一种具有多对驱动感应电极的电容式MEMS谐振器制造技术

本发明专利技术属于电子科学技术领域，具体提供一种具有多对驱动感应电极的电容式MEMS谐振器，用以克服现有电容式谐振器输出电流小、带负载能力差的问题；本发明专利技术MEMS谐振器，包括1个振动块、4个振动块支撑梁、4个振动块锚点、4个输入输出电极、4个电极支撑梁及4个电极锚点，通过对振动块进行分区掺杂、及输入输出电极掺杂的方法，构造四对驱动感应电极，使谐振器工作时的静电力大幅增加，从而使谐振器的输出电流和最大振动幅度也大幅增加，提高了谐振器的驱动能力。

【技术实现步骤摘要】
一种具有多对驱动感应电极的电容式MEMS谐振器
本专利技术属于电子科学
，涉及射频微机电系统(RFMEMS器件，尤其是电容式MEMS谐振器，具体提供一种具有多对驱动感应电极的电容式MEMS谐振器。
技术介绍
谐振器是电子设备中的关键器件之一，目前电子设备中使用的主要是石英晶体谐振器，但随着对电子设备高性能、小型化的进一步要求，石英晶体谐振器的大体积、高功耗和无法与IC工艺兼容等缺点变得非常凸显。静电驱动电容式MEMS谐振器是一种基于微机械工艺和微机械振动的高性能谐振器器件，它具有体积小、低功耗、与IC工艺兼容的优点，使得其在系统小型化发展过程中具有良好的前景。目前研究较多的MEMS谐振器主要是静电驱动电容式MEMS谐振器，这一类谐振器的工作过程是一个机械能和电能反复交换的过程，根据其工作过程，可以将其结构分为三部分：即输入变换器、机械振子及输出变换器组成；输入变换器将输入的电信号转换成机械信号，机械振子通过其机械振动频率滤出工作信号，输出变换器将机械信号再转换成电信号通过输出电极输出；输入换能和输出换能都是通过机械振子和电极之间的电容进行。上述结构的电容式谐振器的典型问题是振动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有多对驱动感应电极的电容式MEMS谐振器，包括：1个振动块、4个振动块支撑梁、4个振动块锚点、4个输入输出电极、4个电极支撑梁及4个电极锚点；其特征在于，所述振动块呈正方形、且通过分别设置于振动块四角的振动块支撑梁与振动块锚点相连，所述输入输出电极设置于振动块的外侧、分别对应振动块的四边、且通过电极支撑梁与电极锚点相连；所述振动块、振动块支撑梁、输入输出电极及电极支撑梁均由多晶硅重掺杂形成，所述振动块分割为1个正方形半导体区与4个梯形半导体区，所述正方形半导体区位于中心、且采用任意掺杂类型，所述4个梯形半导体区围绕正方形半导体区，相邻梯形半导体区采用相反类型掺杂，同时，每个梯形半导体区与...

【技术特征摘要】
1.一种具有多对驱动感应电极的电容式MEMS谐振器，包括：1个振动块、4个振动块支撑梁、4个振动块锚点、4个输入输出电极、4个电极支撑梁及4个电极锚点；其特征在于，所述振动块呈正方形、且通过分别设置于振动块四角的振动块支撑梁与振动块锚点相连，所述输入输出电极设置于振动块的外侧、分别对应振动块的四边、且通过电极支撑梁与电极锚点相连；所述振动块、振动块支撑梁、输入输出电极及电极支撑梁均由多晶硅重掺杂形成，所述振动块分割为1个正方形半导体区与4个梯形半导体区，所述正方形半导体区位于中心、且采用任意掺杂类型，所述4个梯形半导体区围绕正方形半导体区，相邻梯形半导体区采用相反类型掺杂，同时，每个梯形半导体区与相连的振动块支撑梁采用相同类型掺杂、且与对应的输入输出电极采用相反类型掺杂；所述振动块...

【专利技术属性】
技术研发人员：鲍景富，秦风，李昕熠，鲍飞鸿，张翼，张亭，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：四川,51