The utility model discloses a suction device in a semiconductor cleaning device, which consists of a base, a motor, a baffle, a fastener, a suction box, a suction outlet, a supporting foot, a fan, a controller and a universal wheel. The controller is composed of a device body, a regulating knob, a indicator lamp, a display screen and a processor. The ventilation device in a semiconductor cleaning device is provided with a controller to display the data value of the harmful gas and the required wind speed by the display screen, and then rotate the adjusting knob, and through the integrated analysis of the processor, the wind speed is effectively adjusted and controlled, so that the equipment can take the acid mist away and draw the air in time. Good effect, harmful gas will not disperse, improve the surrounding environment.
【技术实现步骤摘要】
一种半导体清洗设备中的抽风装置
本技术是一种半导体清洗设备中的抽风装置,属于半导体设备
技术介绍
目前,半导体清洗设备中的抽风系统是非常重要的设备,它能将化学槽中挥发出的有害气体抽走,避免工人受到有害气体的伤害。现有技术公开了申请号为:CN201220219711.4的一种半导体清洗设备中的抽风装置,它包括带有排风口的抽风箱,抽风箱上可拆卸式地连接有抽风体,该抽风体上具有环绕在化学槽槽口周边的内壁,并且该内壁上均布有若干抽风口。本技术缩短了抽风口与化学槽口的距离,抽风效果更好,有害气体不会散开出来,影响到工作环境中,导致人受到有毒气体的伤害,本技术的抽风体为可拆卸式地连接,方便了抽风体内部的清洁。但是其不足之处在于现有的抽风装置无法控制抽风的速度快慢,只能在抽风箱上开抽风口,进行固定死板的抽风工作,抽风效果不理想,不能及时将酸雾抽走,还是有少量有害气体散到空气中,导致人体受到有毒气的伤害。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足,本技术目的是提供一种半导体清洗设备中的抽风装置,以解决现有的抽风装置无法控制抽风的速度快慢,只能在抽风箱上开抽风口,进行固定死板的抽风工作,抽风效果不理想,不能及时将酸雾抽走,还是有少量有害气体散到空气中,导致人体受到有毒气的伤害的问题。为了实现上述目的,本技术是通过如下的技术方案来实现:一种半导体清洗设备中的抽风装置,其结构包括底座、电机、挡板、紧固件、抽风箱、抽风口、支撑脚、风扇、控制器、万向轮,所述底座为长60cm的长方体结构,所述底座下表面四个边角分别与万向轮采用过盈配合方式活动连接,且处于同一水平线上,所述万向轮为直径5 ...
【技术保护点】
1.一种半导体清洗设备中的抽风装置,其结构包括底座(1)、电机(2)、挡板(3)、紧固件(4)、抽风箱(5)、抽风口(6)、支撑脚(7)、风扇(8)、控制器(9)、万向轮(10),所述底座(1)为长60cm的长方体结构,所述底座(1)下表面四个边角分别与万向轮(10)采用过盈配合方式活动连接,且处于同一水平线上,所述万向轮(10)为直径5cm的球体结构,共设有四个,所述底座(1)上表面左段分别与支撑脚(7)下端采用过盈配合方式活动连接,且呈长方形状分布,所述支撑脚(7)为长12cm的长方体结构,共设有四个,其特征在于:所述支撑脚(7)上端分别与抽风箱(5)下表面四个边角采用过盈配合方式活动连接,且处于同一水平线上,所述抽风箱(5)为直径60cm的圆盘体结构,所述底座(1)上表面右下端与控制器(9)采用过盈配合方式活动连接,所述控制器(9)为长20cm的长方体结构;所述控制器(9)由器体(901)、调节旋钮(902)、指示灯(903)、显示屏(904)、处理器(905)组成,所述器体(901)为长方体结构,所述器体(901)正表面上段与显示屏(904)采用过盈配合方式活动连接,所述显示屏 ...
【技术特征摘要】
1.一种半导体清洗设备中的抽风装置,其结构包括底座(1)、电机(2)、挡板(3)、紧固件(4)、抽风箱(5)、抽风口(6)、支撑脚(7)、风扇(8)、控制器(9)、万向轮(10),所述底座(1)为长60cm的长方体结构,所述底座(1)下表面四个边角分别与万向轮(10)采用过盈配合方式活动连接,且处于同一水平线上,所述万向轮(10)为直径5cm的球体结构,共设有四个,所述底座(1)上表面左段分别与支撑脚(7)下端采用过盈配合方式活动连接,且呈长方形状分布,所述支撑脚(7)为长12cm的长方体结构,共设有四个,其特征在于:所述支撑脚(7)上端分别与抽风箱(5)下表面四个边角采用过盈配合方式活动连接,且处于同一水平线上,所述抽风箱(5)为直径60cm的圆盘体结构,所述底座(1)上表面右下端与控制器(9)采用过盈配合方式活动连接,所述控制器(9)为长20cm的长方体结构;所述控制器(9)由器体(901)、调节旋钮(902)、指示灯(903)、显示屏(904)、处理器(905)组成,所述器体(901)为长方体结构,所述器体(901)正表面上段与显示屏(904)采用过盈配合方式活动连接,所述显示屏(904)...
【专利技术属性】
技术研发人员:尤春雷,
申请(专利权)人:南安泉鸿孵化器管理有限公司,
类型:新型
国别省市:福建,35
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