蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置制造方法及图纸

一种蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置，包括固定基座，所述固定基座的上部设置移动基座，固定基座和移动基座的一端对应设置通孔，在固定基座的另一端设置使移动基座水平移动的机构；移动基座上固连有支撑座，支撑座上套接旋转辊；移动基座上还设置有晶圆棒紧固装置。将定向仪的旋转轴伸入本实用新型专利技术装置固定基座和移动基座的通孔内，将待定向晶圆棒放置在旋转辊上，通过旋转、左右摆动晶圆棒找到晶向，将晶圆棒夹紧后用粘接装置将晶圆棒粘接在加工用工装上进行加工。采用本装置，确保加工时的晶向与在定向装置上找到的晶向一致，定向精度高，生产效率和产品质量都得到大幅度提高，同时减少了专用粘接仪，节省了大量的设备投资，降低了生产成本。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及蓝宝石晶圆棒加工领域。
技术介绍
现有的蓝宝石晶圆棒定向加工技术中，先将晶体置于定向仪上读出晶体的 实际晶向后，再将晶体取下放置到粘料仪上，在将晶体实际晶向和理论晶向的 偏差角度在专用的粘结仪修正后进行晶体粘结，粘结完成后再送晶体加工。但 该技术晶圆棒定向和粘结是分开进行的，造成其定向精度不高，且需要的设备 较多，工艺环节较复杂，测量、修正耗费时间长。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、定位速度 快、定位精度高的蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置。本技术的目的是通过实施下述技术方案來实现的一种蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置，其特征在于包括晶圆棒C向定向 装置，所述C向定向装置包括固定基座，所述固定基座的上部设置移动基座， 固定基座和移动基座的一端对应设置通孔，在固定基座的另一端设置使移动基 座水平移动的机构；螺母移动基座上还设置定位孔，定位孔内设置定位杆；移 动基座上固连有支撑座，支撑座上套接旋转辊，旋转辊与手动或电动旋转驱动 机构相连；移动基座上还设置有支撑板，支撑板上设置晶圆棒紧固装置。所述水平移动机构包括分别设置在固定基座两侧的安装板，安装板上部设 置有螺杆和与之螺纹连接的移动螺母，螺杆的另一端与移动基座相对应。所述旋转辊的旋转驱动机构包括与旋转辊固连的螺杆和与之螺纹连接的旋 转螺母。所述支撑板上设置的紧固装置包括紧固螺母和与之螺纹连接的螺杆。 所述装置还包括晶圆棒A向定向装置，所述A向定向装置包括固定基座， 所述固定基座的内腔设置与旋转驱动机构相连的旋转工作台，旋转工作台上部 设置与固定基座固连的定位座，定位座的通孔与下部的旋转工作台相对应，通 孔一侧设置定位装置，另一侧设置晶圆棒紧固装置。 所述定位座的通孔上设置的定位装置为定位辊。所述定位座的通孔上设置的紧固装置包括螺杆和与之螺纹连接的紧固螺 母，所述螺杆从定位座的外侧伸入定位座的通孔中。采用以上结构的蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置，将其安装在定向仪上， 定向仪的旋转轴伸入固定基座和移动基座的通孔内，将待定向晶圆棒放置在旋 转轴上，并用定位杆定位，通过旋转、左右摆动晶圆棒找到晶向，将晶圆棒夹3紧后用粘接装置将晶圆棒粘接在加工用工装上进行加工。采用本装置，确保加 工时的晶向与在定向装置上找到的晶向一致，定向精度高，生产效率和产品质 量都得到大幅度提高，同时减少了专用粘接仪，节省了大量的设备投资，降低 了成本。附图说明图1是本技术晶圆棒c向定向装置主视图。 图2是本技术晶圆棒A向定向装置主视图。 图3是图2的俯视图。图中标记1、 C向定向装置的固定基座2、移动基座3、移动螺母4、旋 转螺母5、旋转辊6、紧固螺母7、晶圆棒8、定位杆9、旋转轴10、 A向定 向装置的固定基座11、旋转工作台12、旋转手柄13、定位座14、紧固螺母15、 定位辊具体实施方式以下结合附图和具体实施方式对本技术作进一步说明。 如图1所示为本技术蓝宝石晶圆棒C向定向装置，包括固定基座l，其 上部设置移动基座2，固定基座和移动基座的一端设置对应通孔，在固定基座的 另一端的两侧设置安装板，安装板上部设置有螺杆和与之螺纹连接的移动螺母 3，螺杆的另一端与移动基座相对应。分别旋转两侧的移动螺母，使移动基座相 对固定基座水平移动；移动基座上固连有支撑座，支撑座上套接旋转辊5。将本 装置安装在定向仪上，定向仪的旋转轴9伸入固定基座和移动基座的通孔内， 移动基座上还设置有支撑板，支撑板上设置晶圆棒紧固装置。待定向晶圆棒7 放置在旋转辊上，并通过固定在移动基座定位孔内的定位杆8定位。