硅单晶炉热系统装置制造方法及图纸

硅单晶炉的热系统装置，属于电子工业技术领域。硅单晶炉热系统装置包括石墨埚、加热器、保温罩、保温盖、保温材料，热系统上部设有导流筒和保温盖，下部设有炉底护盘，炉底护盘的底部和周围设有保温材料，保温罩及保温罩外侧的保温材料支撑在炉底护盘上，保温盖设置在石墨罩上面，导流筒设置在保温盖的盖口内。本实用新型专利技术结构简单合理，生产制造方便容易。增加了导流筒和炉底护盘，导流筒象锅盖一样将加热器的热量封在热系统内，使热系统成为封闭式热系统。有效的减小热能损耗，保证热能的充分利用。导流筒充分引导氩气的定向流动，保证硅液及晶体周围总是充满最新鲜的氩气，使硅单晶在周围气氛保护下生长，提高硅单晶质量，有很好的推广应用价值。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术技术涉及一种直拉硅单晶的热系统结构，属于电子工业

技术介绍
现有的直拉硅单晶的热系统装置，由包括主炉室内的石墨埚、加热器、石墨罩、石墨盖、保温材料和支撑部分等构成，在炉筒壁上有4个支架，石墨罩、保温材料用石墨托盘架在炉筒内。热系统为开放式的，主要靠加热器的形状结构辅以外保温罩保温形成的热场拉制硅单晶。热系统上部有一石墨盖，下部只有一个石墨反射盘支在炉底，炉室内空旷，保护气体一氩气从炉顶吹下就四散开来，充满整个真空室，从各个方向流向排气口，热损耗大，增加硅单晶制造成本，影响硅单晶质量。本技术技术的目的是要提供一种保温性能好的，有利于提高拉制的硅单晶的质量的硅单晶炉热系统装置。本技术的目的是通过对现有的直拉硅单晶的热系统的改进实现的，硅单晶炉热系统装置，包括石墨埚、加热器、保温罩、保温盖、保温材料，其特征是热系统装置上部设有导流筒和保温盖，下部设有炉底护盘，炉底护盘的底部和周围设有保温材料，保温罩及保温罩外侧的保温材料支撑在炉底护盘上，双层保温盖设置在石墨罩上面，导流筒设置在保温盖的盖口内。所述的保温罩为碳纤维断热材罩。所述的保温材料为固化断热材。所述的导流筒、保温盖是连接在一起的，导流筒的上端口与保温盖连接，下端口伸入石英埚口内。本技术结构简单合理，生产制造方便容易。增加了导流筒和炉底护盘，导流筒象锅盖一样将加热器的热量封在热系统内，使热系统成为封闭式热系统。双层保温盖，使上部的单层保温变成双层保温，采用隔热性能好的固化断热材作为保温材料和碳纤维断热材作保温罩，有效的减小热能损耗，保证热能的充分利用。导流筒的另一个作用是充分引导氩气的定向流动，保证硅液及晶体周围总是充满最新鲜的氩气，使硅单晶在周围气氛保护下生长。本热系统有利于拉制大直径的硅单晶，提高硅单晶质量，有很好的推广应用价值。附图说明图1所示为本技术的结构示意图，图中1炉筒、2保温盖、3保温盖、4保温材料、5保温罩、6加热器、7水套、8石英埚、9导流筒、10炉底护盘。具体实施方式炉筒1壁上设置的水套7，炉筒1下部设置固化断热材保温材料4和炉底护盘10，炉底护盘壁的周围也设置固化断热材保温材料。炉筒内安装石英埚8、加热器6、保温罩5、保温盖3、保温材料4。保温罩5及保温罩外侧的保温材料4支撑在炉底护盘上，保温罩5采用碳纤维断热材罩，保温罩外侧的保温材料4采用固化断热材。在保温盖3上面设置保温盖2，在保温盖的盖口内设置导流筒9，导流筒9呈上大下小的圆锥台形，导流筒的上端口与保温盖连接，下端口伸入石英埚8口内。权利要求1.一种硅单晶炉热系统装置，包括石墨埚、加热器、保温罩、保温盖、保温材料，其特征是热系统上部设有导流筒和保温盖，下部设有炉底护盘，炉底护盘的底部和周围设有保温材料，保温罩及保温罩外侧的保温材料支撑在炉底护盘上，设置保温盖，导流筒设置在保温盖的盖口内。2.根据权利要求1所述的硅单晶炉热系统装置，其特征是所述的保温罩为碳纤维断热材罩。3.根据权利要求1所述的硅单晶炉热系统装置，其特征是所述的保温材料为固化断热材。4.根据权利要求1所述的硅单晶炉热系统装置，其特征是所述的导流筒、保温盖是连接在一起的，导流筒的上端口与保温盖连接，下端口伸入石英埚口内。5.根据权利要求1所述的硅单晶炉热系统装置，其特征是所述的下部设有炉底护盘，炉底护盘的底部和周围设有保温材料。专利摘要硅单晶炉的热系统装置，属于电子工业
硅单晶炉热系统装置包括石墨埚、加热器、保温罩、保温盖、保温材料，热系统上部设有导流筒和保温盖，下部设有炉底护盘，炉底护盘的底部和周围设有保温材料，保温罩及保温罩外侧的保温材料支撑在炉底护盘上，保温盖设置在石墨罩上面，导流筒设置在保温盖的盖口内。本技术结构简单合理，生产制造方便容易。增加了导流筒和炉底护盘，导流筒象锅盖一样将加热器的热量封在热系统内，使热系统成为封闭式热系统。有效的减小热能损耗，保证热能的充分利用。导流筒充分引导氩气的定向流动，保证硅液及晶体周围总是充满最新鲜的氩气，使硅单晶在周围气氛保护下生长，提高硅单晶质量，有很好的推广应用价值。文档编号C30B15/14GK2744697SQ200420079639公开日2005年12月7日 申请日期2004年9月20日 优先权日2004年9月20日专利技术者倪云达, 曲树旺 申请人:江苏顺大半导体发展有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅单晶炉热系统装置，包括石墨埚、加热器、保温罩、保温盖、保温材料，其特征是热系统上部设有导流筒和保温盖，下部设有炉底护盘，炉底护盘的底部和周围设有保温材料，保温罩及保温罩外侧的保温材料支撑在炉底护盘上，设置保温盖，导流筒设置在保温盖的盖口内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：倪云达，曲树旺，
申请(专利权)人：江苏顺大半导体发展有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]