采用非选择性外延的自对准锗硅HBT器件的制造方法技术

本发明专利技术公开了一种采用非选择性外延的自对准锗硅HBT器件的制造方法，淀积第一层SiO2层，打开锗硅单晶外延窗口，非选择性生长锗硅外延层；在所述锗硅外延层上端，依次淀积第二层SiO2层、多晶硅层；光刻和干法刻蚀所述SiO2/多晶硅叠层；进行第一次外基区离子注入；淀积第三层SiO2层，回刻形成侧墙，进行第二次外基区离子注入；淀积第四层SiO2层；在所述第四层SiO2层的上端，淀积平坦化的有机介质层；用回刻方法将多晶硅顶端的有机介质层和二氧化硅层去除；干法刻蚀多晶硅，干刻将发射极窗口打开；回刻形成内侧墙；形成发射极和基极。本发明专利技术能够很简单地和现有的CMOS工艺集成，容易形成适合大规模量产的工艺流程。

Fabrication of self-aligned germanium silicon HBT devices using non selective epitaxy

The invention discloses a manufacturing method of a self aligned germanium HBT device using non selective epitaxy. The first layer of SiO2 layer is deposited, the epitaxial window of the germanium single crystal is opened, the germanium silicon epitaxial layer is not selectively grown, and the second layers of SiO2 layer and polycrystalline silicon layer are deposited in the upper end of the germanium silicon epitaxial layer, and the photolithography and dry etching of the SiO2/ are made. Polysilicon overlapped; the first ion implantation was carried out; the third layers of SiO2 layer were deposited, the side wall was formed and the second outer base areas were implanted; the fourth layer of SiO2 layer was deposited; the flat organic medium layer was deposited at the upper end of the fourth layer SiO2 layer; the organic medium layer and the two layer of polysilicon at the top of the organic medium layer and two were used for the recovery method. The silicon oxide layer is removed, dry etching polysilicon, dry etching opens the emitter window, and then forms the inner wall, forming emitter and base. The invention can be integrated with the existing CMOS technology simply, and is easy to form a technological process suitable for mass production.

