The utility model discloses an integrated water cooling plate (1), which forms a cooling channel (2) at the top of the plate body (1), and the bottom of the plate body (1) is provided with a inlet pipe (3) and a outlet pipe (4) connected with the cooling channel (2), and the top of the plate body (1) is also provided with an Airways (5), and the top of the airway (5) has an exhaust hole (6). The bottom of the plate body (1) is provided with a gas supply pipe (7) connected with the air passage (5). The utility model integrates the airways on the water cooling board, solves the problem of poor blowing effect in the narrow space, and can also drive the gas flow under the craft board, and speed up the cooling speed of the craft carrier plate.
【技术实现步骤摘要】
集成式水冷板
本技术涉及一种真空镀膜技术,具体涉及一种集成式水冷板。
技术介绍
现有技术中,真空镀膜腔内的水冷板设置于加热灯管下方,灯管对其上方的工艺载板进行加热完成工艺过程。为了防止加热过程中腔室下部温度过高,同时加快工艺反应之后工艺载板的冷却速度,水冷板通入冷却循环水将多余的热量带走。为了保证工艺载板的加热效果和冷却速度,水冷板、工艺载板与加热灯管三者之间设定为一个合适的距离。由于真空镀膜腔室内部结构紧凑和工艺原因,无法在水平方向上安置气体管路。通常在腔室下部、四周设置气体管路进行吹扫,防止在工艺过程中产生的各种颗粒沉积于腔室,形成杂质,同时气流也能带走真空镀膜腔室内部一部分热量。然而工艺载板与水冷板之间空间狭小,气体难以将水冷板或者加热灯管上的颗粒吹扫干净,即使在水冷板上加工通气孔,吹扫的效果也不甚理想。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种集成式水冷板,以解决现有技术中的技术问题,它将气体吹扫功能集成于水冷板上,能够解决狭小空间吹扫效果不佳的问题,还可以带动工艺载板下方气体流动,加快工艺载板的冷却速度。本技术提供了一种集成式水冷板,包括板体,所述板体的顶部形成有冷却水道,所述板体的底部设有与所述冷却水道连通的进水管和出水管,所述板体的顶部还设有气道,所述气道的顶部具有排气孔,所述板体的底部设有与所述气道连通的供气管。前述的集成式水冷板中,优选地,所述冷却水道由水路槽和水路覆板构成,所述水路槽开设在所述板体的顶面上,所述水路覆板固定在所述水路槽的顶部。前述的集成式水冷板中,优选地,所述水路槽为S形或“回”字形或平行设置的一字形。前述的集成式水冷板中,优选地, ...
【技术保护点】
1.一种集成式水冷板,包括板体(1),所述板体(1)的顶部形成有冷却水道(2),所述板体(1)的底部设有与所述冷却水道(2)连通的进水管(3)和出水管(4),其特征在于:所述板体(1)的顶部还设有气道(5),所述气道(5)的顶部具有排气孔(6),所述板体(1)的底部设有与所述气道(5)连通的供气管(7)。
【技术特征摘要】
1.一种集成式水冷板,包括板体(1),所述板体(1)的顶部形成有冷却水道(2),所述板体(1)的底部设有与所述冷却水道(2)连通的进水管(3)和出水管(4),其特征在于:所述板体(1)的顶部还设有气道(5),所述气道(5)的顶部具有排气孔(6),所述板体(1)的底部设有与所述气道(5)连通的供气管(7)。2.根据权利要求1所述的集成式水冷板,其特征在于:所述冷却水道(2)由水路槽(8)和水路覆板(9)构成,所述水路槽(8)开设在所述板体(1)的顶面上,所述水路覆板(9)固定在所述水路槽(8)的顶部。3.根据权利要求2所述的集成式水冷板,其特征在于:所述水路槽(8)为S形或“回”字形或平行设置的一字形。4.根据权利要求2或3所述的集成式水冷板,其特征在于:所述气道(5)由气路槽(10)和气路覆板(11)构成,所述气路槽(10)开设在所述板体(1)的顶面上,所述气路覆板(11)固定在所述气路槽(10)的顶部,所述气路槽(10)沿着所述水路槽(8)的边沿并行设置,所述排气孔(6)形成于所述气路覆板(11)上,所述供气管(7)的一端与所述气路槽(10)的底部连通。5.根据权利要求4所述的集成式水冷板,其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员:么曼实,南建辉,管长乐,
申请(专利权)人:北京创昱科技有限公司,
类型:新型
国别省市:北京,11
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