谐振子和谐振装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供谐振子和谐振装置，在谐振子中，能够在维持振荡电路的振荡效率的状态下，实现谐振子的小型化。谐振子具备基部和具备多个振动臂的振动部，该多个振动臂具有一端和另一端，该一端与基部连接，多个振动臂具有压电薄膜和层叠于该压电薄膜的电极，随着从一端趋向另一端，多个振动臂的各自宽度变大，在多个振动臂，随着从该振动臂的一端趋向另一端，电极的宽度分别变大。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】谐振子和谐振装置
本专利技术涉及多个振动臂以面外折弯振动模式进行振动的谐振子和谐振装置。
技术介绍
以往，使用了MEMS(MicroElectroMechanicalSystems：微机电系统)技术的谐振装置例如被作为定时装置使用。该谐振装置安装于组装在智能手机等电子设备内的印刷电路基板上。谐振装置具备下侧基板、在与下侧基板之间形成腔室的上侧基板、在下侧基板与上侧基板之间配置于腔室内的谐振子。例如在专利文献1中公开了具备多个振动臂的谐振子。在该谐振子中，振动臂分别呈长边形状，基部侧的端部为固定端，与基部相反一侧的端部为自由端。而且，在振动臂的自由端的顶端部设置有横截面积大于振动臂的靠基部侧的部分的质量部(锤头)。在专利文献1所述的谐振子中，能够通过增大振动臂的顶端部的质量，来将振动臂的折弯振动的频率设定得低，进而能够将振动臂的长度构成得短，能够既保持所希望的频率值，又能实现谐振装置的小型化。专利文献1：日本特开2012-105044号公报然而，如专利文献1中记载的那样，在振动臂的自由端设置锤头，由此谐振子的静电容降低。其结果是，谐振电阻增加，振荡电路的振荡效率恶化。
技术实现思路
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【技术保护点】
一种谐振子，其特征在于，具备基部和具有多个振动臂的振动部，所述多个振动臂具有一端和另一端，所述一端与所述基部连接，所述多个振动臂具有压电薄膜和层叠于该压电薄膜的电极，随着从所述一端趋向所述另一端，所述多个振动臂的各自宽度变大，在所述多个振动臂处，随着从所述振动臂的所述一端趋向所述另一端，所述电极的宽度分别变大。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.09.18 JP 2015-1858901.一种谐振子，其特征在于，具备基部和具有多个振动臂的振动部，所述多个振动臂具有一端和另一端，所述一端与所述基部连接，所述多个振动臂具有压电薄膜和层叠于该压电薄膜的电极，随着从所述一端趋向所述另一端，所述多个振动臂的各自宽度变大，在所述多个振动臂处，随着从所述振动臂的所述一端趋向所述另一端，所述电极的宽度分别变大。2.根据权利要求1所述的谐振子，其特征在于，还具备：保持部，其设置于所述振动部的周围的至少局部；和保持臂，其设置于所述振动部与所述保持部之间，连接所述基部与所述保持部。3.根据权利要求1或者2所述的谐振子，其特征在于，所述多个振动臂的所述一端连接于所述基部的第一边，所述多个振动臂沿与所述第一边大致正交的第一方向延伸。4.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：广田和香奈，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP