蓝宝石晶体复检仪制造技术

蓝宝石晶体复检仪，包括X射线发生器、测角仪和闪烁探测器。测角仪回转轴上有开口向上的U型支架。U型支架右侧内有陶瓷板。U型支架左侧上部有压紧装置，压紧端朝向陶瓷板。压紧装置包括压紧杆和压紧弹簧，装设在U型支架左侧上部开的弹簧孔内，压紧杆右端作为压紧端从弹簧孔朝向陶瓷板伸出。还有紫外灯。陶瓷板内侧有横向的兜圈，兜圈下方有内外兜。工作平台有镊子。U型支架的顶部固定支杆，上有反光叶片。工作平台边缘有横向轴，通过轴承装设支撑环，支撑环上有多个横向的挂物杆。结构简单、占用空间小、使用方便、检测精度高，解决了蓝宝石晶体复检缺陷检测漏检率高、角度及晶向测量精度低的难题，配合辅助组件，更加方便。

Sapphire crystal reinspection instrument

Sapphire crystal recheck instrument includes X ray generator, goniometer and scintillation detector. There is a U support on the axis of the goniometer. There are ceramic plates on the right side of the U type bracket. The left upper part of the U bracket has a pressing device, and the pressing end faces the ceramic plate. The tightening device includes a compression bar and a compression spring, installed in a spring hole on the left upper part of the U type bracket, and the right end of the press rod as a pressing end and extends from the spring hole toward the ceramic plate. And the ultraviolet light. The inner side of the ceramic plate has a horizontal circle, and the inside and outside pockets are below the pocket. The working platform has tweezers. The top fixed support of the U stent has reflector blades. The working platform has a transverse axis at the edge, and a supporting ring is installed through the bearing, and a plurality of transverse hanging rods are arranged on the supporting ring. It has the advantages of simple structure, small space, convenient use and high detection precision. It solves the problem of high leakage detection rate, low angle and low precision of crystal direction measurement in sapphire crystal reinspection defect detection, and is more convenient to cooperate with auxiliary components.

【技术实现步骤摘要】
蓝宝石晶体复检仪
本技术属于蓝宝石晶体复检仪领域，特别是涉及蓝宝石晶体复检仪，应用X射线衍射原理，通过采用角度测定方式对蓝宝石单晶晶片进行晶体缺陷及晶向角度的复检。
技术介绍
生长出来的蓝宝石单晶晶坨，先找出晶向，加工成规定的各种直径晶锭，再加工成晶片，加工后的蓝宝石单晶晶片，需要进行晶体缺陷及晶向角度的复检，在找出有缺陷的晶片同时进行晶片的晶向角度复核检验。由于没有专门的蓝宝石晶体复检仪，传统的蓝宝石晶体复检，采用的是由工作台、上盖板、大型高压变压器、电器柜、测角仪等组成的蓝宝石单晶定向仪进行的，采用的方法是：通过定向仪X射线经蓝宝石单晶晶片反射后的信号，被金属管接收放大，直接在微安表找出X射线的峰值，判定蓝宝石单晶晶片的晶向角度正确性及晶体的晶格缺陷，但由于X光波无效波长干扰，晶体测量角度范围窄、缺陷检测漏检率高、角度及晶向测量精度低、复检工作效率低、耗电量高，无法满足蓝宝石单晶晶片材料晶向角度复检及晶体缺陷检测，满足不了各种高精度加工要求的蓝宝石单晶晶片材料生产的需要。
技术实现思路
本技术的目的是提供蓝宝石晶体复检仪，具有结构简单、占用空间小、使用方便、蓝宝石晶片复检精度高等优点。采用的技术方案是：蓝宝石晶体复检仪，包括工作台上左侧设置的X射线发生器和右侧设有测角仪。其技术要点在于：测角仪回转轴上固定有开口向上的U型支架。U型支架的中间底部固定在测角仪回转轴上。U型支架的右侧内侧固定有陶瓷板。U型支架的左侧上部设有压紧装置，压紧装置的压紧端朝向陶瓷板。测角仪上还设有闪烁探测器。压紧装置包括压紧杆和压紧弹簧，装设在U型支架的左侧上部开设的弹簧孔内，压紧杆右端作为压紧端从弹簧孔朝向陶瓷板伸出。还设有紫外灯。U型支架的陶瓷板内侧固定有横向的兜圈，兜圈位于压紧装置的压紧端下方。兜圈下方有内兜和外兜。在工作平台上开设有凹槽，凹槽内放置有镊子。在U型支架的顶部固定支杆，支杆上固定多个叶片，叶片表面固定有反光层。在工作平台边缘固定有横向轴，横向轴上通过轴承装设有支撑环，支撑环圆周上固定有多个横向的挂物杆。其优点在于：1、结构简单、占用空间小、使用方便、检测精度高，解决了蓝宝石晶体复检缺陷检测漏检率高、角度及晶向测量精度低的难题。2、X光信号的峰值、半峰高等参数信号，由通讯接口传送至集控室集中进行数据处理，复检工作效率高。3、压紧杆将待测晶片压紧在L型样品台工作表面上，X光下进行四方位反复定向测量，工作台360°旋转定向，待测晶片能达到测量精度，提高了待测晶片的定向检测精度。4、能够对不同规格蓝宝石晶体材料复检，在找出有缺陷的蓝宝石单晶晶片同时，进行蓝宝石单晶晶片的晶向角度复核检验，有效的提高被测蓝宝石单晶晶片的测量准确度，晶体测量角度范围宽、缺陷检测漏检率低、角度及晶向测量精度高、复检工作效率高、耗电量低，可以满足蓝宝石单晶晶片材料晶向角度复检及晶体缺陷检测，蓝宝石晶体复检仪可满足各种高精度加工要求的蓝宝石单晶晶片材料生产的需要。5、配合辅助组件（内外兜，镊子等）使用更加方便。附图说明图1是是本技术的结构示意图。图2是图1中A部的局部放大图。图3是兜圈、内兜、外兜和U型支架的装配结构示意图。图4是镊子的结构示意图。图5是图4中的B向视图。图6是图1中的C部局部放大图。图7图6中的D向视图。图8是挂物杆挂上不同质量物体时候的结构示意图。图9是实施例2的转动圈结构示意图。通讯接口1、内六角螺栓2、支撑板3、压盖4、X射线发生器5、X光闸6、压紧弹簧7、螺钉8、压紧杆9、被测晶片10、压紧弹簧座11、第二螺栓12、第一螺栓13、闪烁探测器14、连接板15、手轮16、工作平台17、L型样品台18、陶瓷板19、测角仪回转轴中心20、支撑块21、测角仪22、底座调整脚23、毫安表24、测角仪回转轴25、第一通孔26、移动槽27，压紧杆凸台28、限位杆29、紫外灯30、兜圈31、内兜32、密封弹性内兜布33、外兜34、镊子35、弹性弯片36、直边37、容纳边38、三边框39、第一弹性层40、第二弹性层41、支杆42、叶片43、横向轴44、支撑环45、挂物杆46、出光孔47，斜面48、密封间隙49、内圆圈50、外圆圈51、外定位孔52、内定位孔53、卡销54、外滑道55。具体实施方式实施例1蓝宝石晶体复检仪，包括工作平台17，工作平台17左侧设有X射线发生器5，工作平台17右侧设有测角仪22。测角仪22的测角仪回转轴25上固定有开口向上的U型支架。U型支架的中间底部固定在测角仪回转轴25上。U型支架的中间底部包括L型样品台18的横板。U型支架的左侧，包括压紧弹簧座11、支撑板3和支撑块21，压紧弹簧座11、支撑板3和支撑块21从上到下依次固定连接在L型样品台18的横板左侧。支撑板3和支撑块21通过内六角螺栓2固定在L型样品台18上。支撑板3上方通过第二螺栓12固定有压紧弹簧座11。支撑板3同时通过第一螺栓13与L型样品台18的纵板和陶瓷板19固定在一起。压紧弹簧座11开设朝向陶瓷板19的第一通孔26，在压紧弹簧座11左侧通过多个螺钉8固定有环绕第一通孔26的带盖板通孔的盖板4，盖板通孔与第一通孔26相连通为一个弹簧孔。弹簧孔的轴向方向与陶瓷板面垂直。第一通孔26上方的压紧弹簧座11上还开设有与第一通孔26连通的移动槽27。U型支架的右侧，包括L型样品台18的右侧纵板，L型样品台18的纵板内侧通过第一螺栓13固定有陶瓷板19。U型支架的左侧上部设有压紧装置，压紧装置包括压紧杆9和压紧弹簧7。压紧杆9上套设有压紧弹簧7，装设在弹簧孔内，压紧弹簧7右端与压紧杆凸台28相抵顶，压紧弹簧7左端与带盖板通孔的盖板4（作为弹簧孔的弹簧限位座）相抵顶，压紧杆9左端从盖板通孔中伸出，压紧杆9右端从弹簧孔朝向陶瓷板19伸出。压紧杆9的压紧杆凸台28向外侧上方延设有限位杆29，限位杆29从移动槽27伸出。限位杆29的轴线方向与压紧杆9的轴线方向垂直。如图2所示，当限位杆29受到压紧弹簧7挤压到达移动槽27右端，压紧杆9右端将被测晶片10压在陶瓷板19上。当限位杆29在移动槽27向左移动压缩压紧弹簧7，被测晶片10被释放。被测晶片10竖向中心位于测角仪回转轴25的测角仪回转轴中心20上，测角仪回转轴中心20也位于陶瓷板19内表面上。测角仪22上还设有闪烁探测器14。工作平台17下方还设有底座调整脚23。X射线发生器5上设置有X光闸6。闪烁探测器14通过连接块15固定设置在测角仪22上，位于X射线发生器5对侧，闪烁探测器14可以左右移动或者转动，此连接块15为已知技术，故不重复叙述。在工作平台17的上表面设有紫外灯30。可以消毒杀虫。在L型样品台18的纵板和陶瓷板19上固定有横向的兜圈31，在被测晶片10被压紧时，兜圈31位于被测晶片10下方，（也即压紧装置的压紧端下方，压紧装置的压紧端为压紧杆9的右端头）。内兜32的上边缘固定在兜圈31上，外兜34的上边缘也固定在兜圈31上，位于内兜32的上边缘外层。内兜32包括从外到内的至少两层密封弹性内兜布33，本实施例中为两层，密封弹性内兜布33的上边缘密封连接，密封弹性内兜布33之间形成有空气的密封间隙49。密封弹性内兜布33为不透气，有弹性的材料制成，例如橡胶层。外兜34可为普本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.蓝宝石晶体复检仪，包括工作台(17)上左侧设置的X射线发生器（5）和右侧设有测角仪（22）；其特征在于：测角仪回转轴（25）上固定有开口向上的U型支架；U型支架的中间底部固定在测角仪回转轴（25）上；U型支架的右侧内侧固定有陶瓷板（19）；U型支架的左侧上部设有压紧装置，压紧装置的压紧端朝向陶瓷板（19）；测角仪（22）上还设有闪烁探测器（14）。

【技术特征摘要】
1.蓝宝石晶体复检仪，包括工作台(17)上左侧设置的X射线发生器（5）和右侧设有测角仪（22）；其特征在于：测角仪回转轴（25）上固定有开口向上的U型支架；U型支架的中间底部固定在测角仪回转轴（25）上；U型支架的右侧内侧固定有陶瓷板（19）；U型支架的左侧上部设有压紧装置，压紧装置的压紧端朝向陶瓷板（19）；测角仪（22）上还设有闪烁探测器（14）。2.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体复检仪，其特征在于：压紧装置包括压紧杆（9）和压紧弹簧（7）；压紧杆（9）上套设有压紧弹簧（7），装设在U型支架的左侧上部开设的弹簧孔内，压紧弹簧（7）右端与压紧杆凸台（28）相抵顶，压紧弹簧（7）左端与弹簧孔的弹簧限位座相抵顶，压紧杆（9）左端从弹簧孔中伸出，压紧杆（9）右端作为压紧端从弹簧孔朝向陶瓷板（19）伸出。3.根据权利要求2所述的蓝宝石晶体复检仪，其特征在于：压紧杆（9）的压紧杆凸台（28）向外侧延设有限位杆（29），限位杆（29）从U型支架的左侧开设的与弹簧孔连通的移动槽（27）伸出。4.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体复检仪，其特征在于：测角仪回转轴（25）的测角仪回转轴中心（20）位于陶瓷板（19）内表面上。5.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体复检仪，其特征在于：在工作平台（17...

【专利技术属性】
技术研发人员：甄伟，赵松彬，
申请(专利权)人：丹东新东方晶体仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21