可旋转的晶圆盒开盒器制造技术

本实用新型专利技术揭示了一种可旋转的晶圆盒开盒器，包括背板单元、装载单元、开门单元和装载单元，背板单元上设置有装载口，开门单元和装载单元分别位于背板单元的两侧，晶圆盒装载在装载单元上，该装载单元能够带动晶圆盒旋转，且使晶圆盒的盖体与装载口相对，此时，通过开门单元对晶圆盒的盖体进行开闭作业，提高了效率。

【技术实现步骤摘要】
可旋转的晶圆盒开盒器
本技术涉及半导体相关设备
，尤其涉及一种可旋转的晶圆盒开盒器。
技术介绍
传统的半导体制造工厂中，晶圆盒都是集中独立存放在晶圆盒的存储系统中，由于距离制程设备较远，晶圆盒需要人工搬运或通过天轨机器人等自动化搬运设备运至晶圆片分选机或者设备前端自动化模组进入生产流程。随着半导体制造工厂对生产效率和成本控制的要求的越来越高，客户要求晶圆片分选机或者设备前端自动化模组可以直接介入存储系统中，通过存储系统中的机械手直接将晶圆盒放在晶圆片分选机或者设备前端自动化模组上，提高了效率，并节约空间。然而，晶圆盒在存储系统中放置方向和晶圆片分选机或者设备前端自动化模组相反，这就要求晶圆片分选机或者设备前端自动化模组上的开盒器上的晶圆盒的载物台具有180°旋转的功能。另外，加上现代工艺技术对于晶圆盒的内部环境的超高洁净度要求，开盒器还必须提供给晶圆盒充气净化的功能，要求开盒器具备为晶圆盒充氮气的功能。
技术实现思路
本技术提供了一种可旋转的晶圆盒开盒器，克服了现有技术的困难，开创了一种可带动晶圆盒旋转，且对晶圆盒内部进行充气净化的开盒器。本技术提供了一种可旋转的晶圆盒开盒器，包括：背板单元，所述背板单元上设置有装载口；装载单元，所述装载单元位于所述背板单元上，用于装载晶圆盒；开门单元，所述开门单元和所述装载单元分别位于所述背板单元的两侧，所述开门单元通过所述装载口对晶圆盒的盖体进行开闭作业；其中，所述装载单元包括旋转组件，所述旋转组件用于带动晶圆盒绕着背板单元的长度方向旋转。进一步，所述装载单元还包括基板组件、第一导轨组件和第一丝杠组件，所述基板组件连接所述背板单元，所述第一导轨组件和所述第一丝杠组件分别设置在基板组件的下部，且所述第一导轨组件和所述第一丝杠组件分别与所述旋转组件连接，以带动所述旋转组件沿着垂直于所述背板单元方向移动。进一步，所述旋转组件包括载物台、定位销组件、传动轴、带轮、电机组件、轴承、滑板和丝母座组件，所述载物台位于所述基板组件的上部，所述定位销组件位于所述载物台上部，所述传动轴位于所述载物台的下部，且延伸至所述基板组件的下部，所述传动轴外套设有所述带轮，所述带轮和所述电机组件皮带连接，所述电机组件连接所述滑板，所述滑板通过轴承套设在所述传动轴的外部，并且，所述滑板通过所述丝母座组件与第一丝杠组件连接，所述滑板还与所述第一导轨组件连接，所述带轮、所述电机组件、所述轴承、所述滑板和所述丝母座组件分别位于所述基板组件的下部。进一步，所述装载单元还包括第一充气组件和第二充气组件，所述第一充气组件和所述第二充气组件安装在所述基板组件的下部，所述载物台上分别设置有与所述第一充气组件和所述第二充气组件相配合的充气接口组件。进一步，所述第一充气组件包括第一气缸支架、第一滑台气缸、第一充气支架和第一充气气嘴组件，所述第一气缸支架安装在所述基板组件的下部，所述第一滑台气缸安装在所述气缸支架上，所述第一充气气嘴组件安装在第一充气支架上，所述第一滑台气缸带动第一充气支架沿垂直于基板组件方向移动，进而实现第一充气气嘴组件与所述充气接口组件的对接和分离；所述第二充气组件包括第二气缸支架、第二滑台气缸、第二充气支架和第二充气气嘴组件，第二气缸支架安装在基板组件的下部，第二滑台气缸安装在第二气缸支架上，第二充气气嘴组件安装在第二充气支架上，第二滑台气缸带动第二充气支架沿垂直于基板组件方向移动，进而实现第二充气气嘴组件与所述充气接口组件的对接和分离。进一步，所述载物台上还设置有姿态检测传感器组件。进一步，所述背板单元包括背板组件、第二导轨组件和第二丝杠组件，所述第二导轨组件和所述第二丝杠组件分别设置在所述背板组件的前侧，且分别与所述开门单元连接，以带动所述开门单元沿着平行于背板单元的长度方向移动。进一步，还包括电控气压单元，所述电控气压单元设置在所述背板组件上，且位于装载单元的下部。进一步，还包括防护罩，所述防护罩设置在所述电控气压单元的外侧，并固定在所述背板组件上。进一步，所述防护罩上设置有视窗。由于采用了上述技术，本技术具有以下优点：本技术的可旋转的晶圆盒开盒器增加了可旋转和充气净化功能，使得开盒器的功能更加全面，且有效提高了工作效率。以下结合附图及实施例进一步说明本技术。附图说明图1为本技术所述可旋转的晶圆盒开盒器的爆炸图；图2为本技术所述开门单元的爆炸图；图3为本技术所述背板单元的爆炸图；图4为本技术所述电控气压单元的爆炸图；图5为本技术所述防护罩的示意图；图6为本技术所述装载单元的爆炸图；图7为本技术所述旋转组件的爆炸图；图8为本技术所述第一充气组件的爆炸图；图9为本技术所述第二充气组件的爆炸图。具体实施方式为了便于理解本专利技术，下面将参照相关附图对本专利技术进行更全面的描述。附图中给出了本专利技术较佳的实施例，但是，本专利技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反的，提供该实施例的目的是使对本专利技术的公开内容理解更加透彻全面。除非另外定义，本技术使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本技术中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或物件。“前”、“后”、“上”、“下”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也能相应地改变。如图1所示，所述可旋转的晶圆盒开盒器包括开门单元1、背板单元2、电控气压单元3、防护罩4和装载单元5，背板单元2上具有一装载口6，装载口6从背板单元2的前侧延伸至背板单元2的后侧，其中，背板单元2的前侧设置有电控气压单元3、防护罩4和装载单元5，该电控气压单元3位于背板单元2和防护罩4之间，装载单元5位于防护罩和装载口6之间，开门单元1通过装载口6可对晶圆盒的盖体进行开闭作业。如图6所示，装载单元5包括旋转组件24、RFID天线组件25、基板组件26、第一充气组件27、第二充气组件28、第一导轨组件29、第一丝杠组件30和外框组件31，RFID天线组件25可安装在基板组件26的上部，其用于读取晶圆盒上的RFID信息，第一充气组件27、第二充气组件28、第一导轨组件29和第一丝杠组件30分别安装在基板组件26的下部，通过外框组件31将基板组件26的边缘围起来，有效防止第一充气组件27、第二充气组件28、第一导轨组件29和第一丝杠组件30的外露而影响美观，还起到了保护的作用。其中，第一导轨组件29和第一丝杠组件30分别与旋转组件24相连接，使旋转组件24能够沿着垂直于背板单元2方向移动，进而能够使晶圆盒靠近开门单元1。如图7所示，旋转组件24包括定位销组件32、姿态检测传感器组件33、充气接口组件34、载物台35、传动轴36、轴承端盖37、第一轴承38、第一压套39、滑板40、丝母座组件41、电机组件42、第二轴承43、第二压套44、带轮45、压环46和锁紧螺母47，其中，该载物台35位于基板组件26的上部，其用于装载晶圆盒，该载本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可旋转的晶圆盒开盒器，其特征在于，包括：背板单元，所述背板单元上设置有装载口；装载单元，所述装载单元位于所述背板单元上，用于装载晶圆盒；开门单元，所述开门单元和所述装载单元分别位于所述背板单元的两侧，所述开门单元通过所述装载口对晶圆盒的盖体进行开闭作业；其中，所述装载单元包括旋转组件，所述旋转组件用于带动晶圆盒绕着背板单元的长度方向旋转。

