The utility model discloses a monocrystalline silicon growth furnace electrode lifting mechanism, which comprises a furnace body, a power box and a protective shell. The inner wall of the protective shell is connected to the insulating layer, the inner wall of the insulating layer is connected to the electrode, a cooling water pipe is arranged in the middle of the inner part of the electrode, and the upper end of the protective shell is connected with the heat exchanger through the electrode bolt; the utility model is designed on the structure. It is reasonable and practical. At work, the motor rotates the first conical gear, second conical gear and cylindrical gear through the rotating shaft, and the cylindrical gear drives the protective shell through the gear bar, thus realizing the lifting of the electrode and the heater. The position of the heater can be changed with the change of the crystal in the crucible. The heat field temperature is more balanced, which is beneficial to the growth of crystal and the improvement of the quality of the growth crystal rod. The heat transfer from the heater to the cooling pipe is reduced and the energy consumption of the monocrystalline silicon growth furnace is reduced. The structure is simple and stable, which does not affect the installation of the original position, and is suitable for batch production.
【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅生长炉电极升降机构
本技术涉及单晶硅制备领域,具体是一种单晶硅生长炉电极升降机构。
技术介绍
单晶硅是一种比较活泼的非金属元素,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。单晶硅生长炉是通过直拉法生产单晶硅的制造设备。主要由主机、加热电源和计算机控制系统三大部分组成。目前在生长硅单晶的过程中,硅单晶生长的成功与否,以及质量的高低主要是由热场的温度分布决定的。温度分布合适的热场,不仅硅单晶生长顺利,而且品质较高;如果热场的温度分布不是很均匀很合理,生长硅单晶的过程中极容易产生各种缺陷,影响产品质量,严重情况下会出现变晶现象,生长不出来单晶。因此,本领域技术人员提供了一种单晶硅生长炉电极升降机构,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种单晶硅生长炉电极升降机构,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种单晶硅生长炉电极升降机构,包括炉体、动力盒和防护壳,所述炉体内部设置有保温罩,所述炉体下端中部通过托杆护套连接坩埚托杆,所述坩埚托杆上端延伸到炉体内部,所述坩埚托杆上端连接坩埚托盘,所述干锅托盘上端连接石墨坩埚,所述石墨坩埚内壁连接石英坩埚,所述炉体底端设置有若干安装孔,所述安装孔内设置有电机,所述电机上端连接动力盒,所述动力盒内壁通过转轴连接第二圆锥齿轮,所述第二圆锥齿轮侧端连接圆柱齿轮,所述电机通过联轴器连接旋转轴,所述旋转轴上端设置有第一圆锥齿轮,所述第一圆锥齿轮啮合连接第二圆锥齿轮,所述动力盒侧端边缘对称设置有两条滑轨,所述 ...
【技术保护点】
1.一种单晶硅生长炉电极升降机构,包括炉体(1)、动力盒(7)和防护壳(18),其特征在于,所述炉体(1)内部设置有保温罩(5),所述炉体(1)下端中部通过托杆护套连接坩埚托杆(2),所述坩埚托杆(2)上端延伸到炉体(1)内部,所述坩埚托杆(2)上端连接坩埚托盘,所述干锅托盘上端连接石墨坩埚(3),所述石墨坩埚(3)内壁连接石英坩埚(4),所述炉体(1)底端设置有若干安装孔,所述安装孔内设置有电机(6),所述电机(6)上端连接动力盒(7),所述动力盒(7)内壁通过转轴连接第二圆锥齿轮(10),所述第二圆锥齿轮(10)侧端连接圆柱齿轮(11),所述电机(6)通过联轴器连接旋转轴(8),所述旋转轴(8)上端设置有第一圆锥齿轮(9),所述第一圆锥齿轮(9)啮合连接第二圆锥齿轮(10),所述动力盒(7)侧端边缘对称设置有两条滑轨(17),所述动力盒(7)侧端两条滑轨(17)之间开设有方形槽(21),所述圆柱齿轮(11)侧端通过方形槽(21)中延伸到动力盒(7)外,所述防护壳(18)侧端设置有两条滑块(19),所述防护壳(18)侧端两条滑块(19)之间设置有轮齿条(20),所述滑块(19)通过滑 ...
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅生长炉电极升降机构,包括炉体(1)、动力盒(7)和防护壳(18),其特征在于,所述炉体(1)内部设置有保温罩(5),所述炉体(1)下端中部通过托杆护套连接坩埚托杆(2),所述坩埚托杆(2)上端延伸到炉体(1)内部,所述坩埚托杆(2)上端连接坩埚托盘,所述干锅托盘上端连接石墨坩埚(3),所述石墨坩埚(3)内壁连接石英坩埚(4),所述炉体(1)底端设置有若干安装孔,所述安装孔内设置有电机(6),所述电机(6)上端连接动力盒(7),所述动力盒(7)内壁通过转轴连接第二圆锥齿轮(10),所述第二圆锥齿轮(10)侧端连接圆柱齿轮(11),所述电机(6)通过联轴器连接旋转轴(8),所述旋转轴(8)上端设置有第一圆锥齿轮(9),所述第一圆锥齿轮(9)啮合连接第二圆锥齿轮(10),所述动力盒(7)侧端边缘对称设置有两条滑轨(17),所述动力盒(7)侧端两条滑轨(17)之间开设有方形槽(21),所述圆柱齿轮(11)侧端通过方形槽(21)中延伸到动...
【专利技术属性】
技术研发人员:张会现,洪东旭,楼刚刚,卲化水,
申请(专利权)人:杞县东磁新能源有限公司,
类型:新型
国别省市:河南,41
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