药液的浓度管理装置、再生装置及费用的计算系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供在对用于制造半导体、液晶显示器基板的药液浓度进行管理的服务提供中使用的浓度管理装置及在对药液进行再生处理的服务提供中使用的药液再生装置、以及使用这些装置而提供的服务提供所涉及的费用的计算系统。浓度管理装置(1)在补给补充液的配管配备有累计流量计(51～53)。药液再生装置(2)在供给再生药液的配管配备有累计流量计(54)。药液的浓度管理或再生处理的费用基于由累计流量计计测出的规定期间内的累计流量而算出。累计流量计(221～225)具备通信功能而与网络(201)连接。累计流量经由网络由服务器系统(202)接收并存储。服务器系统(202)具备按照每个累计流量计并基于规定期间的累计流量而计算费用的计算部(205)。

【技术实现步骤摘要】
药液的浓度管理装置、再生装置及费用的计算系统
本技术涉及对在半导体或者液晶显示器基板的制造工序中反复使用的各种药液的浓度进行管理的药液的浓度管理装置、及使用浓度管理装置来管理所提供的药液的浓度的服务中的药液的浓度管理费用计算系统。本技术涉及对在半导体或者液晶显示器基板的制造工序中使用的各种药液进行再生的药液再生装置、及使用药液再生装置而使所提供的药液再生的服务中的药液的再生处理费用计算系统。
技术介绍
在半导体或者液晶显示器基板的制造工序中，例如，使用有显影液、蚀刻液、剥离液、防带电剂、清洗液等各种药液(以下，在无需具体区别这些药液的情况下将这些药液统一称作“药液”。)。药液被维持管理为根据需要的规定的浓度而使用，以便使其性能最大限度地发挥作用。另外，有时使用后的药液被再生处理为能够再利用而使用。以往，使用药液的人(以下有时称作“药液使用者”)为了维持管理药液的浓度而购入并使用药液的浓度管理装置。另外，药液使用者为了将使用后的药液再生处理为能够再利用而购入并使用药液的再生处理装置。例如，作为药液的浓度管理装置而公开有以下的专利文献。在专利文献1中，公开有对显影液的碱浓度和溶解树脂浓度进行管理的显影液浓度管理装置。另外，在专利文献2中，公开有对酸浓度和溶解铟浓度进行管理的蚀刻液管理装置。作为药液的再生处理装置，专利文献3公开有通过精密过滤而使显影废液再生的显影废液的再生处理装置。在先技术文献专利文献1：日本专利第2561578号公报专利文献2：日本专利第2747647号公报专利文献3：日本特开2005-175118号公报然而，在像以往那样购入并使用浓度管理装置、药液再生装置的方式中，药液使用者需要购入浓度管理装置、药液再生装置，使这些装置运转并进行维持管理。另外，在以往的方式中，对于制造销售浓度管理装置、药液再生装置的人(以下有时称作“装置销售者”)而言，也只有在装置销售时点才有获得这些装置的回报的机会。因此，药液使用者必须承担用于购入浓度管理装置、药液再生装置的暂时的巨额费用负担和购入后的运转及维持管理所涉及的各种精力、负担。另外，还存在如下问题：装置销售者若不在有限的市场之中屡次找寻希望购入装置的药液使用者并销售出装置，则难以赚取足够的利益。
技术实现思路
技术要解决的课题本技术是鉴于上述的各课题而完成的。专利技术者提出了提供使用浓度管理装置而管理药液的浓度的服务及使用药液再生装置而对使用后的药液进行再生处理的服务的技术方案。即，本技术的目的在于提供一种能够不使药液使用者承担上述那样的负担而使用药液、并且能够使装置销售者持续赚取收益的、在上述提出的新商业模式中使用的药液的浓度管理装置及药液再生装置、以及对药液的浓度管理或再生处理所涉及的服务的提供费用进行计算的费用计算系统。为了达成所述目的，本技术的药液的浓度管理装置利用配管与反复使用药液的设备连接，并经由配管向在设备中使用的药液供给补充液来管理药液的浓度，其中，在配管中配备有累计流量计。为了达成所述目的，本技术的药液再生装置将使用完的药液再生为能够再利用，并向使用再生后的再生药液的设备供给该再生药液，其中，在向设备供给再生药液的配管中配备有累计流量计。根据本技术的浓度管理装置或者药液再生装置，由于在供给补充液的配管或者供给再生药液的配管中配备有累计流量计，因此能够按照规定期间(例如一周或者一个月)而把握向药液使用者的设备供给的补充液或者再生药液的量。因此，例如，能够将对供给费用加上基于其他各项经费等的基本费用后的金额计算为药液的浓度管理的费用或者药液的再生处理的费用，该供给费用是将该规定期间内的补充液或者再生药液的供给量乘以它们的每单位量的费用而得到的。然后，能够将所算出的费用向药液使用者请求。为了达成所述目的，本技术的药液的浓度管理装置或者药液再生装置中的累计流量计具备通信功能。