基板处理系统以及基板的处理费用计算系统技术方案

本发明专利技术提供适合于将基板制造所使用的药液管理为最佳状态的服务的基板处理系统及其费用的计算系统。在基板处理系统中，通过配管将基板处理机构(1)、调制药液的新液的药液调制机构(3)、对使用后的药液进行再生的药液再生机构(4)等连接。药液管理机构(2)测定基板处理机构的药液的浓度并补充药液的原液、新液、再生液，将药液管理为最佳浓度。所供给的补充液由配备于配管的累计流量计(51～55)计测。在基板的处理费用计算系统(5)中，具有通信功能的累计流量计和服务器系统(502)与网络(501)连接。累计流量经由网络由服务器系统接收并存储。服务器系统具备按照每个累计流量计并基于规定期间的累计流量计算费用的运算部(505)。

Substrate Processing System and Substrate Processing Cost Calculating System

The invention provides a substrate processing system and a cost calculation system suitable for serving the pharmaceutical solution used in the substrate manufacturing as the best state. In the baseboard processing system, the baseboard processing mechanism (1), the medicinal liquid modulating mechanism (3), and the medicinal liquid regeneration mechanism (4), which regenerates the medicinal liquid after use, are connected by piping. Pharmaceutical solution management body (2) Determines the concentration of the liquid of the substrate treatment body and supplements the original, new and regenerated liquid of the liquid, and manages the liquid as the optimum concentration. Supplementary fluid supplied is measured by a cumulative flowmeter (51-55) equipped with piping. In the processing cost calculation system (5) of the baseboard, the cumulative flowmeter and server system (502) with communication function are connected with the network (501). The cumulative traffic is received and stored by the server system via the network. The server system has an operation unit (505) that calculates the cost based on the cumulative flow of each cumulative flowmeter and the specified period.

