一种自动光学检测扫描方法技术

一种自动光学检测扫描方法，检测方法包括如下步骤：将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部；分别对每一组支撑部上方的待测板进行扫描，并且，驱动该组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后升起以与所述待测板相接触。采用上述自动光学检测扫描方法，根据扫描设备的扫描条件和方向将多个支撑部分成N组支撑部，扫描过程中，所在扫描行/列的支撑PIN收缩以脱离待测板，相邻行/列的支撑PIN升起以支撑待测板，下一次扫描重复上述操作，以此交替完成整个扫描步骤，从根本上解决了扫描的图像在支撑PIN处存在的扫描盲区，及时且高效地将采集的图像反馈至各个岗位，便于后续改良和工艺的提升，从而提升产品的优良率。

【技术实现步骤摘要】
一种自动光学检测扫描方法
本专利技术涉及平板扫描检测
，特别是涉及一种自动光学检测扫描方法。
技术介绍
随着平板显示器的发展，为了保证平板显示器的品质，需要对平板进行工艺监控，以避免平板上存在肉眼无法发现的缺陷，采用高精度的扫描方式和精确的算法，将各种各样的缺陷检出，反馈给各个岗位，帮助改良和提升工艺。目前采用的检测缺陷的设备为AOI(AutomaticOpticInspection，自动光学检测)，自动光学检测需要人为设定检测区域，由TDI(TimeDelayIntegration，时间延时积分)相机扫描基板，将收集的图像转化为灰度值数字信号，依靠周期性对比的算法，将异常点位检出标记为缺陷，该扫描方式决定了基板上的检测区域必须具备一定的周期性，而机台的PIN支撑的基板部位由于高度与周边不同，从宏观上也能看出有一定的印记，这部分容易检出为假缺陷。Pin尽管也具有周期性，但其对应基板上的检测区域却不一定在该周期上具有重复性。为了抹除支撑PIN部分的影响，目前自动光学检测设备对基板的检测，大都采用抹除这部分区域检测的方法，即标记为FalseDefect，则这部分成为了检测盲区。为了保持基板的水平，要求具有一定数量的PIN，数目就越多，检测盲区也就越多，越影响检测设备对工艺的监控。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种消除支撑PIN形成的伪缺陷的自动光学检测扫描方法。一种自动光学检测扫描方法，包括如下步骤：将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部；分别对每一组支撑部上方的待测板进行扫描，并且，驱动该组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后升起以与所述待测板相接触。在其中一个实施例中，所述将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部，具体为：将阵列分布的多个支撑部按行扫描方向分成N组支撑部，每组支撑部包括若干行支撑部。在其中一个实施例中，所述将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部，具体为：将阵列分布的多个支撑部按列扫描方向分成N组支撑部，每组支撑部包括若干列支撑部。在其中一个实施例中，所述将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部，具体为：根据扫描条件将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组。在其中一个实施例中，每组支撑部包括至少二排支撑部，且各组支撑部中的各排支撑部相互间隔设置。在其中一个实施例中，N为2。在其中一个实施例中，所述分别对每一组支撑部上方的待测板进行扫描，具体为：对第一组支撑部上方的待测板进行扫描，然后每变换一次扫描方向则对下一组支撑部上方的待测板进行扫描，直至完成对全部组支撑部上方的待测板的扫描。在其中一个实施例中，所述将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部之前，所述自动光学检测扫描方法还包括步骤：根据设备的扫描周期阵列分布多个所述支撑部。在其中一个实施例中，所述驱动该组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后升起以与所述待测板相接触，具体为：驱动该组支撑部在扫描之前同时或顺序收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后同时或顺序升起以与所述待测板相接触。在其中一个实施例中，所述驱动该组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后升起以与所述待测板相接触，具体为：驱动该组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触，并驱动与该组支撑部相邻的其它组支撑部升起以与所述待测板相接触，以及驱动该组支撑部在扫描之后升起以与所述待测板相接触，并驱动与该组支撑部相邻的其它组支撑部收缩以与所述待测板脱离接触。上述自动光学检测扫描方法以及采用上述扫描方法的扫描装置，进行第一次扫描时，所在扫描行/列的支撑PIN收缩，相邻行/列的支撑PIN升起，并支撑待测板，进行第二次扫描时，重复上次操作，以此交替完成整个扫描步骤。这样，当TDI相机扫描时，可以避免扫描到支撑PIN，从根本上解决由于支撑PIN形成的伪缺陷，使得扫描的图像在支撑PIN处不再有盲区，及时且高效地将采集的图像反馈至各个岗位，便于后续改良和工艺的提升，从而提升产品的优良率。附图说明图1为一实施方式的自动光学检测扫描方法的流程示意图；图2为一实施方式的自动光学检测扫描方法的流程示意图；图3为一实施方式的自动光学检测扫描方法的控制流程图。具体实施方式为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术。但是本专利技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似改进，因此本专利技术不受下面公开的具体实施的限制。需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本专利技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。例如，一种自动光学检测扫描方法，包括：将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部；分别对每一组支撑部上方的待测板进行扫描，并且，驱动该组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后升起以与所述待测板相接触。下面结合附图描述根据本专利技术实施例的自动光学检测扫描方法。如图1所示，一实施例的自动光学检测扫描方法包括如下步骤：S110：将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部；S120：分别对每一组支撑部上方的待测板进行扫描，并且，驱动该组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后升起以与所述待测板相接触。下面对各步骤作出进一步说明。S110：将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部。在一个实施例中，所述将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部，具体为：将阵列分布的多个支撑部按行扫描方向分成N组支撑部，每组支撑部包括若干行支撑部。使得所述支撑部的排列方向与扫描方向保持一致，其中，扫描方向与基台的运动方向相反，即基台从左端运动至右端，而扫描方向相对于所述基台为从右端运动至左端，分成的N组支撑部，每一组都是以行为方向组成的，与扫描设备的扫描方向相适应，便于扫描设备的扫描，在本实施例中，例如，N为2，即，将阵列分布的多个支撑部按行扫描方向分成2组支撑部，每组支撑部包括若干行支撑部，例如S120中，第一次从左向右扫描，第二次从右向左扫描，使得扫描设备对待测板的检测只需要扫描2次即可完成；进一步地，第一次从左向右扫描时分别对第一组支撑部上方的待测板进行扫描，驱动第一组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后升起以与所述待测板相接触，第二次从右向左扫描时分别对第二组支撑部上方的待测板进行扫描，驱动第二组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后升起以与所述待测板相接触。进一步地，第一次从左向右扫描时分别对第一组支撑部上方的待测板进行扫描，驱动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动光学检测扫描方法，其特征在于，包括如下步骤：将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部；分别对每一组支撑部上方的待测板进行扫描，并且，驱动该组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后升起以与所述待测板相接触。

