谐振子以及谐振装置制造方法及图纸

在谐振子中，抑制谐振频率的偏移。具备：振动部，其具有基部、和一端与基部连接的多个振动臂；保持部，其设在振动部的周围的至少一部分；以及保持臂，其设在振动部与保持部之间，一端与基部中的隔着基部与和振动臂连接的前端对置的后端连接，另一端与保持部连接，保持臂具有：一对第一支臂，各自的一端在后端与基部连接；以及连结部，其将一对第一支臂连结并与保持部连接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】谐振子以及谐振装置
本专利技术涉及多个振动臂以面外的弯曲振动模式进行振动的谐振子以及谐振装置。
技术介绍
以往，使用了MEMS(MicroElectroMechanicalSystems：微机电系统)技术的谐振装置例如作为定时设备(timingdevice)被使用。该谐振装置被安装在组装于智能手机等电子设备内的印刷电路基板上。谐振装置具备下侧基板、与下侧基板之间形成空腔的上侧基板、以及在下侧基板及上侧基板之间被配置在空腔内的谐振子。例如专利文献1公开了具备多个振动臂的谐振子。在该谐振子中，振动臂在其固定端与基部的前端连接，基部在与前端相反侧的后端与支承部连接。支承部例如与夹在下侧基板以及上侧基板之间的基台连接。在专利文献1的图1的例子中，通过将施加到振动臂的电场相互设定为相反方向，在内侧的振动臂与外侧的两条振动臂之间实现相互相反相位的振动。专利文献1：日本专利第5071058号公报在相反相位的振动时，如专利文献1的图1(c)所示，在与Y轴平行延伸的中心轴周围在各振动臂产生扭矩。通过该扭矩，在谐振子的基部，在邻接的以相反相位振动的振动臂的中心轴彼此之间，绕与该中心轴平行地规定的旋转轴产本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种谐振子，其中，具备：振动部，其具有基部、和一端与上述基部连接的多个振动臂；保持部，其设在上述振动部的周围的至少一部分；以及保持臂，其设在上述振动部与上述保持部之间，一端与上述基部中的隔着上述基部与和上述多个振动臂连接的前端对置的后端连接，另一端与上述保持部连接，上述保持臂具有：一对第一支臂，该一对第一支臂各自的一端在上述基部中的上述后端与上述基部连接；以及连结部，其将上述一对第一支臂连结并与上述保持部连接。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.10.13 US 62/240,5741.一种谐振子，其中，具备：振动部，其具有基部、和一端与上述基部连接的多个振动臂；保持部，其设在上述振动部的周围的至少一部分；以及保持臂，其设在上述振动部与上述保持部之间，一端与上述基部中的隔着上述基部与和上述多个振动臂连接的前端对置的后端连接，另一端与上述保持部连接，上述保持臂具有：一对第一支臂，该一对第一支臂各自的一端在上述基部中的上述后端与上述基部连接；以及连结部，其将上述一对第一支臂连结并与上述保持部连接。2.根据权利要求1所述的谐振子，其中，上述一对第一支臂设在上述多个振动臂延伸的第一方向，上述连结部具有：第一连结臂，其设在与上述第一方向大致正交的第二方向，且一端与上述一对第一支臂的一方的另一端连接，另一端与上述一对第一支臂的另一方的另一端连接；以及第二支臂，其设在上述第一方向，且一端与上述第一连结臂的中央附近连接，另一端与上述保持部中的和上述基部的上述后端对置的区域连接。3.根据权利要求1所述的谐振子，其中，上述一对第一支臂设在上述多个振动臂延伸的第一方向，上述连结部具有：第一连结臂，其设在与上述第一方向大致正交的第二方向，且一端与上述一对第一支臂的一方的另一端连接，另一端与上述一对第一支臂的另一方的另一端连接；第二连结臂，其沿着上述第二方向，设在上述第一连结臂与上述保持部之间；第二支臂，其设在上述第一方向，且一端与上述第一连结臂的中央附近连接，另一端与上述第二连结臂的中央附近连接；以及一对第三支臂，该一对第三支臂设在上述第一方向，且一端与上述第二连结臂的任意一个端部...

【专利技术属性】
技术研发人员：广田和香奈，维莱·卡亚卡里，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP