一种可变光路的光学显微镜检测设备制造技术

本发明专利技术公开一种可变光路的光学显微镜检测设备，包括第一发光单元、第二发光单元、半反射镜、物镜单元和载物台机构。通过第一发光单元和第二发光单元提供不同波长的可变光，进而在光路引导单元中形成两个方向相反的光路，通过切换光路的照射方向，使得检测设备可呈现出生物显微镜和金相显微镜的功能，进而对不同的铟锡氧化物进行检测。而人们通过观测机构就可以对铟锡氧化物进行检测，由于铟锡氧化物对红外光不透光的特性，通过可变光源的红外光来源以及红外光光致荧光呈相机构，更准确的检测出铟锡氧化物的产品。

An optical microscope detection device with a variable optical path

The invention discloses an optical microscope detection device for a variable optical path, including a first light emitting unit, a second light emitting unit, a semi reflector, an objective lens unit and a carrier platform mechanism. Variable light wavelengths of different wavelengths are provided by the first light emitting unit and the second light emitting unit, and then two opposite directions are formed in the light path guiding unit. By switching the irradiation direction of the optical path, the detection device can present the function of the biological microscope and the metallographic microscope, and then the different indium tin oxides are examined. Test. Indium tin oxide can be detected by the observation mechanism, and indium tin oxide can be detected more accurately by the characteristics of indium tin oxide on the infrared light, through the infrared light source of variable light source and the phase mechanism of infrared light induced fluorescence, and the products of indium tin oxide are more accurately detected.

【技术实现步骤摘要】
一种可变光路的光学显微镜检测设备
本专利技术涉及显微镜领域，尤其涉及一种可变光路的光学显微镜检测设备。
技术介绍
铟锡氧化物是一种具有透光特性的半导体导电材料，并用来制备各类半导体器件如：薄膜晶体管平面显示器、发光二极管、太阳能电池、气体传感器和垂直腔面发射机光器等需要透明导电薄膜工艺的器件。一般铟锡氧化物在可见光光谱波段可呈现良好的透光效率，而在深紫外光以及红外光中则呈现反射特性。故除了电子器件所需的光电透光应用外，铟锡氧化物亦可用于车大楼玻璃外墙以及车用前挡玻璃的制红外线遮光应用。一般铟锡氧化物工艺是采用溅镀法进行工艺施作,再透过黄光以及蚀刻工艺达到器件所需的图像化效果，进而依序完成透明导电膜的制作。光学显微镜目检方式是一般常见的方法，用来检视图像化工艺后的铟锡氧化物薄膜。而在薄膜晶体管平面显示器相关产业中，由于玻璃衬底也兼具良好透光特性，故会增加光学目检的困难度。而在进行目检时，只能通用光学显微镜肉眼观察或监测，在衬底为透明状态下易形成目检误差，导致产品良率瑕疵。
技术实现思路
为此，需要提供一种可变光路的光学显微镜检测设备，解决目检容易形成误差，导致产品不良率高的问题。为实现上述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可变光路的光学显微镜检测设备，其特征在于，包括第一发光单元、第二发光单元、半反射镜、物镜单元和载物台机构；所述第一发光单元与第二发光单元相对设置，载物台机构的载物平台上的通光孔位于第一发光单元的光路上，以及载物台机构的载物平台上的通光孔也位于第二发光单元的光路上，物镜单元的入射端对准载物台的通光孔，所述半反射镜的反射面朝向物镜单元的出射端设置，所述物镜单元是具有红外光致荧光呈现功能的物镜；载物台机构用于接收第一发光单元的光束时载物台机构的载物平台上的通光孔开启，以及载物台机构用于接收第二发光单元的光束时载物台机构的载物平台上的通光孔闭合。

【技术特征摘要】
1.一种可变光路的光学显微镜检测设备，其特征在于，包括第一发光单元、第二发光单元、半反射镜、物镜单元和载物台机构；所述第一发光单元与第二发光单元相对设置，载物台机构的载物平台上的通光孔位于第一发光单元的光路上，以及载物台机构的载物平台上的通光孔也位于第二发光单元的光路上，物镜单元的入射端对准载物台的通光孔，所述半反射镜的反射面朝向物镜单元的出射端设置，所述物镜单元是具有红外光致荧光呈现功能的物镜；载物台机构用于接收第一发光单元的光束时载物台机构的载物平台上的通光孔开启，以及载物台机构用于接收第二发光单元的光束时载物台机构的载物平台上的通光孔闭合。2.根据权利要求1所述的一种可变光路的光学显微镜检测设备，其特征在于，还包括观测机构，观测机构包括目镜、棱镜反射组和补助透镜，补助透镜设置在半反射镜的反射光路上，棱镜反射组设置在补助透镜与目镜之间，棱镜反射组用于反射光束到目镜上。3.根据权利要求1所述的一种可变光路的光学显微镜检测设备，其特征在于，还包括同步电路单元，同步电路单元与第一发光单元电连接，同步电路单元与第二发光单元电连接，同步电路单元用于协调控制第一发光单元或第二发光单元发光时载物台上通光孔的开启或闭合。4.根据权利要求3所述的一种可变光路的光学显微镜检测设备，其特征在于，还包括光源机构，光源机构包括第一发光单元、第二发光单元和光路引导单元，第一发光单元设置在光源机构的一侧面上，第二发光单元设置在光源机构的另一侧面上，光路引导单元用于引导第一发光单元形成一个环形光路，且光路引导单元用于引导第二发光单元形成一个与第一发光单元方向相反的环形光路。5.根据权利要求4...

【专利技术属性】
技术研发人员：许孟凯，陈胜男，林张鸿，邱文宗，林伟铭，陈智广，吴淑芳，
申请(专利权)人：福建省福联集成电路有限公司，
类型：发明
国别省市：福建,35