【技术特征摘要】
1.一种自动光学检测扫描方法，其特征在于，包括如下步骤：将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部；分别对每一组支撑部上方的待测板进行扫描，并且，驱动该组支撑部在扫描之前收缩以与所述待测板脱离接触并在扫描之后升起以与所述待测板相接触。2.根据权利要求1所述自动光学检测扫描方法，其特征在于，所述将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部，具体为：将阵列分布的多个支撑部按行扫描方向分成N组支撑部，每组支撑部包括若干行支撑部。3.根据权利要求1所述自动光学检测扫描方法，其特征在于，所述将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部，具体为：将阵列分布的多个支撑部按列扫描方向分成N组支撑部，每组支撑部包括若干列支撑部。4.根据权利要求1所述自动光学检测扫描方法，其特征在于，所述将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组支撑部，具体为：根据扫描条件将阵列分布的多个支撑部按扫描方向分成N组。5.根据权利要求1所述自动光学检测扫描方法，其特征在于，每组支撑部包括至少二排支撑部，且各组支撑部中的各排支撑部相互间隔设置。6.根据权利要求1所述自动光学检测扫描方法，其特征在于，N为2。7.根据权利要求1所述自动光学检测扫描方法，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：马建威，任思雨，苏君海，李建华，
申请(专利权)人：信利惠州智能显示有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44