弹性波装置制造方法及图纸

提供能提高IDT电极的耐气候性的弹性波装置。弹性波装置(1)利用板波。在支承基板(2)的上表面(2a)设有凹部(2b)。压电基板(3)从第1主面(3a)侧配置在支承基板(2)上。在压电基板(3)的第1主面(3a)设置IDT电极(4)。凹部(2b)形成被支承基板(2)和压电基板(3)的第1主面(3a)包围的空洞。IDT电极(4)面对空洞而配置。在压电基板(3)设置将空洞和第2主面(3b)连接的贯通孔(3c、3d)，在贯通孔(3c、3d)填充密封材料(7a、7b)。

Elastic wave device

An elastic wave device capable of enhancing the weatherability of IDT electrodes is provided. The elastic wave device (1) uses the plate wave. A concave part (2b) is arranged on the upper surface (2a) of the supporting substrate (2). The piezoelectric substrate (3) is disposed on the supporting substrate (2) from the first main side (3a) side. A IDT electrode (4) is arranged on the first main surface (3a) of the piezoelectric substrate (3). The concave part (2b) forms a cavity surrounded by the first main surface (3a) of the supporting substrate (2) and the piezoelectric substrate (3). The IDT electrode (4) is disposed in the face of the cavity. The piezoelectric substrate (3) is provided with a through hole (3C, 3D) connected to the cavity and the second main surface (3b), and the sealing material (7a, 7b) is filled through through holes (3C, 3D).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置
本技术涉及在支承基板与压电基板之间设置空洞的弹性波装置以及其制造方法。
技术介绍
在下述的专利文献1中公开了利用板波的弹性波装置。在该弹性波装置的制造时，准备层叠体，该层叠体在支承基板的上表面的凹部形成有牺牲层，覆盖该牺牲层那样地层叠压电单晶基板。在层叠体中，在压电基板的面对上述牺牲层的面预先形成IDT电极。接下来在压电基板形成与上述牺牲层相连的贯通孔。通过利用该贯通孔的蚀刻来除去牺牲层。其结果牺牲层被做成空洞。设于压电基板的IDT电极面对上述空洞。现有技术文献专利文献专利文献1：WO2010/082571
技术实现思路
技术要解决的课题在专利文献1记载的弹性波装置中，为了除去牺牲层而设置上述贯通孔。为此上述IDT电极易于经过上述贯通孔与外部空气接触。其结果，有IDT电极变形、变色、劣化等IDT电极的耐气候性变低的问题。本技术的目的在于，提供能提高IDT电极的耐气候性的弹性波装置以及其制造方法。用于解决课题的手段本技术所涉及的弹性波装置具备：支承基板，其在上表面设有凹部；压电基板，其具有第1主面和与所述第1主面对置的第2主面，所述第1主面侧配置在所述支承基板上；和IDT电极，其设置在所述第1主面上，所述凹部形成被所述支承基板和所述第1主面包围的空洞，所述IDT电极面对所述空洞而配置，所述压电基板具有将所述空洞和所述第2主面连接的贯通孔，密封材料填充在所述贯通孔。在本技术所涉及的弹性波装置的某特定的局面中，所述密封材料是金属材料或树脂材料。在该情况下，能有效果地抑制水蒸气的透过。因而能更加进一步有效果地提高IDT电极的耐气候性。作为所述金属材料，优选使用以铜为主成分的材料。在该情况下，由于处置以及向贯通孔的填充容易，因此能拉低制造成本。作为所述树脂材料，优选使用感光性树脂。在该情况下，能使感光性树脂容易地硬化。因此能谋求制造工序的简化，能减低制造成本。作为所述感光性树脂，优选使用感光性聚酰亚胺。在该情况下，水蒸气难以透过且制造变得容易。由此能更加进一步提高IDT电极的耐气候性且减低制造成本。在本技术所涉及的弹性波装置的其他特定的局面下，还具备保护膜，其覆盖所述IDT电极那样地设于所述压电基板的所述第1主面上。在该情况下，能更加进一步有效果地提高IDT电极的耐气候性。作为所述保护膜，优选使用由从氧化硅、以氧化硅为主成分的材料、氮化硅、以氮化硅为主成分的材料、氧氮化硅以及以氧氮化硅为主成分的材料所组成的群选择的至少1种材料构成的保护膜。在使用这些材料的1种的情况下，能更加有效果地抑制水蒸气的透过。因此能更加有效果地提高IDT电极的耐气候性。另外还能改善弹性波装置的频率温度特性。在本技术所涉及的弹性波装置的另外特定的局面下，还具备：特性调整膜，其设于所述压电基板的所述第2主面上，用于调整所述弹性波装置的特性。在该情况下，能调整弹性波装置的谐振特性、滤波器特性等。作为所述特性调整膜，能适合地使用由从氧化硅、以氧化硅为主成分的材料、氮化硅、以氮化硅为主成分的材料、氧氮化硅以及以氧氮化硅为主成分的材料所组成的群选择的至少1种材料构成的特性调整膜。