【技术特征摘要】
1.一种可旋转的晶圆盒开盒器，其特征在于，包括：背板单元，所述背板单元上设置有装载口；装载单元，所述装载单元位于所述背板单元上，用于装载晶圆盒；开门单元，所述开门单元和所述装载单元分别位于所述背板单元的两侧，所述开门单元通过所述装载口对晶圆盒的盖体进行开闭作业；其中，所述装载单元包括旋转组件，所述旋转组件用于带动晶圆盒绕着背板单元的长度方向旋转。2.如权利要求1所述的可旋转的晶圆盒开盒器，其特征在于，所述装载单元还包括基板组件、第一导轨组件和第一丝杠组件，所述基板组件连接所述背板单元，所述第一导轨组件和所述第一丝杠组件分别设置在基板组件的下部，且所述第一导轨组件和所述第一丝杠组件分别与所述旋转组件连接，以带动所述旋转组件沿着垂直于所述背板单元方向移动。3.如权利要求2所述的可旋转的晶圆盒开盒器，其特征在于，所述旋转组件包括载物台、定位销组件、传动轴、带轮、电机组件、轴承、滑板和丝母座组件，所述载物台位于所述基板组件的上部，所述定位销组件位于所述载物台上部，所述传动轴位于所述载物台的下部，且延伸至所述基板组件的下部，所述传动轴外套设有所述带轮，所述带轮和所述电机组件皮带连接，所述电机组件连接所述滑板，所述滑板通过轴承套设在所述传动轴的外部，并且，所述滑板通过所述丝母座组件与第一丝杠组件连接，所述滑板还与所述第一导轨组件连接，所述带轮、所述电机组件、所述轴承、所述滑板和所述丝母座组件分别位于所述基板组件的下部。4.如权利要求3所述的可旋转的晶圆盒开盒器，其特征在于，所述装载单元还包括第一充气组件和第二充气组件，所述第一充气组件和所述第二充气组件安装在所述基板组件的下部，所述载物台上分别设置有与所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴功，邹磊，周锐，
申请(专利权)人：上海大族富创得科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31