【技术实现步骤摘要】
基板处理系统以及基板的处理费用计算系统
本专利技术涉及使用在半导体或者液晶显示器基板的制造工序中反复使用的各种药液进行基板的处理的基板处理系统、以及对使用该基板处理系统实施的基板的处理所涉及的基板处理费用进行计算的基板的处理费用计算系统。
技术介绍
在半导体或者液晶显示器基板的制造工序中，例如，使用有显影液、蚀刻液、剥离液、防带电剂、清洗液等各种药液。这些药液(以下，在无需具体区别这些药液的情况下将这些药液统一称作“药液”。)被维持管理为根据需要的规定的浓度而使用，以便使其性能最大限度地发挥作用。药液的浓度管理通过药液的浓度的监视和基于测定出的浓度进行的补充液的补给来完成。作为所补给的补充液，除了药液的原液、纯水之外，还使用新调制出的药液(以下也称作“新液”。)、再生处理为能够再利用的药液(以下也称作“再生液”。)等。以往，使用药液对基板进行处理的人(以下有时称作“基板制造者”。)为了维持管理药液的浓度而购入并使用药液的浓度管理装置。基板制造者必须调配药液的原液、新液等来作为为了管理药液的浓度而补给的补充液。基板制造者在自身调制药液的新液时，必须购入用其原料自动地对药液进行调制的药液调制装置并运用该药液调制装置。另外，基板制造者在自身准备再生液时，必须购入将使用后的药液再生处理为能够再利用的药液的再生处理装置。作为药液的浓度管理装置，例如公开有以下的专利文献。在专利文献1中，公开有对显影液的碱浓度和溶解树脂浓度进行管理的显影液浓度管理装置。另外，在专利文献2中，公开有对酸浓度和溶解铟浓度进行管理的蚀刻液管理装置。作为药液的再生处理装置，例如，在专利文献3中，公开有通过精密过滤而使显影废液再生的显影废液的再生处理装置。在先技术文献专利文献专利文献1：日本专利第2561578号公报专利文献2：日本专利第2747647号公报专利文献3：日本特开2005-175118号公报然而，在像以往那样购入并使用浓度管理装置、药液调制装置、药液再生装置的方式中，基板制造者需要购入浓度管理装置、药液再生装置，使这些装置运转并进行维持管理。另外，在以往的方式中，对于制造销售浓度管理装置或药液调制装置、药液再生装置的人(以下有时称作“装置销售者”。)而言，也只有在装置销售时点才有获得这些装置的回报的机会。因此，基板制造者必须承担用于购入浓度管理装置或药液调制装置、药液再生装置的暂时的巨额费用负担和购入后的运转及维持管理所涉及的各种精力、负担。另外，还存在如下问题：装置销售者若不在有限的市场之中屡次找寻希望购入装置的基板制造者并销售装置，则难以赚取足够的利益。
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术是鉴于上述的各课题而完成的。专利技术人提出了不是销售装置而是向基板制造者提供使用浓度管理装置或药液调制装置、药液再生装置将药液维持管理为最适于基板处理的期望的状态的服务的技术方案。在本技术方案的新的商业模式中，能够不使基板制造者承担上述那样的负担而使用始终被维持为最佳状态的药液、并且能够使装置销售者持续赚取利益。本专利技术的目的在于，提供一种基板处理系统、及由该基板处理装置进行的基板的处理所涉及的基板处理费用的计算系统，该基板处理系统是将在上述技术方案的新的商业模式中提供上述服务的人提供其服务所用的浓度管理装置或药液调制装置、药液再生装置与基板制造者所运用的基板处理机构连接而构筑的最适于提供上述服务的基板处理系统。用于解决课题的方案为了达成所述目的，本专利技术的基板处理系统具备：基板处理机构(1)，其使用药液对基板进行处理；药液管理机构(2)，其对在基板处理机构(1)反复使用的药液的浓度进行管理；以及配管(81、82、83)，其与基板处理机构(1)连接，将由药液管理机构(2)向药液供给的补充液输送至基板处理机构(1)，在该配管中配备有累计流量计(51、52、53)。为了达成所述目的，优选为，本专利技术的基板处理系统还具备：药液调制机构(3)，其将药液调制为新液；以及新液用配管(84)，其与基板处理机构(1)及药液调制机构(3)连接，通过药液管理机构(2)向在基板处理机构反复使用的药液供给由药液调制机构(3)调制出的新液，在该新液用配管(84)中配备有累计流量计(54)。为了达成所述目的，优选为，本专利技术的基板处理系统还具备：药液再生机构(4)，其将在基板处理机构(1)使用后的药液再生为能够再利用的再生液；以及再生液用配管(85)，其与基板处理机构(1)及药液再生机构(4)连接，通过药液管理机构(2)向在基板处理机构(1)反复使用的药液供给由药液再生机构(4)再生后的再生液，在再生液用配管(85)中配备有累计流量计(55)。根据本专利技术的基板处理系统，由于在供给补充液的配管(81、82、83)、补给由药液调制机构(3)调制出的药液的新液的新液用配管(84)、及补给由药液再生机构(4)再生后的药液的再生液用配管(85)中配备有累计流量计(51、52、53、54、55)，因此，能够按照规定期间(例如一周或者一个月)而把握向基板处理机构(1)供给的补充液、新液或再生液的量。因此，例如，能够将对供给费用加上基于其他各项经费等的基本费用后的金额计算为为了基板处理而提供的药液管理的服务提供所涉及的费用、即“基板处理费用”，供给费用是将该规定期间内的补充液、新液或再生液的供给量乘以它们的每单位量的费用而得到的。然后，能够将所算出的费用向基板制造者请求。为了达成所述目的，本专利技术的基板处理系统具备：基板处理机构(1)，其使用药液对基板进行处理；药液调制机构(3)，其将药液调制为新液；以及新液用配管(84)，其与基板处理机构(1)及药液调制机构(3)连接，将由药液调制机构(3)调制出的新液输送至基板处理机构(1)，在该新液用配管(84)中配备有累计流量计(54)。根据本专利技术的基板处理系统，由于在补给由药液调制机构(3)调制出的药液的新液的新液用配管(84)中配备有累计流量计(54)，因此，能够按照规定期间(例如一周或者一个月)而把握向基板处理机构(1)供给的新液的量。因此，例如，能够将对供给费用加上基于其他各项经费等的基本费用后的金额计算为为了基板处理而提供的药液管理的服务提供所涉及的费用、即“基板处理费用”，供给费用是将该规定期间内的新液的供给量乘以每单位量的费用而得到的。然后，能够将所算出的费用向基板制造者请求。为了达成所述目的，本专利技术的基板处理系统具备：基板处理机构(1)，其使用药液对基板进行处理；药液再生机构(4)，其将在基板处理机构(1)使用后的药液再生为能够再利用的再生液；以及再生液用配管(85)，其与基板处理机构(1)及药液再生机构(4)连接，将由药液再生机构(4)再生后的再生液输送至基板处理机构(1)，在该再生液用配管(85)中配备有累计流量计(55)。根据本专利技术的基板处理系统，由于在供给由药液再生机构(4)再生后的再生液的再生液用配管(85)中配备有累计流量计(55)，因此，能够按照规定期间(例如一周或者一个月)而把握向基板处理机构(1)供给的再生液的量。因此，例如，能够将对供给费用加上基于其他各项经费等的基本费用后的金额计算为为了基板处理而提供的药液管理的服务提供所涉及的费用、即“基板处理费用”，供给费用是将该规定期间内的再生液的供给量乘以每单位量的费本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板处理系统，其中，所述基板处理系统具备：基板处理机构，其使用药液对基板进行处理；药液管理机构，其对在所述基板处理机构反复使用的所述药液的浓度进行管理；以及配管，其与所述基板处理机构连接，将由所述药液管理机构向所述药液供给的补充液输送至所述基板处理机构，在所述配管中配备有累计流量计。

