一种纳米压印模板制造技术

本实用新型专利技术公开一种纳米压印模板，其特征在于，包括显示区和保护显示区不被破坏的非显示区，所述非显示区高度大于显示区高度，所述非显示区支撑压印模板以使显示区不与位于基板上方的图案化层接触。本实用新型专利技术中提出了一种纳米压印模版，将模版中非显示区域的骨架结构增高，从而对显示区域的结构进行了保护，防止压印工艺过程中由于压印压力过大导致的模版破坏，进而增加了模版的利用次数，降低了工艺成本。

A nano imprint template

The utility model discloses a nano imprint template, which includes a non display area which is not damaged in the display area and protected display area, the height of the non display area is greater than the display area height, and the non display area supports the embossing template so that the display area is not in contact with the patterned layer above the substrate. In the utility model, a kind of nano imprint template is proposed, which increases the skeleton structure of the non display area in the template, thus protecting the structure of the display area, preventing the template damage caused by the overpress pressure in the printing process, and then increasing the use times of the template and reducing the process cost.

【技术实现步骤摘要】
一种纳米压印模板
本技术涉及纳米压印
更具体地，涉及一种纳米压印模板。
技术介绍
压印技术最早由美国尼苏达大学提出，是一种光刻技术之外的重要薄膜图案化技术，主要包括热压印、紫外压印和微接触压印。其图案化原理可以描述为：在热或者紫外照射下将预先制作的有图案的模版压在压印胶上，再通过脱模、刻蚀多余胶、刻蚀和去胶等工艺，制作与模版相同或者相反的图案。其中为了保护模版，在压印工艺中并不会使模版与压印胶层下面的具有一定硬度的图案化层直接接触，而是在图案化层与压印模版之间留有一定距离的空隙，之后再通过刻蚀多余胶的步骤使图案化层显现出来，而在压印过程如果出现压印压力过大的情况，压印模版与图案化层直接接触，将会使模版破坏。因此，需要提供一种纳米压印模板。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种纳米压印模板，将模版中非显示区域的骨架结构增高，从而对显示区域的结构进行了保护。为达到上述目的，本技术采用下述技术方案：一种纳米压印模板，包括显示区和保护显示区不被破坏的非显示区，所述非显示区高度大于显示区高度，所述非显示区支撑压印模板以使显示区不与位于基板上方的图案化层接触。进一步地，显示区与非显示区交替间隔设置，所述显示区和非显示区包括多个间隔设置的突起部，所述显示区的突起部表面设有压印图案。进一步地，非显示区的突起部高度大于显示区的突起部高度。进一步地，基板上方从上到下依次设有压印胶层和图案化层。进一步地，显示区的突起部与压印胶层接触并将图案压印在压印胶层上，所述非显示区的突起部穿过压印胶层与图案化层接触。进一步地，显示区和非显示区的突起部的宽度和各个突起部的间隔大小范围是10nm～10um，根据待印图案的尺寸确定。进一步地，显示区和非显示区的突起部截面为矩形。进一步地，显示区和非显示区的突起部上设有对位标记，所述基板上设有与对位标记一一对应的位置标记。进一步地，对位标记为设置在每个突起部四个顶点出的方框标记，所述位置标记为由遮光条构成的十字标记。进一步地，压印模板由碳素钢板、碳化硅板、金属镍板或含氟聚合物制成。本技术的有益效果如下：本技术所述技术方案将纳米压印模版中非显示区域的骨架结构增高，从而对显示区域的结构进行了保护，防止压印工艺过程中由于压印压力过大导致的模版破坏，进而增加了模版的利用次数，降低了工艺成本。附图说明下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步详细的说明；图1为现有技术中纳米压印模板结构示意图；图2为本技术一个实施例所述的纳米压印模板结构示意图；图3为本技术另一个实施例所述的纳米压印模板结构示意图。图4为现有技术中纳米压印工艺流程示意图；图5为本技术一个实施例所述的纳米压印模板进行压印示意图。具体实施方式为了更清楚地说明本技术，下面结合优选实施例和附图对本技术做进一步的说明。附图中相似的部件以相同的附图标记进行表示。