根据本技术的药液的浓度管理装置或者药液再生装置，在各药液使用者的工厂中使用的药液的浓度管理装置或者药液再生装置的累计流量计由于具备通信功能，因此能够与网络连接。因此，能够利用与该网络连接的服务器系统远程地监视累计流量计所测定的补充液、再生药液的累计流量等的各种测定数据。无需为了对累计流量计的计量表进行查表而来到药液使用者的工厂。为了达成所述目的，药液的浓度管理费用计算系统具备：累计流量计，其配备于向在使用药液的设备中反复使用的药液供给补充液的浓度管理装置的用于供给补充液的配管，且具有通信功能；以及服务器系统，其经由网络而与累计流量计连接，服务器系统具备：接收部，其经由网络而接收累计流量计所计测出的累计流量；存储部，其按照每个累计流量计而存储由接收部接收到的累计流量的历史信息；以及计算部，其基于由存储部存储的历史信息，按照每个设备而计算规定期间内的药液的浓度管理的费用。为了达成所述目的，药液的再生处理费用计算系统具备：累计流量计，其配备于向使用药液的设备供给再生药液的配管，且具有通信功能，该再生药液是由将使用完的药液再生为能够再利用的药液再生装置再生后的药液；以及服务器系统，其经由网络而与累计流量计连接，服务器系统具备：接收部，其经由网络而接收累计流量计所计测出的累计流量；存储部，其按照每个累计流量计而存储由接收部接收到的累计流量的历史信息；以及计算部，其基于由存储部存储的历史信息，按照每个设备而计算规定期间内的药液的再生处理的费用。根据本技术的药液的浓度管理费用计算系统或药液的再生处理费用计算系统，提供药液的浓度管理或再生处理的服务的人(以下，有时称作“服务提供者”)能够利用与网络连接的服务器系统远程地统一监视在各药液使用者的工厂中使用的累计流量计。无需为了对累计流量计的计量表进行查表而来到药液使用者的工厂。能够计算与供给至药液使用者的设备的补充液或者再生药液的规定期间内的累计流量相应的、管理药液浓度的服务或者进行药液的再生处理的服务的合理的提供费用，能够向药液使用者请求该费用。技术效果根据本技术，能够实现提供利用具备累计流量计的药液的浓度管理装置来管理药液的浓度的服务这样的该业界迄今为止没有的新商业方法。根据本技术，能够实现提供利用具备累计流量计的药液再生装置来进行药液的再生处理的服务这样的该业界迄今为止没有的新商业方法。因此，根据本技术，服务提供者与以往的销售装置的情况相比，即便不在有限的市场之中屡次找寻希望购入装置的人，也能够持续地确保稳定的收益。根据本技术，药液使用者不承担购入药液的浓度管理装置、或者使药液的浓度管理装置运转、或者维持管理药液的浓度管理装置的负担，而仅支付基于为了药液的浓度管理而补给的补充液的累计流量所花费的用于提供药液的浓度管理的服务的费用，就能够使用始终管理为规定的浓度的药液。根据本技术，药液使用者不承担购入药液再生装置、或者使药液再生装置运转、或者维持管理药液再生装置的负担，而仅支付基于接受到供给的再生药液的累计流量所花费的用于提供药液的再生处理的服务的费用，就能够得到再生药液而使用。根据本技术，服务提供者还能够远程地统一监视在多个药液使用者的工厂(场地)使用的各浓度管理装置、各药液再生装置的累计流量计。附图说明图1是药液浓度管理装置的示意图。图2是药液再生装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种药液的浓度管理装置，其利用配管与反复使用药液的设备连接，并经由所述配管向在所述设备中使用的所述药液供给补充液来管理所述药液的浓度，其特征在于，在所述配管中配备有累计流量计。

【技术特征摘要】
2017.05.26 JP 2017-1046211.一种药液的浓度管理装置，其利用配管与反复使用药液的设备连接，并经由所述配管向在所述设备中使用的所述药液供给补充液来管理所述药液的浓度，其特征在于，在所述配管中配备有累计流量计。2.根据权利要求1所述的药液的浓度管理装置，其特征在于，所述累计流量计具备通信功能。3.一种药液的浓度管理费用计算系统，其特征在于，所述药液的浓度管理费用计算系统具备：累计流量计，其配备于向在使用药液的设备中反复使用的所述药液供给补充液的浓度管理装置的用于供给所述补充液的配管，且具有通信功能；以及服务器系统，其经由网络而与所述累计流量计连接，所述服务器系统具备：接收部，其经由所述网络而接收所述累计流量计所计测出的累计流量；存储部，其按照每个所述累计流量计而存储由所述接收部接收到的所述累计流量的历史信息；以及计算部，其基于由所述存储部存储的所述历史信息，按照每个所述设...

【专利技术属性】
技术研发人员：中川俊元，
申请(专利权)人：株式会社平间理化研究所，
类型：新型
国别省市：日本,JP