通过使用这样的材料的至少1种，能改善频率温度特性等。优选地，所述特性调整膜的主成分与所述保护膜的主成分相同。在该情况下，能提高压电基板的一方侧的结构与另一方侧的结构的对称性。因此能提高板波的激振效率。优选地，所述特性调整膜的组成与所述保护膜的组成相同。本技术所涉及的弹性波装置的制造方法具备如下工序：在压电基板的第1主面上设置IDT电极；覆盖所述IDT电极那样地在所述第1主面上设置牺牲层；覆盖所述牺牲层那样地形成支承基板；在所述压电基板形成从所述压电基板的第2主面到达所述牺牲层的贯通孔；利用所述贯通孔，通过蚀刻除去所述牺牲层，将设有所述牺牲层的部分作为空洞；和在所述贯通孔填充密封材料。技术的效果根据本技术所涉及的弹性波装置以及其制造方法，由于在贯通孔填充密封材料，因此能有效果地提高IDT电极的耐气候性。附图说明图1是本技术的第1实施方式所涉及的弹性波装置的主视截面图。图2(a)～图2(c)是用于说明第1实施方式的制造工序的各主视截面图。图3(a)～图3(c)是用于说明第1实施方式的制造工序的各主视截面图。图4(a)～图4(c)是用于说明第1实施方式的制造工序的各主视截面图。图5是第1实施方式的弹性波装置的示意俯视图。图6(a)以及图6(b)是用于说明本技术的第2实施方式所涉及的弹性波装置的制造工序的各主视截面图。图7(a)以及图7(b)是用于说明本技术的第2实施方式所涉及的弹性波装置的制造工序的各主视截面图。图8是第2实施方式所涉及的弹性波装置的主视截面图。图9是第3实施方式所涉及的弹性波装置的主视截面图。具体实施方式以下参考附图来说明本技术的具体的实施方式，由此使本技术变得明了。另外指出，本说明书所记载的各实施方式都是例示，在不同的实施方式间能进行构成的部分的置换或组合。图1是本技术的第1实施方式所涉及的弹性波装置的主视截面图。弹性波装置1具有支承基板2。在支承基板2的下表面层叠加强基板10。上述支承基板2以及加强基板10由适宜的绝缘性材料或半导体材料构成。作为这样的绝缘性材料，能举出氧化铝、氧化硅、氮化硅、氧氮化硅、硅等。在支承基板2的上表面2a设置凹部2b。在支承基板2的上表面2a层叠压电基板3。压电基板3具有相对置的第1主面3a和第2主面3b。在第1主面3a上形成IDT电极4。形成电极连接盘5、6来与IDT电极4电连接。压电基板3由LiTaO3或LiNbO3等的压电单晶构成。压电基板3由压电陶瓷构成。压电基板3覆盖上述凹部2b而设。由此凹部2b形成被支承基板2和压电基板3包围的空洞。设置IDT电极4，使其面对该空洞。因而，若对IDT电极4施加交变电场，会使形成有IDT电极4的压电基板部分激振。弹性波装置1利用由IDT电极4激振的板波。上述IDT电极4以及电极连接盘5、6由适宜的金属或合金构成。另外，IDT电极4以及电极连接盘5、6也可以由层叠多个金属膜而成的层叠金属膜构成。在压电基板3设置第1贯通孔3c、3d。第1贯通孔3c、3d从第1主面3a朝向第2主面3b贯通。第1贯通孔3c、3d在后述的制造工序中作为蚀刻孔而利用。第1贯通孔3c、3d的开口部的平面形状并没有特别限定。既可以是圆形，也可以是矩形，还可以具有条带状、曲线状等适宜的形状。上述第1贯通孔3c、3d将由凹部2b形成的空洞与外部空气(与第2主面3b相接的空间)连接。在第1贯通孔3c、3d填充密封材料7a、7b。在本实施方式中，密封材料7a、7b由金属材料构成。上述密封材料7a、7b不仅填充在第1贯通孔3c、3d，还在压电基板3的第2主面3b中设置成直到第1贯通孔3c、3d的开口缘的外侧。因此空洞更加进一步确实地与外部空气阻断。另外，上述密封材料7a、7b防止IDT电极4经由第1贯通孔3c、3d与外部空气接触而使用。因此，上述密封材料7a、7b填充(注入)到第1贯通孔3c、3d，使得IDT电极4不与外部空气接触即可。上述密封材料7a、7b也可以不是完全填充在第1贯通孔3c、3d，例如也可以像阻断第1贯通孔3c、3d和外部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性波装置，具备：支承基板，其在上表面设有凹部；压电基板，其具有第1主面和与所述第1主面对置的第2主面，所述第1主面侧配置在所述支承基板上；和IDT电极，其设置在所述第1主面上，所述凹部形成被所述支承基板和所述第1主面包围的空洞，所述IDT电极面对所述空洞而配置，所述压电基板具有将所述空洞和所述第2主面连接的贯通孔，密封材料填充在所述贯通孔。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.12.25 JP 2014-2622021.一种弹性波装置，具备：支承基板，其在上表面设有凹部；压电基板，其具有第1主面和与所述第1主面对置的第2主面，所述第1主面侧配置在所述支承基板上；和IDT电极，其设置在所述第1主面上，所述凹部形成被所述支承基板和所述第1主面包围的空洞，所述IDT电极面对所述空洞而配置，所述压电基板具有将所述空洞和所述第2主面连接的贯通孔，密封材料填充在所述贯通孔。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述密封材料是金属材料或树脂材料。3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，所述金属材料是铜。4.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，所述树脂材料是感光性树脂。5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：岸本谕卓，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：新型
国别省市：日本,JP