晶片清洗夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及晶片清洗夹具，属于晶片清洗技术领域。本实用新型专利技术包括夹具头、夹具身和与夹具身配合的移动夹，所述的夹具头的形状为三角形，三角形的两个腰上各设有一个凸起部，凸起部Ⅰ和凸起部Ⅱ开有开口向内的凹槽Ⅰ和凹槽Ⅱ，所述移动夹的一条夹腿末端设有凸起部Ⅲ，凸起部Ⅲ的末端开有凹槽Ⅲ，凹槽Ⅲ的开口与凹槽Ⅰ和凹槽Ⅱ的开口方向相对，所述夹具身的边缘设有导轨凸起，所述移动夹开口的内表面开有与导轨凸起配合的导槽，三点定位将晶片牢固的夹持在夹具上，夹具头上的两个凹槽为固定夹持点，移动夹上的凹槽为移动夹持点，使得晶片安装方便并且可以适配多种不同尺寸的晶片。

Wafer cleaning fixture

The utility model relates to a wafer cleaning fixture, which belongs to the wafer cleaning technology field. The utility model comprises a clamp head, a fixture body and a movable clamp fitted with a fixture body. The shape of the fixture head is triangular, each of the two sides of the triangle is provided with a convex part, the convex part I and the convex part II open the grooves I and grooves II in the opening, and the end of one of the clamping legs of the movable clip is provided with a convex part. A groove III is provided with a groove III at the end of the protruding part III, and the opening of the groove III is relative to the opening direction of the groove I and the groove II. The edge of the fixture body is provided with a rail protruding, and the inner surface of the movable clamp opening is provided with a guide groove matched with the guide protruding, and three points are positioned to clamp the wafer firmly on the clamp, and two on the fixture head. The groove is a fixed clamping point, and the groove on the moving clip is a movable clamping point, which makes the wafer easy to install and adaptable to many different sizes of wafers.