驱使旋转 辊端头的旋转螺母4，使旋转辊带动晶圆棒作周向旋转；通过定向仪找到晶圆棒 的一个晶向，在晶圆棒端面上画一条垂线，然后将其旋转90度，使垂线处于水 平状态，旋转移动螺母3，使移动基座相对固定基座绕旋转轴作水平移动，找到 蓝宝石晶圆棒的晶向后，即将两侧的移动螺母相对旋紧，使移动基座固定。然 后旋转紧固螺母6将晶圆棒夹持紧固在旋转辊上，再用粘接装置将紧固的晶圆 棒粘接在加工用工装上，待粘胶固化后，松开紧固螺母，将晶圆棒放到切割机 上进行加工。该装置由于和定向仪固定在一起，只需要和加工工装配合使用， 就可以实现晶圆棒精确定向加工，克服了以前的定向和粘接分开进行的二次装 夹所带来的晶向误差，保证了加工晶圆棒角度的精确性。提高了产品定向精度，消除了由于定向误差所产生的废品，生产效率、产品质量都得到大幅度提高。作为本技术的进一步改进，还包括一个晶圆棒A向定向装置，如图2-3 所示，其包括固定基座10，所述固定基座的内腔设置与旋转驱动机构相连的旋 转工作台ll，旋转工作台上部设置固连在基座固连上的定位座13，定位座的通 孔与下部的旋转工作台相对应，通孔一侧设置两个定位辊15,另一侧的孔内设 有紧固装置，包括螺杆和与之螺纹连接的紧固螺母14，螺杆从定位座的外侧伸 入定位座的通孔中。将滚完外圆的C向晶圆棒放置在定位座内并靠定位辊定位， 然后通过旋转工作台上旋转手柄12使晶圆棒在360度范围内旋转，待找到晶圆 棒柱面上的A向后，用紧固螺母14将晶圆棒固定，再用粘接装置将紧固的晶圆 棒粘接在加工用工装上，待粘胶固化后，松开紧固螺母，将晶圆棒放到切割机 上进行标志弦的加工。加工。采用该装置进行晶向定位，只需要在定位后和加 工工装配合使用，就可以实现晶圆棒精确定向加工，克服了以前的定向和粘接 分开进行的二次装夹所带来的晶向误差，保证了加工晶圆棒角度的精确性。需要说明的是虽然上述实施例已经详细描述了本技术的结构，但本 技术并不限于上述实施例，凡是本领域技术人员从上述实施例中不经过创 造性劳动就可以想到的替换结构，均属于本技术的保护范围。权利要求1、一种蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置，其特征在于包括晶圆棒C向定向装置，所述C向定向装置包括固定基座，所述固定基座的上部设置移动基座，固定基座和移动基座的一端对应设置通孔，在固定基座的另一端设置使移动基座水平移动的机构；螺母移动基座上还设置定位孔，定位孔内设置定位杆；移动基座上固连有支撑座，支撑座上套接旋转辊，旋转辊与手动或电动旋转驱动机构相连；移动基座上还设置有支撑板，支撑板上设置晶圆棒紧固装置。2、 如权利要求l所述的蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置，其特征在于 所述水平移动机构包括分别设置在固定基座两侧的安装板，安装板上部设置有 螺杆和与之螺纹连接的移动螺母，螺杆的另一端与移动基座相对应。3、 如权利要求1所述的蓝蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置，其特征在于: 所述旋转辊的旋转驱动机构包括与旋转辊固连的螺杆和与之螺纹连接的旋转螺 母。4、 如权利要求l所述的蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置，其特征在于 所述支撑板上设置的紧固装置包括紧固螺母和与之螺纹连接的螺杆。5、 如权利要求1、 2、 3或4所述的蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置，其 特征在于还包括晶圆棒A向定向装置，所述A向定向装置包括固定基座，所 述固定基座的内腔设置与旋转驱动机构相连的旋转工作台，旋转工作台上部设 置与固定基座固连的定位座，定位座的通孔与下部的旋转工作台相对应，通孔 一侧设置定位装置，另一侧设置晶圆棒紧固装置。6、 如权利要求5所述的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置，其特征在于：包括晶圆棒Ｃ向定向装置，所述Ｃ向定向装置包括固定基座，所述固定基座的上部设置移动基座，固定基座和移动基座的一端对应设置通孔，在固定基座的另一端设置使移动基座水平移动的机构；螺母移动基座上还设置定位孔，定位孔内设置定位杆；移动基座上固连有支撑座，支撑座上套接旋转辊，旋转辊与手动或电动旋转驱动机构相连；移动基座上还设置有支撑板，支撑板上设置晶圆棒紧固装置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王国强，肖兵，胡建军，
申请(专利权)人：成都东骏激光有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：90[中国|成都]