【技术实现步骤摘要】
采用非选择性外延的自对准锗硅HBT器件的制造方法
本专利技术涉及半导体集成电路领域，特别是涉及一种采用非选择性外延的自对准锗硅HBT(锗硅异质结双极型三极管)器件的制造方法。
技术介绍
采用P型多晶硅抬高外基区，发射极和外基区之间采用内侧墙的自对准器件结构，可以同时降低基极电阻和基极-集电极电容，这样的锗硅异质结双极型三极管(HBT)器件可以得到大于300GHz的最高振荡频率fmax，其性能可以和III-V器件相当，被广泛用于光通信和毫米波应用。SiGeHBT器件采用较小能带宽度的掺有杂质硼的锗硅碳合金为基极，由于发射极和基极有能带差，可以在保证同样的直流电流放大倍数HFE时采用较高的基区掺杂，从而得到较高的fmax。基极电阻包括外基区电阻和本征基区电阻(发射极下的电阻)，是提升fmax的重要的参数，要降低基极电阻，要尽可能提高基区的掺杂浓度，及降低发射极窗口和侧墙的宽度。锗硅HBT的截止频率fT和最高振荡频率由以下公式表征：现有技术中有两种方案来形成自对准的锗硅HBT器件，一是选择性锗硅外延方案，结合图1-3所示，工艺流程如下：在形成集电极后，淀积SiO2(二氧化硅)/重掺硼多晶硅/SiO2/SiN(氮化硅)/SiO2叠层，然后打开发射极窗口，干法刻蚀停在底层SiO2上。湿法刻蚀和清洗后，选择性外延(只在有源区和多晶硅区)生长锗硅，然后淀积介质和反刻形成内侧墙。湿法刻蚀和清洗后，淀积重掺杂砷多晶硅，然后刻蚀发射极和基极多晶硅形成发射极和基极。另一种方案采用非选择性锗硅外延，结合图4-6所示，工艺流程如下：在形成集电极后，采用非选择性外延方法生长锗硅层，然后淀积SiO2/SiN/SiO2叠层。打开发射极窗口，干法刻蚀SiO2/SiN停在底层氧化硅上。淀积SiO2，回刻形成内侧墙。湿法刻蚀和清洗后，淀积重掺砷多晶硅和SiO2叠层，光刻和刻蚀形成发射极多晶硅。淀积SiO2，回刻形成外侧墙，并去除EP(发射极多晶硅)外SiN上的氧化硅。用热磷酸去除SiN，选择性生长高硼掺杂Si(硅)外延形成外基区。光刻和刻蚀形成基极。第一种工艺实现方法比较简单，但需要做选择性锗硅外延，在器件横向尺寸逐步降低的情况下，要得到无缺陷的外延层有挑战；而第二种方案采用锗硅非选择性外延工艺，但最后要在EP侧墙以外的区域，选择性的生长高掺杂的多晶硅，掺杂浓度达到满足器件要求的1020cm-3是非常困难的，很难在硅片制造厂得到稳定量产的工艺。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种采用非选择性外延的自对准锗硅HBT器件的制造方法，能够很简单地和现有的CMOS工艺集成，容易形成适合大规模量产的工艺流程。为解决上述技术问题，本专利技术的采用非选择性外延的自对准锗硅HBT器件的制造方法，包括如下步骤：步骤1、在形成集电极后，淀积第一层SiO2层，打开锗硅单晶外延窗口，在去除所述锗硅单晶外延窗口内的SiO2层和清洗后，非选择性生长锗硅外延层；步骤2、在所述锗硅外延层上端，依次淀积第二层SiO2层、多晶硅层，即淀积SiO2/多晶硅叠层；步骤3、用牺牲发射极窗口光刻和干法刻蚀所述SiO2/多晶硅叠层，停在第二层SiO2层，除发射极区域外其余区域全部都刻除；步骤4、用二氟化硼或硼离子进行第一次外基区离子注入；步骤5、淀积第三层SiO2层，回刻形成侧墙，用硼离子进行第二次外基区离子注入；步骤6、淀积第四层SiO2层；步骤7、在所述第四层SiO2层的上端，淀积平坦化的有机介质层；步骤8、用回刻方法将多晶硅顶端的有机介质层和二氧化硅层去除；步骤9、干法刻蚀多晶硅，干刻将发射极窗口打开；步骤10、在所述发射极窗口内淀积氮化硅/二氧化硅叠层或无定型硅，回刻形成内侧墙；步骤11、湿法刻蚀和清洗所述发射极窗口后，在该发射极窗口内淀积重掺杂砷多晶硅，然后刻蚀发射极和基极多晶硅形成发射极和基极。本专利技术的方法是一种采用非选择性锗硅外延方案，通过牺牲层的淀积和反刻、形成侧墙及有机介质回刻等技术，来实现锗硅自对准器件。本专利技术的方法采用量产的生产线上的成熟工艺的整合，可保证整个工艺流程的稳定性。本专利技术的有益效果为，为得到较高的器件性能，自对准的锗硅HBT需要对基区的横向和纵向尺寸进行缩小，本专利技术采用了成熟的低温锗硅非选择性外延工艺方法，只需缩小纵向尺寸就可以达到要求，而选择性外延则需要对横向和纵向同时缩小。相比采用非选择性外延的已有工艺方法，其采用的选择性氮化硅去除工艺方法，对工艺的控制要求高，而选择性的多晶填充，要达到较高的掺杂浓度需要特殊设备；而本专利技术的单项工艺方法，都是芯片制造厂的标准工艺，其外基区的掺杂采用两步离子注入，可同时降低外基区电阻及基极和集电极电容，工艺简单易行，适合量产。附图说明下面结合附图与具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明：图1-3是现有的采用选择性锗硅外延形成自对准的锗硅HBT器件示意图；图4-6是现有的采用非选择性锗硅外延形成自对准的锗硅HBT器件示意图；图7是非选择性生长锗硅外延层示意图；图8是淀积SiO2/多晶硅叠层示意图；图9是回刻形成侧墙示意图；图10是淀积SiO2层、平坦化的有机介质层示意图；图11是去除多晶硅顶端的有机介质和氧化硅示意图；图12是打开发射极窗口示意图；图13是形成内侧墙示意图；图14是形成发射极和基极示意图；图15是所述采用非选择性外延的自对准锗硅HBT器件的制造方法一实施例流程图。具体实施方式参见图15所示，所述采用非选择性外延的自对准锗硅HBT器件的制造方法在下面的实施例中具体实施方式如下：结合图7所示，在形成集电极后，淀积第一层SiO2层1，厚度为打开锗硅单晶外延窗口，在去除所述锗硅单晶外延窗口内的SiO2层1和清洗后，非选择性生长锗硅外延层2。结合图8所示，在所述锗硅外延层2上端，依次淀积第二层SiO2层3、多晶硅层4，即淀积SiO2/多晶硅叠层。第二层SiO2层3厚度为多晶硅层4厚度为结合图9所示，用牺牲发射极窗口(反版)光刻和干法刻蚀所述SiO2/多晶硅叠层，停在第二层SiO2层3，除发射极区域外其余区域都刻除，牺牲发射极窗口的尺寸在0.2～0.3微米。用BF2(二氟化硼)或B(硼)离子进行第一次外基区离子注入，注入深度控制在以下，最优在以下，剂量为3E14～1E15。淀积第三层SiO2层，厚度为回刻形成侧墙5，用B(硼)离子进行第二次外基区离子注入，注入深度在以内，剂量为2E15～5E15。结合图10所示，淀积第四层SiO2层6，厚度为在所述第四层SiO2层6的上端，淀积平坦化的有机介质层7，厚度为其在多晶硅上的厚度要低于有源区。结合图11所示，用回刻方法把多晶硅顶端的有机介质层7和二氧化硅层6去除；有源区需要有部分有机介质层7存留以保证氧化硅完整，然后再去除有机介质层7。结合图12所示，干法刻蚀多晶硅，由于除多晶硅顶部外，其他区域有氧化硅保护，干刻把发射极窗口8打开。结合图13所示，在所述发射极窗口8内淀积SiN/SiO2叠层或无定型硅，所述SiN/SiO2叠层的总厚度或无定型硅的厚度为回刻形成内侧墙9。结合图14所示，湿法刻蚀和清洗所述发射极窗口8后，在该发射极窗口8内淀积重掺杂砷多晶硅，厚度为然后刻蚀发射极和基极多晶硅形成发射极10和基极。本专利技术的方法可很简单地和现有的CMOS工艺集成，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种采用非选择性外延的自对准锗硅HBT器件的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、在形成集电极后，淀积第一层二氧化硅SiO2层，打开锗硅单晶外延窗口，在去除所述锗硅单晶外延窗口内的二氧化硅SiO2层和清洗后，非选择性生长锗硅外延层；步骤2、在所述锗硅外延层上端，依次淀积第二层二氧化硅SiO2层、多晶硅层，即淀积SiO2/多晶硅叠层；步骤3、用牺牲发射极窗口光刻和干法刻蚀所述二氧化硅SiO2/多晶硅叠层，停在第二层二氧化硅SiO2层，除发射极区域外其余区域全部刻除；步骤4、用二氟化硼或硼离子进行第一次外基区离子注入；步骤5、淀积第三层二氧化硅SiO2层，回刻形成侧墙，用硼离子进行第二次外基区离子注入；步骤6、淀积第四层二氧化硅SiO2层；步骤7、在所述第四层二氧化硅SiO2层的上端，淀积平坦化的有机介质层；步骤8、用回刻方法将多晶硅顶端的有机介质层和二氧化硅层去除；步骤9、干法刻蚀多晶硅，干刻将发射极窗口打开；步骤10、在所述发射极窗口内淀积氮化硅SiN/二氧化硅SiO2叠层或无定型硅，回刻形成内侧墙；步骤11、湿法刻蚀和清洗所述发射极窗口后，在该发射极窗口内淀积重掺杂砷多晶硅，然后刻蚀发射极和基极多晶硅形成发射极和基极。...

