一基底上依次轮替镀多个高折射率层及多个低折射率层;该高折射率层为氟化镁,该低折射率层为二氧化钛及氧化镨的混合物。
2.如权利要求1的增透膜的制造方法,其特征在于,在镀膜前,利用超声波清洗方法清洗该基底。
3.如权利要求1的增透膜的制造方法,其特征在于,在镀膜前提供一真空镀膜装置,并将该真空镀膜装置抽真空并加热。
4.如权利要求3的增透膜的制造方法,其特征在于,该真空镀膜装置抽真空至2.0×10-3帕左右,并加热至300摄氏度左右。
5.如权利要求3的增透膜的制造方法,其特征在于,镀膜前,该基底在该真空镀膜装置的真空高温环境下烘烤。
6.如权利要求5的增透膜的制造方法,其特征在于,该基底的烘烤时间为60分钟左右。
7.如权利要求3...

【专利技术属性】
技术研发人员:麦清灵谢祥斌
申请(专利权)人:佛山普立华科技有限公司鸿海精密工业股份有限公司
类型:发明
国别省市:广东;44

网友询问留言 已有1条评论
  • 来自[美国加利福尼亚州圣克拉拉县山景市谷歌公司] 2015年03月20日 05:07
    光具有波粒二象性,即从微观上既可以把它理解成一种波、又可以把它理解成一束高速运动的粒子(注意,这里可千万别把它理解成一种简单的波和一种简单的粒子。它们都是微观上来讲的,爱因斯坦通过研究,命名为光子。红光波的波长=0.750微米紫光波长=0.400微米。而一个光子的质量是6.63E-34千克·如此看来他们都远远不是我们所想想的那种宏观波和粒子·)增透膜的原理是把光当成一种波来考虑的,因为光波和机械波一样也具有干涉的性质。
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