本领域技术人员应当理解，下面所具体描述的内容是说明性的而非限制性的，不应以此限制本技术的保护范围。如图1所示，现有技术中，纳米压印模板的显示区和非显示区高度与间隔均相等，显示区为制作所需结构的图案化区域，而非显示区为在压印过程中支撑模板，保护模板不被破坏。在进行压印过程中若压力过大，使显示区与基板上方的图案化层接触，会腐蚀模板接触面的图案，损坏模板。如图2和图5所示，本技术一个实施例公开了一种纳米压印模板，包括显示区和保护显示区不被破坏的非显示区，所述非显示区高度h2大于显示区高度h1，所述非显示区支撑压印模板以使显示区不与位于基板上方的图案化层接触。当非显示区接触到图案化层时，压印模板停止继续向下压，此时显示区由于高度h1小于非显示区高度h2，故显示区未与图案化层接触，不会对显示区的图案造成损坏。显示区与非显示区交替间隔设置，显示区和非显示区包括多个间隔设置的突起部a1和a2，显示区的突起部a1表面设有压印图案。非显示区的突起部a2高度大于显示区的突起部a1高度。优选的，显示区和非显示区的突起部截面为矩形。结合图3，为了使非显示区的突起部a2的支撑更加稳定且增加使用寿命，在不影响下方图案化区中的图案显示情况下可以将突起部a2的宽度加大，使a2的截面边长大于a1的界面边长。显示区突起部a1和非显示区的突起部a2的宽度和各个突起部的间隔b1和b2大小范围是10nm～10um，根据待印图案的尺寸确定，通常情况下b1＝b2，显示区各个突起部a1的高度h1也相同。显示区和非显示区的突起部上设有对位标记，所述基板上设有与对位标记一一对应的位置标记。对位标记为设置在每个突起部四个顶点出的方框标记，也可使用十字图案，三角图案等，所述位置标记为由遮光条构成的十字标记。也可不以遮光条作为位置标记，在基板上设置其他位置标记，也可以只使用其中一部分作为位置标记，只要使得所述纳米压印模板能压印到其对应的区域即可。如图4所示，现有技术中纳米压印工艺的流程为：首先，压印模板1与下方的基板4进行对位，使显示区和非显示区均处于下方的基板4范围内；然后控制压印模板1向下进行压印，压印过程中显示区的突起部a1、非显示区的突起部a2分别与压印胶层2接触，使压印胶层2填充压印模板1的间隔区域，直到非显示区的突起部a2将要穿过压印胶层2与图案化层接触时停止，压印完毕后撤回压印模板1，使压印胶层2与压印模板1脱离，然后将突起部压印位置的剩余的很薄压印胶层2除去，并对下方的图案化层3进行刻蚀使图案化层3显现出来，最后将填充部分的剩余的压印胶层2去除就完成了压印步骤。在上述步骤中，由于现有技术中a1＝a2，很难控制突起部与图案化层3不接触且剩余的压印胶层2很薄，当压印压力过大时，模板显示区的结构会被破坏。而在图5所示本专利技术实施例所示的压印模板，当非显示区的突起部a2穿过压印胶层2与图案化层3接触时，显示区的突起部a1与压印胶层2压合，且压印胶层2将显示区的突起部a1的至少部分密封包裹，显示区的突起部a1与图案化层3间留有一定距离的压印胶层2，这样当压印压力过大时，只会影响非显示区的突起部a2的结构，对于显示区突起部a1的结构并没有影响。压印模板由碳素钢板、碳化硅板、金属镍板或含氟聚合物制成，其中，含氟聚合物作为一种柔性材料，且价格相对于碳素钢、碳化硅或金属镍来说也较为便宜。其对压印胶的兼容性不如聚二甲基硅氧烷好。其中含氟聚合物又包括全氟聚醚，乙烯-四氟乙烯共聚物，硫醇-烯全氟聚合物等几种具体的聚合物类型。本技术所述技术方案将纳米压印模版中非显示区域的骨架结构增高，从而对显示区域的结构进行了保护，防止压印工艺过程中由于压印压力过大导致的模版破坏，进而增加了模版的利用次数，降低了工艺成本。显然，本技术的上述实施例仅仅是为清楚地说明本技术所作的举例，而并非是对本技术的实施方式的限定，对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无法对所有的实施方式予以穷举，凡是属于本技术的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本技术的保护范围之列。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种纳米压印模板，其特征在于，包括显示区和保护显示区不被破坏的非显示区，所述非显示区高度大于显示区高度，所述非显示区支撑压印模板以使显示区不与位于基板上方的图案化层接触。

【技术特征摘要】
1.一种纳米压印模板，其特征在于，包括显示区和保护显示区不被破坏的非显示区，所述非显示区高度大于显示区高度，所述非显示区支撑压印模板以使显示区不与位于基板上方的图案化层接触。2.根据权利要求1所述的压印模板，其特征在于，所述显示区与非显示区交替间隔设置，所述显示区和非显示区包括多个间隔设置的突起部，所述显示区的突起部表面设有压印图案。3.根据权利要求2所述的压印模板，其特征在于，所述非显示区的突起部高度大于显示区的突起部高度。4.根据权利要求3所述的压印模板，其特征在于，所述基板上方从上到下依次设有压印胶层和图案化层。5.根据权利要求4所述的压印模板，其特征在于，所述显示区的突起部与压印胶层接触并将图案压印在压印胶层上，所述非显示区的突起...

【专利技术属性】
技术研发人员：张笑，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11