【技术实现步骤摘要】
一种减少硅片插装误差的光刻机取片装置
本技术涉及光刻机
,具体为一种减少硅片插装误差的光刻机取片装置。
技术介绍
光刻机又名掩模对准曝光机,光刻的过程是在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时复制到硅片上的过程。取片装置是光刻机中重要的部位,光刻机在光刻的过程中,需要利用取片装置将片盒中的硅片取出然后再传递给其他送片结构,取片装置的应用越来越广泛,因此,对取片装置的需求日益增长。现有的光刻机取片装置在使用时存在一定的弊端,硅片的插装容易产生误差,对于操作中的失误不能及时观察到,予以改变,送片速度慢,赶不上光刻速度,导致装置运行不同步,在操作过程中带来了一定的不利影响,因此,针对上述问题提出一种减少硅片插装误差的光刻机取片装置。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种减少硅片插装误差的光刻机取片装置,可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:一种减少硅片插装误差的光刻机取片装置,包括主体箱与控制面板,所述主体箱的下端外侧设有防震垫,所述主体箱的上端外侧设有激光传感器与观察窗,且激光传感器固定安装在观察窗的水平一侧,所述激光传感器的内部固定安装有红外发光管与接收器,所述激光传感器的下端外侧穿过主体箱的内表面固定安装有传感杆,所述激光传感器的上端外表面靠近接收器的一侧设有闪光灯头,所述主体箱的一端外侧穿过主体箱的内部设有送片台,且送片台的上端外表面活动安装有传送带,所述主体箱的外表面靠近传送带的上方设置有升降帘,所述控制面板固定安装在主体箱的一端外表面靠近观察窗的一侧,所述主体箱的内部设有传动轮与硅 ...
【技术保护点】
1.一种减少硅片插装误差的光刻机取片装置,包括主体箱(1)与控制面板(12),其特征在于:所述主体箱(1)的下端外侧设有防震垫(2),所述主体箱(1)的上端外侧设有激光传感器(3)与观察窗(4),且激光传感器(3)固定安装在观察窗(4)的水平一侧,所述激光传感器(3)的内部固定安装有红外发光管(5)与接收器(6),所述激光传感器(3)的下端外侧穿过主体箱(1)的内表面固定安装有传感杆(7),所述激光传感器(3)的上端外表面靠近接收器(6)的一侧设有闪光灯头(8),所述主体箱(1)的一端外侧穿过主体箱(1)的内部设有送片台(9),且送片台(9)的上端外表面活动安装有传送带(10),所述主体箱(1)的外表面靠近传送带(10)的上方设置有升降帘(11),所述控制面板(12)固定安装在主体箱(1)的一端外表面靠近观察窗(4)的一侧,所述主体箱(1)的内部设有传动轮(13)与硅片盒(14),所述传动轮(13)的水平一侧固定安装有双压伺服电机(15),所述硅片盒(14)的上端外侧设有取片结构(16),且取片结构(16)的水平一端活动安装有升降结构(17)。
【技术特征摘要】
1.一种减少硅片插装误差的光刻机取片装置,包括主体箱(1)与控制面板(12),其特征在于:所述主体箱(1)的下端外侧设有防震垫(2),所述主体箱(1)的上端外侧设有激光传感器(3)与观察窗(4),且激光传感器(3)固定安装在观察窗(4)的水平一侧,所述激光传感器(3)的内部固定安装有红外发光管(5)与接收器(6),所述激光传感器(3)的下端外侧穿过主体箱(1)的内表面固定安装有传感杆(7),所述激光传感器(3)的上端外表面靠近接收器(6)的一侧设有闪光灯头(8),所述主体箱(1)的一端外侧穿过主体箱(1)的内部设有送片台(9),且送片台(9)的上端外表面活动安装有传送带(10),所述主体箱(1)的外表面靠近传送带(10)的上方设置有升降帘(11),所述控制面板(12)固定安装在主体箱(1)的一端外表面靠近观察窗(4)的一侧,所述主体箱(1)的内部设有传动轮(13)与硅片盒(14),所述传动轮(13)的水平一侧固定安装有双压伺服电机(15),所述硅片盒(14)的上端外侧设...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘炫烨,
申请(专利权)人:无锡源代码科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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