靶材表面喷砂保护板装置制造方法及图纸
Sand spray protective plate device on target surface
The utility model relates to the field of sand blasting protection technology for target materials, in particular to a sand blasting protective board device for target materials. The sand blasting protective plate device of the target surface includes the operating table. The surface of the operating table is in turn from the bottom to the top to prevent the target and the rigid template, and there are a plurality of clamps on the edge of the operating table with the target and the rigid template on the operating table. The utility model has the advantages of simple device, convenient use, easy realization and low cost. Through the utility model, the residual glue can be avoided, the surface quality of the target material is guaranteed, the working strength is reduced and the working efficiency is improved.
【技术实现步骤摘要】
靶材表面喷砂保护板装置
本技术涉及靶材表面喷砂保护
，尤其是一种靶材表面喷砂保护板装置。
技术介绍
在靶材使用过程中，靶材表面喷砂区域能够吸附磁控溅射时产生的微小颗粒物，对薄膜质量起着重要的作用。在靶材生产过程中，对靶材表面喷砂区域进行喷砂作业时，必须对靶材非喷砂区域进行遮掩。行业内，一般都是使用喷砂保护膜对靶材非喷砂区域进行遮掩，喷砂作业时，喷砂保护膜在高速磨料撞击下，喷砂交界处会残留大量胶水，极难去除，严重影响靶材表面质量。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：克服现有技术中之不足，提供一种靶材表面喷砂保护板装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种靶材表面喷砂保护板装置，包括操作台，操作台上表面从下往上依次防止有靶材和刚性模板，所述操作台边缘处安装有多个将靶材和刚性模板夹持在操作台上的夹具。进一步地，所述的靶材和刚性模板之间设有橡胶模板。设有橡胶模板，使得靶材、橡胶模板和刚性模板三者之间贴合紧密，避免喷砂过程中，磨料钻进非喷砂区域。进一步地，所述的夹具为c型夹具。进一步地，所述的刚性模板、橡胶模板、靶材和操作台同轴设置。本技术的有益效果是：本技术装置简单，使用方便，易实现，成本低，通过本技术可以避免胶水残留，保证靶材表面质量，减小工作强度，提高了工作效率。附图说明下面结合附图和实施方式对本技术进一步说明。图1是本技术的结构示意图；图2是图1的俯视图；图3是图1的侧视图。图中1.c型夹具，2.刚性模板，3.橡胶模板，4.靶材，5.操作台。具体实施方式现在结合附图对本技术作进一步的说明。这些附图均为简化的示意图仅以示意方式说明本技术的基本结构，...
【技术保护点】
1.一种靶材表面喷砂保护板装置，其特征在于：包括操作台(5)，操作台(5)上表面从下往上依次防止有靶材(4)和刚性模板(2)，所述操作台(5)边缘处安装有多个将靶材(4)和刚性模板(2)夹持在操作台(5)上的夹具。
【技术特征摘要】
1.一种靶材表面喷砂保护板装置，其特征在于：包括操作台(5)，操作台(5)上表面从下往上依次防止有靶材(4)和刚性模板(2)，所述操作台(5)边缘处安装有多个将靶材(4)和刚性模板(2)夹持在操作台(5)上的夹具。2.根据权利要求1所述的靶材表面喷砂保护板装置，其特征在于：...
【专利技术属性】
技术研发人员：张学文，胡清熊，黄榕旭，
申请(专利权)人：常州苏晶电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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