并联驱动式压电粘滑直线马达及其驱动方法技术

一种并联驱动式压电粘滑直线马达及其驱动方法，以解决当前压电粘滑直线马达由于采用单定子驱动所导致的输出推力小、行程短、精度低等技术问题。本发明专利技术由斜梯形驱动组件、锁紧螺钉、基座、燕尾平台位移调节器、燕尾平台、燕尾平台限位条和滑动组件组成。所述斜梯形驱动组件通过产生侧向位移，调整其与滑动组件之间的接触正压力，以实现对摩擦力的综合调控；同时，本发明专利技术通过不同非对称电信号组合激励斜梯形驱动组件，可实现输出加强型及运动急停型等多种驱动模式。本发明专利技术具有输出推力大、精度高、行程大等特点，在光学精密仪器和半导体加工等微纳精密驱动与定位领域中具有很好的应用前景。 1

Parallel drive piezoelectric stick slip linear motor and its driving method

A parallel driven piezoelectric stick slip linear motor and its driving method are used to solve the problems of low output thrust, short stroke and low precision due to the use of single stator drive in the current piezoelectric stick slip linear motor. The invention is composed of a diagonal trapezoid drive component, a locking screw, a base, a swallowtail platform displacement regulator, a swallow tail platform, a swallow tail platform limit bar and a sliding module. The inclined trapezoidal drive component adjusts the positive pressure of contact with the sliding component by producing lateral displacement to realize the comprehensive control of the friction force. At the same time, the invention can actuate a variety of driving modes, such as the output strengthening type and the moving stop type, by stimulating the inclined trapezoidal drive component by different asymmetric telecommunication number combination. The invention has the characteristics of large output thrust, high precision and large stroke, and has a good application prospect in the field of micro nano precision driving and positioning, such as optical precision instrument and semiconductor processing. One

【技术实现步骤摘要】
并联驱动式压电粘滑直线马达及其驱动方法
本专利技术涉及一种并联驱动式压电粘滑直线马达及其驱动方法，属于微纳精密驱动与定位

技术介绍
压电马达是利用压电材料的逆压电效应实现精密输出运动的新型驱动装置。压电元件具有稳定性好、响应迅速、定位精确、能量转化率高、驱动力大等优点，常用的压电材料适于被加工成各种形状，而且经过特殊工艺制造的由多层压电陶瓷片构成的压电叠堆具有十分优良的性能，因此适合被应用到超精密定位
中。由于压电驱动的诸多优势所在，压电精密微驱动技术己成为国内外学者研究的重点。压电粘滑直线马达主要是将非对称激励电信号施加于压电元件，激发振子产生快慢交替的运动变形，控制振子与动子在“粘”和“滑”两种运动状态之间相互转换，利用振子与动子间的摩擦力驱动动子实现机械运动输出。中国专利技术专利《菱形铰链斜拉式正交驱动型压电粘滑直线马达及其复合激励方法》，授权公告号为CN105897043B，授权公告日为2017.08.29，公开的菱形铰链斜拉式正交驱动型压电粘滑直线马达由预紧力调节装置、斜拉式定子和动子组成，其中斜拉式定子安装在预紧力调节装置上，动子安装在预紧力调节装置上；中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种并联驱动式压电粘滑直线马达，其特征在于：该并联驱动式压电粘滑直线马达