【技术特征摘要】
2017.05.26 JP 2017-1046221.一种基板处理系统，其中，所述基板处理系统具备：基板处理机构，其使用药液对基板进行处理；药液管理机构，其对在所述基板处理机构反复使用的所述药液的浓度进行管理；以及配管，其与所述基板处理机构连接，将由所述药液管理机构向所述药液供给的补充液输送至所述基板处理机构，在所述配管中配备有累计流量计。2.根据权利要求1所述的基板处理系统，其中，所述基板处理系统还具备：药液调制机构，其将所述药液调制为新液；以及新液用配管，其与所述基板处理机构及所述药液调制机构连接，通过所述药液管理机构向在所述基板处理机构反复使用的药液供给由所述药液调制机构调制出的所述新液，在所述新液用配管中配备有累计流量计。3.根据权利要求2所述的基板处理系统，其中，所述基板处理系统还具备：药液再生机构，其将在所述基板处理机构使用后的所述药液再生为能够再利用的再生液；以及再生液用配管，其与所述基板处理机构及所述药液再生机构连接，通过所述药液管理机构向在所述基板处理机构反复使用的药液供给由所述药液再生机构再生后的所述再生液，在所述再生液用配管中配备有累计流量计。4.根据权利要求1所述的基板处理系统，其中，所述基板处理系统还具备：药液再生机构，其将在所述基板处理机构使用后的所述药液再生为能够再利用的再生液；以及再生液用配管，其与所述基板处理机构及所述药液再生机构连接，通过所述药液管理机构向在所述基板处理机构反复使用的药液供给由所述药液再生机构再生后的所述再生液，在所述再生液用配管中配备有累计流量计。5.根据权利要求1～4中任一项所述的基板处理系统，其中，所述累计流量计具备通信功能。6.一种基板处理系统，其中，所述基板处理系统具备：基板处理机构，其使用药液对基板进行处理；药液调制机构，其将所述药液调制为新液；以及新液用配管，其与所述基板处理机构及所述药液调制机构连接，将由所述药液调制机...

【专利技术属性】
技术研发人员：中川俊元，
申请(专利权)人：株式会社平间理化研究所，
类型：发明
国别省市：日本,JP