【技术实现步骤摘要】
晶片清洗夹具
本技术涉及晶片清洗夹具，属于晶片清洗

技术介绍
晶片批量生产过程中，清洗多使用花篮加提篮一次清洗100片，清洗过程结束后甩干进行检验，检验过程中会出现单片被污染的情况，导致该晶片洁净度不达标需返洗。返洗过程若使用花篮进行再清洗，清洗时间太长，且单清洗1片占用设备，耽搁其它晶片清洗，浪费产能，效率低。基于此情况，设计此单片清洗夹具，用于单片或少数几片晶片的清洗，提高清洗效率。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有晶片清洗存在的上述缺陷，提出了一种晶片清洗夹具，可以将单片晶片夹持住，悬挂于清洗液中进行清洗。本技术是采用以下的技术方案实现的：一种晶片清洗夹具，包括夹具头、夹具身和与夹具身配合的移动夹，所述的夹具头的形状为三角形，三角形的两个腰上各设有一个凸起部，凸起部Ⅰ和凸起部Ⅱ开有开口向内的凹槽Ⅰ和凹槽Ⅱ，所述移动夹的一条夹腿末端设有凸起部Ⅲ，凸起部Ⅲ的末端开有凹槽Ⅲ，凹槽Ⅲ的开口与凹槽Ⅰ和凹槽Ⅱ的开口方向相对，所述夹具身的边缘设有导轨凸起，所述移动夹开口的内表面开有与导轨凸起配合的导槽。所述的夹具头的形状为等腰三角形。所述移动夹的另一条夹腿末端还设有推拉部。所述的凹槽Ⅰ、凹槽Ⅱ和凹槽Ⅲ的形状均为三角形，保证夹持的牢固性。所述的夹具头和夹具身与晶片接触区域设有镂空部，所述镂空部形状为圆形、长方形或三角形，尽量减少晶片与夹具的接触面，使晶片得到充分清洗。夹具身的尾部设有挂钩。夹具采用耐酸碱PFA材质本技术的有益效果是：三点定位将晶片牢固的夹持在夹具上，夹具头上的两个凹槽为固定夹持点，移动夹上的凹槽为移动夹持点，使得晶片安装方便并且可以适配多种不同尺寸的晶片。附图说明图1是本使用新型的结构示意图。图2是本技术的移动夹的结构示意图。图中：1夹具头；2夹具身；3移动夹；4挂钩；5凸起部Ⅰ；6凹槽Ⅰ；7凸起部Ⅱ；8凹槽Ⅱ；9镂空部Ⅰ；10镂空部Ⅱ；31凸起部Ⅲ；32凹槽Ⅲ；33推拉部。具体实施方式下面结合附图对本技术作进一步说明。如图1所示，本技术所述的晶片清洗夹具，包括夹具头1、夹具身2和与夹具身2配合的移动夹3，所述的夹具头1的形状为等腰三角形，三角形的两个腰上各设有一个凸起部，凸起部Ⅰ5和凸起部Ⅱ7开有开口向内的凹槽Ⅰ6和凹槽Ⅱ8，所述移动夹3的一条夹腿末端设有凸起部Ⅲ31，凸起部Ⅲ31的末端开有凹槽Ⅲ32，凹槽Ⅲ32的开口与凹槽Ⅰ6和凹槽Ⅱ8的开口方向相对，三个凹槽形成固定晶片的三个夹持点，所述夹具身2的边缘设有导轨凸起，所述移动夹3开口的内表面开有与导轨凸起配合的导槽，导轨凸起与导槽配合使得移动夹3可以在夹具身2来回移动，使得晶片安装灵活并且可以适配多种不同尺寸的晶片。凹槽Ⅰ6、凹槽Ⅱ8和凹槽Ⅲ32的形状均为三角形，保证夹持的牢固性，所述的夹具头1和夹具身2与晶片接触区域分别设有镂空部Ⅰ9和镂空部Ⅱ10，所述镂空部Ⅰ9和镂空部Ⅱ10形状为圆形、长方形或三角形，尽量减少晶片与夹具的接触面，使晶片得到充分清洗。移动夹3的另一条夹腿末端还设有推拉部33，方便来回推拉移动夹3，夹具采用耐酸碱的PFA材质，夹具身2的尾部设有挂钩4，用于将夹具悬挂，将晶片浸泡在清洗液中。当然，上述内容仅为本技术的较佳实施例，不能被认为用于限定对本技术的实施例范围。本技术也并不仅限于上述举例，本
的普通技术人员在本技术的实质范围内所做出的均等变化与改进等，均应归属于本技术的专利涵盖范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶片清洗夹具，其特征在于：包括夹具头(1)、夹具身(2)和与夹具身(2)配合的移动夹(3)，所述的夹具头(1)的形状为三角形，三角形的两个腰上各设有一个凸起部，凸起部Ⅰ(5)和凸起部Ⅱ(7)开有开口向内的凹槽Ⅰ(6)和凹槽Ⅱ(8)，所述移动夹(3)的一条夹腿末端设有凸起部Ⅲ(31)，凸起部Ⅲ(31)的末端开有凹槽Ⅲ(32)，凹槽Ⅲ(32)的开口与凹槽Ⅰ(6)和凹槽Ⅱ(8)的开口方向相对，所述夹具身(2)的边缘设有导轨凸起，所述移动夹(3)开口的内表面开有与导轨凸起配合的导槽。

【技术特征摘要】
1.一种晶片清洗夹具，其特征在于：包括夹具头(1)、夹具身(2)和与夹具身(2)配合的移动夹(3)，所述的夹具头(1)的形状为三角形，三角形的两个腰上各设有一个凸起部，凸起部Ⅰ(5)和凸起部Ⅱ(7)开有开口向内的凹槽Ⅰ(6)和凹槽Ⅱ(8)，所述移动夹(3)的一条夹腿末端设有凸起部Ⅲ(31)，凸起部Ⅲ(31)的末端开有凹槽Ⅲ(32)，凹槽Ⅲ(32)的开口与凹槽Ⅰ(6)和凹槽Ⅱ(8)的开口方向相对，所述夹具身(2)的边缘设有导轨凸起，所述移动夹(3)开口的内表面开有与导轨凸起配合的导槽。2.根据权利要求1所述的晶片清洗夹具，其特征在于：所述的夹具头...

【专利技术属性】
技术研发人员：楚玉环，
申请(专利权)人：青岛嘉星晶电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37