【技术特征摘要】
1.一种并联驱动式压电粘滑直线马达，其特征在于：该并联驱动式压电粘滑直线马达由斜梯形驱动组件（1）、锁紧螺钉（2）、基座（3）、燕尾平台位移调节器（4）、燕尾平台（5）、燕尾平台限位条（6）和滑动组件（7）组成；所述两个斜梯形驱动组件（1）并联固定在燕尾平台（5）上，所述锁紧螺钉（2）安装在燕尾平台（5）对应螺纹孔内，所述燕尾平台位移调节器（4）安装在基座（3）后端部，所述燕尾平台（5）安装在基座（3）上且限定在燕尾平台限位条（6）内，所述燕尾平台限位条（6）固定在基座（3）上，所述滑动组件（7）安装在基座（3）前端部。2.根据权利要求1所述的一种并联驱动式压电粘滑直线马达，其特征在于：所述斜梯形驱动组件（1）包括单垫片（1-1）、矩形结构铰链（1-2）、基米螺钉（1-3）、铰链固定螺栓（1-4）和压电叠堆（1-5）；所述单垫片（1-1）和基米螺钉（1-3）将压电叠堆（1-5）固定在矩形结构铰链（1-2）内；所述矩形结构铰链（1-2）采用5025铝合金、6061铝合金、7075铝合金、Ti-35A钛合金或Ti-13钛合金材料；所述矩形结构铰链（1-2）两侧设置有刚性连接横梁（1-2-1）；所述矩形结构铰链（1-2）后端部设置有铰链固定螺栓安装孔（1-2-2），通过铰链固定螺栓（1-4）与铰链安装螺纹孔（5-3）的螺纹连接将矩形结构铰链（1-2）直接固定在燕尾平台（5）上；所述矩形结构铰链（1-2）尾部设置有基米螺钉安装螺纹孔（1-2-3），基米螺钉（1-3）安装在基米螺钉安装螺纹孔（1-2-3）内；所述矩形结构铰链（1-2）设置有垫片限位槽（1-2-4），所述垫片限位槽（1-2-4）与单垫片（1-1）接触；所述矩形结构铰链（1-2）两侧设置有几何形柔性铰链（1-2-5），所述同侧的几何形柔性铰链（1-2-5）通过刚性连接横梁（1-2-1）进行连接；所述矩形结构铰链（1-2）前端部设置有斜梯形横梁（1-2-6）；所述矩形结构铰链（1-2）顶部设置有半圆形驱动足（1-2-7）。3.根据权利要求1所述一种并联驱动式压电粘滑直线马达，其特征在于：所述基座（3）包括燕尾平台限位条安装凹槽（3-1）、燕尾平台安装平面（3-2）、燕尾平台位移调节器安装螺纹孔（3-3）、基座安装孔（3-4）、垫块（3-5）、导轨安装平面（3-6）、导轨限位凸台（3-7）和导轨安装螺纹孔（3-8）；所述燕尾平台限位条安装凹槽（3-1）与燕尾平台限位条凸台（6-2）间隙配合；所述燕尾平台安装平面（3-2）与燕尾平台滑行面（5-5）接触；所述燕尾平台位移调节器安装螺纹孔（3-3）安装燕尾平台位移调节器（4）；所述基座安装孔（3-4）可与其他外围装置进行固定；所述垫块（3-5）可与其他外围装置进行接触；所述导轨安装平面（3-6）和导轨安装螺纹孔（3-8）固定安装滑动组件（7）；所述导轨限位凸台（3-7）限定滑动组件（7）的安装位置。4.根据权利要求1所述一种并联驱动式压电粘滑直线马达，其特征在于：所述燕尾平台位移调节器（4）包括解耦球头（4-2）和手动调节螺杆（4-1）；所述手动调节螺杆（4-1）的外螺纹与燕尾平台位移调节器安装螺纹孔（3-3）的内螺纹进行螺纹连接配合；所述解耦球头（4-2）与位移调节器凹槽（5-7）接触。5.根据权利要求1所述一种并联驱动式压电粘滑直线马达，其特征在于：所述燕尾平台（5）包括锁紧螺钉安装螺纹孔（5-1）、位移调节器挡板（5-2）、铰链安装螺纹孔（5-3）、铰链安装平面（5-4）、燕尾平台滑行面（5-5）、燕尾斜面（5-6）和位移调节器凹槽（5-7）；所述锁紧螺钉安装螺纹孔（5-1）安装锁紧螺钉（2）；所述锁紧螺钉（2）通过锁紧螺钉安装螺纹孔（5-1）后，与燕尾平台安装平面（3-2）接触；所述位移调节器挡板（5-2）设置在燕尾平台（5）的后端部，与铰链安装平面（5-4）垂直；所述铰链安装螺纹孔（5-3）和铰链安装平面（5-4）固定安装矩形结构铰链（1-2）；所述燕尾平台滑行面（5-5）与燕尾平台安装平面（3-2）接触；燕尾斜面（5-6）与燕尾平台限位平面...

【专利技术属性】
技术研发人员：程廷海，唐晚静，卢晓晖，陈茜炎，贾荣，曹展豪，
申请(专利权)人：长春工业大学，
类型：发明
国别省市：吉林,22