流体混合装置制造方法及图纸

一种流体混合装置，包括顺序流体连接的缓冲槽、计量装置和混合槽，还包括第一三通装置、第二三通装置和第三三通装置；其中，所述第一三通装置的第一端用于和第一流体供给源连接，第二端与所述缓冲槽输入端流体连接，第三端与所述第二三通装置的第一端流体连接；所述第二三通装置的第二端与所述混合槽输入端流体连接，第三端与所述第三三通装置的第一端流体连接；所述第三三通装置的第二端与所述缓冲槽输入端流体连接，第三端用于和第二流体供给源连接。本发明专利技术能够实现在两种流体供给源与流体混合装置连接端不变的情况下该两种流体任意比例的混合。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造
，特别涉及一种半导体制造工艺中 的流体混合装置。
技术介绍
在半导体集成电路的制造工艺中，常常需要湿法刻蚀或湿法清洗工艺，例如在/^开号为CN101063821A的中国专利申^"文件中/>开了 一种去 除刻蚀残留物的工艺，其中应用了湿法清洗工艺去除刻蚀残留物。在湿法刻蚀或湿法清洗的工艺中，有时需要两种或两种以上的刻蚀 溶液或清洗溶液混合使用。因而需要能够将两种不同的溶液按照一定比 例进行混合的装置。图l为现有技术中一种流体混合装置，所述的流体混合装置包括緩冲 槽IOO、计量泵102和混合槽104。其中，緩冲槽100通过流体管路与所述 计量泵102连接，计量泵102通过流体管路与所述混合槽104连接，在所述 緩冲槽100上具有第一接入端106，用于和第一流体供给源连接，在所述 混合槽104上具有第二接入端108,由于和第二流体供给源连接。所述混 合槽104具有输出端105，用于将所述混合槽104中的液体输出。应用所述的流体混合装置混合两种不同的流体时，将第 一接入端106 连接至第一流体供给源，将第二接入端108连接至第二流体供给源。同时 向所述流体供给装置供给第 一流体和第二流体；第 一流体经第 一接入端 106输入緩冲槽100，然后经计量泵102按照一定流量输入至混合槽104; 第二流体经第二接入端108后输入至混合槽104,第二流体通过流量表控 制输入到混合槽104中的流量。按照不同的流量同时输入到混合槽104中 的第一流体和第二流体混合，形成混合液。为了实现对流体流量的精确控制，计量泵102的流量一般较小，因而 经过緩冲槽100以及计量泵102输入的流体的流量较小，而经输入端108输 入的流体的流量较大，导致所述的流体混合装置仅仅适用于对第一流体 比例小于第二流体比例时的混合，例如，第一流体和第二流体比为l: 100时可以适用所述的流体混合装置；当需要混合液中第一流体的比例大于 第二流体比例时，例如需要第一流体和第二流体比例为100: l时，就需 要将第 一流体供给源连接至第二接入端108，而将第二流体供给源连接至 第一输入端106才能实现，操作较为麻烦；所述的流体混合装置无法实现 第一流体供给源、第二流体供给源与该流体混合装置连接端不变的情况 下第 一 流体和第二流体任意比例的混合。
技术实现思路
本专利技术提供一种流体混合装置，本专利技术能够实现在两种流体供给源 与流体混合装置连接端不变的情况下该两种流体任意比例的混合。本专利技术提供的一种流体混合装置，包括顺序流体连接的緩冲槽、计 量装置和混合槽，还包括第一三通装置、第二三通装置和第三三通装置；其中，所述第一三通装置的第一端用于和第一流体供给源连接，第 二端与所述緩冲槽输入端流体连接，第三端与所述第二三通装置的第一 端流体连4妻；所述第二三通装置的第二端与所述混合槽输入端流体连接，第三端 与所述第三三通装置的第 一端流体连接；所述第三三通装置的第二端与所述緩冲槽输入端流体连接，第三端 和第二流体供给源连接。可选的，所述第一三通装置、第二三通装置和/或第三三通装置为 三通阀。可选的，所述第一三通装置、第二三通装置和/或第三三通装置由 第一单通阀、第二单通阀和第三单通阀组成；其中，所述第一单通阀的 一端、第二单通阀的一端和第三单通阀的一端连^妻在一起，另一端分别 为每一三通装置的第一端、第二端和第三端。可选的，所述第一三通装置由第一单通阀和第二单通阀组成，其中 第一单通阀和第二单通阀的一端连接在一起，作为所述第一三通装置的第 一端，所述第 一单通阀和第二单通阔的另 一端分别作为该第 一三通装 置的第二端和第三端。