【技术特征摘要】
1.一种采用非选择性外延的自对准锗硅HBT器件的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、在形成集电极后，淀积第一层二氧化硅SiO2层，打开锗硅单晶外延窗口，在去除所述锗硅单晶外延窗口内的二氧化硅SiO2层和清洗后，非选择性生长锗硅外延层；步骤2、在所述锗硅外延层上端，依次淀积第二层二氧化硅SiO2层、多晶硅层，即淀积SiO2/多晶硅叠层；步骤3、用牺牲发射极窗口光刻和干法刻蚀所述二氧化硅SiO2/多晶硅叠层，停在第二层二氧化硅SiO2层，除发射极区域外其余区域全部刻除；步骤4、用二氟化硼或硼离子进行第一次外基区离子注入；步骤5、淀积第三层二氧化硅SiO2层，回刻形成侧墙，用硼离子进行第二次外基区离子注入；步骤6、淀积第四层二氧化硅SiO2层；步骤7、在所述第四层二氧化硅SiO2层的上端，淀积平坦化的有机介质层；步骤8、用回刻方法将多晶硅顶端的有机介质层和二氧化硅层去除；步骤9、干法刻蚀多晶硅，干刻将发射极窗口打开；步骤10、在所述发射极窗口内淀积氮化硅SiN/二氧化硅SiO2叠层或无定型硅，回刻形成内侧墙；步骤11、湿法刻蚀和清洗所述发射极窗口后，在该发射极窗口内淀积重掺杂砷多晶硅，然后刻蚀发射极和基极多晶硅形成发射极和基极。2.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：周正良，
申请(专利权)人：上海华虹宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31