石墨烯芯片加工用装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种石墨烯芯片加工用装置，包括机架，机架上自上而下依次设置有活塞板、筒体、由电机带动的齿轮、固定在机架上的螺母、出气通道、储液腔以及弹性的清洗管，其中活塞板固定在机架上，活塞板与筒体之间滑动密封，筒体自上而下依次设置有与齿轮花键连接的花键段、进气单向阀、螺纹段以及出气单向阀，其中筒体通过螺纹段与螺母之间构成螺纹副，出气单向阀与出气通道之间连通，齿轮转动连接在机架上，出气通道呈两端大中间小的哑铃状，而储液腔与出气通道的中间部分连通，传送带经过清洗管下方。本发明专利技术解决了现有技术中硅锭清洗工艺过于复杂的问题。

A device for processing graphene chips

The invention discloses a device for the processing of a graphene chip, which includes a piston plate, a cylinder, a gear driven by a motor, a nut fixed on the frame, a gas outlet, a liquid storage cavity and a flexible cleaning tube, in which the piston plate is fixed on the frame, and between the piston plate and the cylinder. The cylinder body from top to bottom sets a spline section which is connected with the gear spline, the inlet one-way valve, the thread section and the outgassing one-way valve. The cylinder body forms a thread pair between the threaded section and the nut, and the outgassing one-way valve is connected with the outgassing channel, and the gear rotation is connected to the rack, and the outlet channel is large at both ends. The middle is small dumbbell shaped, and the liquid storage chamber is communicated with the middle part of the air outlet channel, and the conveyor belt passes through the cleaning pipe. The invention solves the problem that the cleaning process of the silicon ingot is too complicated in the prior art.