可选的，所述第二三通装置由第一单通阀和第二单通阀组成，其中 第一单通阀和第二单通阀的一端连接在一起，作为所述第二三通装置的 第二端，所述第 一单通阀和第二单通阀的另 一端分别作为该第二三通装 置的第一端和第三端。可选的，所述第三三通装置由第一单通阀和第二单通阀组成，其中 第一单通阀和第二单通阀的一端连接在一起，作为所述第三三通装置的 第二端，所述第 一单通阀和第二单通阀的另 一端分别作为该笫三三通装 置的第一端和第三端。可选的，所述三通阀和/或单通阀为气动阀或电子阀或枳^成阀。 可选的，所述第二三通装置的第二端与混合槽的之间有计量装置。 可选的，所述计量装置为计量表或计量泵。 可选的，所述第 一流体和/或第二流体为液体或气体。 相应的，本专利技术还提供一种流体混合装置，包括顺序流体连接的緩 冲槽、计量装置和混合槽，还包括第一三通装置、第二三通装置和第三三通装置；其中，所述第一三通装置的第一端用于和第一流体供给源连接，第 二端与所述混合槽输入端流体连接，第三端与所述第二三通装置的第一 端流体连4妄；所述第二三通装置的第二端与所述緩冲槽输入端流体连接，第三端 与所述第三三通装置的第 一端流体连接；所述第三三通装置的第二端与所述混合槽输入端流体连接，第三端 用于和第二流体供给源连接。可选的，所述第一三通装置、第二三通装置和/或第三三通装置为 三通阀。可选的，所述第一三通装置、第二三通装置和/或第三三通装置由 第一单通阀、第二单通阀和第三单通阀组成；其中，所述第一单通阀的 一端、第二单通阀的一端和第三单通阀的一端连接在一起，另一端分别 为每一三通装置的第一端、第二端和第三端。可选的，所述第一三通装置由第一单通阀和第二单通阀组成，其中 第一单通阔和第二单通阀的一端连接在一起，作为所述第一三通装置的 第二端，所述第一单通阀和第二单通阀的另一端分别作为该第一三通装 置的第一端和第三端。可选的，所述第二三通装置由第一单通阀和第二单通阀组成，其中 第一单通阀和第二单通阀的一端连接在一起，作为所述第二三通装置的 第二端，所述第一单通阀和第二单通阀的另一端分别作为该第二三通装 置的第一端和第三端。可选的，所述第三三通装置由第一单通阀和第二单通阀组成，其中 第一单通阀和第二单通阀的一端连接在一起，作为所述第三三通装置的 第三端，所述第一单通阀和第二单通阀的另一端分别作为该第三三通装 置的第一端和第二端。可选的，所述三通阀和/或单通阀为气动阀或电子阀或才几械阀。可选的，所述第一三通装置的第二端与混合槽之间、第三三通装置 第二端与混合槽之间有计量装置。可选的，所述计量装置为计量表或计量泵。可选的，所述第一流体和/或第二流体为液体或气体。与现有技术相比，上述技术方案中的一个具有以下优点所述的流体混合装置通过第一、第二和第三三通装置之间的连接以 及与混合槽、緩冲槽的连接，能够实现在不必改变两种流体与该流体混 合装置的情况下，实现任意比例的混合，操作较为方便。 附图说明图1为现有技术中的一种流体混合装置的示意图； 图2为本专利技术的流体混合装置的第一实施例的示意图； 图3为本专利技术的流体混合装置的第二实施例的示意图； 图4为本专利技术的流体混合装置的第三实施例的示意图； 图5为本专利技术的流体混合装置的第四实施例的示意图；图6为本专利技术的流体混合装置的第五实施例的示意图； 图7为本专利技术的流体混合装置的第六实施例的示意图。 具体实施例方式下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。本专利技术提供一种流体混合装置，可以使两种不同的流体按任意比例 的混合。该流体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流体混合装置，包括顺序流体连接的缓冲槽、计量装置和混合槽，其特征在于：还包括第一三通装置、第二三通装置和第三三通装置；　其中，所述第一三通装置的第一端用于和第一流体供给源连接，第二端与所述缓冲槽输入端流体连接，第三端与所述第二三通装置的第一端流体连接；　所述第二三通装置的第二端与所述混合槽输入端流体连接，第三端与所述第三三通装置的第一端流体连接；　所述第三三通装置的第二端与所述缓冲槽输入端流体连接，第三端和第二流体供给源连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：秦志涛，王伟，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]