【技术实现步骤摘要】
石墨烯芯片加工用装置
本专利技术涉及石墨烯芯片加工
，具体涉及一种石墨烯芯片加工用装置。
技术介绍
石墨烯芯片，美国IBM公司的科学家研制出了首款由石墨烯圆片制成的集成电路，向开发石墨烯计算机芯片前进了一步，科学家们认为这项突破可用石墨烯圆片来替代硅晶片，这块集成电路建立在一块碳化硅上，并且由一些石墨烯场效应晶体管组成。现有的石墨烯芯片制备工艺包括硅提纯、切割硅锭、影印、蚀刻、重复分层、封装等六大步骤，其中在硅提纯前，需要先将原料硅锭清洗后才可以进行硅提纯。如中国专利公开号为CN205008303U的文献公开了一种多晶硅料清洗装置，包括酸洗池，所述酸洗池的底面设置有放液口，还包括：设置于所述酸洗池中的装料篮，所述装料篮的底面设置有多个小孔；设置于所述装料篮中的至少一对用于固定多晶硅料的隔挡条；其中，一个多晶硅料的反应面与另一多晶硅料的反应面相背设置，且所述多晶硅料卡接于所述隔挡条之间。这种装置虽然不仅能够有效清除硅锭的指定反应面，而且能够有效清除镶嵌在硅锭指定面内部的杂质，但是在清洗过程需要将硅锭浸泡至酸洗池中，不仅效率低，反应慢，而且酸洗液极容易浪费导致芯片制备成本高。
技术实现思路
本专利技术提供一种石墨烯芯片加工用装置，意在解决现有技术中硅锭清洗效率低的问题。石墨烯芯片加工用装置，包括机架，机架上自上而下依次设置有活塞板、筒体、由电机带动的齿轮、固定在机架上的螺母、出气通道、储液腔以及弹性的清洗管，其中活塞板固定在机架上，活塞板与筒体之间滑动密封，筒体自上而下依次设置有与齿轮花键连接的花键段、进气单向阀、螺纹段以及出气单向阀，其中筒体通过螺纹段与螺母之间构成螺纹副，出气单向阀与出气通道连通，齿轮转动连接在机架上，出气通道呈哑铃状，而储液腔与出气通道的颈部连通。哑铃状是指出气通道两端直径大中间直径小，中间即为颈部。本专利技术中的齿轮通过与筒体之间构成花键连接而带动筒体转动，同时筒体与齿轮之间也能够沿轴向相对移动，筒体与螺母之间构成螺纹副，螺母固定在机架上；当被齿轮正向带动时，筒体能够做螺旋运动，即筒体在转动的同时能够沿着轴向向上移动，筒体与活塞板之间为滑动密封的，筒体与活塞板围成的活塞腔体积增大，压强减小，外界洁净气体通过进气单向阀进入到活塞腔中，此时清洗管随着筒体螺旋上移，从而远离工件；反之，当被齿轮反向带动时，筒体在转动的同时沿着轴向向下移动，筒体与活塞板围成的活塞腔体积减小，压强增大，活塞腔中的气体沿着出气通道排出，气体经过出气通道颈部时速度增大，压强减小，从而吸引储液腔中的清洗液进入，并一同在出气通道末端形成清洗液喷雾，最终经由清洗管喷至硅锭工件上。与现有技术相比，本专利技术的优点在于：1、本专利技术的结构简化紧凑，清洗过程简单有效，解决了现有技术中硅锭清洗工艺过于复杂的问题，成本低且效率高。2、本专利技术设置的筒体结构在转动的过程中即可实现沿轴向的移动从而与活塞配合实现抽气与排气的动作，构思巧妙且简单有效。3、本专利技术产生的气体能够在出气通道中与清洗液结合进而产生清洗液喷雾，从而达到更加有效的清洗效果。4、筒体做螺旋运动，保证始终一致的气体排出量，从而能够与出气通道配合，在出气通道入口处形成较为稳定的气源，保证了喷雾输出的稳定性。5、清洗管在工作过程中能够随着筒体转动的同时，不断下移，从而对工件进行多角度、多强度的全面清洗，大大提升了清洗效果。进一步，所述清洗管呈螺旋形设置；螺旋形的设置能够保证清洗管中流入高速的清洗液时能够在轴向伸长，从而获得对工件近距离的清洗或更大范围和角度的清洗。进一步，还包括用于输送工件的传送带，传送带位于清洗管正下方；传送带能够利于提高硅锭工件的清洗效率，同时使得整个清洗过程自动化程度更高，清洗效果更好。进一步，还包括固定杆，活塞板通过固定杆固定在机架上；如此设置，能够方便实现活塞板的安装、活塞板与筒体之间的装配关系。进一步，储液腔螺纹连接在筒体下端；如此设置下，储液腔与筒体安装一体，节省空间，也能够减小储液腔与出气通道之间的距离，从而保证储液腔与出气通道之间的高效配合。进一步，传送带上设置有若干通孔；方便清洗完硅锭工件的清洗液能够通过通孔快速流出传送带，方便保持传送带的清洁。进一步，还包括集液槽，集液槽固定在机架上且位于传送带下方；集液槽能够用于收集清洗液，方便集中回收或做其他处理。附图说明图1为本专利技术实施例的结构示意图。具体实施方式下面通过具体实施方式进一步详细的说明：说明书附图中的附图标记包括：筒体10、花键段11、齿轮12、螺纹段13、螺母14、出气通道15、清洗管16、工件20、传送带21、集液槽22。实施例基本如附图1所示：石墨烯芯片加工用装置，包括机架，机架上自上而下依次设置有固定杆、活塞板、筒体10、由电机带动的齿轮12、固定在机架上的螺母14、出气通道15、储液腔、弹性的清洗管16、传送带21以及集液槽22。其中活塞板通过固定杆固定在机架上，活塞板与筒体10之间滑动密封。筒体10自上而下依次设置有与齿轮12花键连接的花键段11、进气单向阀、螺纹段13以及出气单向阀，其中筒体10通过螺纹段13与螺母14之间构成螺纹副，出气单向阀与出气通道15之间连通，齿轮12转动连接在机架上，清洗管16整体呈螺旋形。出气通道15呈两端大中间小的哑铃状。储液腔螺纹连接在筒体10下端，而储液腔与出气通道15的中间部分(即颈部)连通。而传送带21则通过辊子驱动，传送带21经过清洗管16下方，传送带21上放置有硅锭工件20，硅锭工件20两两之间间隔设置，传送带21上设置有若干通孔，集液槽22固定在机架上且位于传送带21下方。齿轮12通过与筒体10之间构成花键连接而带动筒体10转动，同时筒体10与齿轮12之间也能够沿轴向相对移动，筒体10与螺母14之间构成螺纹副，螺母14固定在机架上；当被齿轮12正向带动时，筒体10能够做螺旋运动，即筒体10在转动的同时能够沿着轴向向上移动，筒体10与活塞板之间为滑动密封的，筒体10与活塞板围成的活塞腔体积增大，压强减小，外界洁净气体通过进气单向阀进入到活塞腔中，此时清洗管16随着筒体10螺旋上移，从而远离工件20；反之，当被齿轮12反向带动时，筒体10在转动的同时沿着轴向向下移动，筒体10与活塞板围成的活塞腔体积减小，压强增大，活塞腔中的气体沿着出气通道15排出，气体经过出气通道15颈部时速度增大，压强减小，从而吸引储液腔中的清洗液进入，并一同在出气通道15末端形成清洗液喷雾，最终经由清洗管16喷至硅锭工件20上。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.石墨烯芯片加工用装置，包括机架，其特征在于：机架上自上而下依次设置有活塞板、筒体、由电机带动的齿轮、固定在机架上的螺母、出气通道、储液腔以及弹性的清洗管，其中活塞板固定在机架上，活塞板与筒体之间滑动密封，筒体自上而下依次设置有与齿轮花键连接的花键段、进气单向阀、螺纹段以及出气单向阀，其中筒体通过螺纹段与螺母之间构成螺纹副，出气单向阀与出气通道连通，齿轮转动连接在机架上，出气通道呈哑铃状，而储液腔与出气通道的颈部连通。

【技术特征摘要】
1.石墨烯芯片加工用装置，包括机架，其特征在于：机架上自上而下依次设置有活塞板、筒体、由电机带动的齿轮、固定在机架上的螺母、出气通道、储液腔以及弹性的清洗管，其中活塞板固定在机架上，活塞板与筒体之间滑动密封，筒体自上而下依次设置有与齿轮花键连接的花键段、进气单向阀、螺纹段以及出气单向阀，其中筒体通过螺纹段与螺母之间构成螺纹副，出气单向阀与出气通道连通，齿轮转动连接在机架上，出气通道呈哑铃状，而储液腔与出气通道的颈部连通。2.根据权利要求1所述的石墨烯芯片加工用装置，其特征在于：清洗管呈螺旋...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏广乾，
申请(专利权)人：重庆凯西驿电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：重庆,50