【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种蚀刻液，其是对在绝缘膜基板上形成的铝类金属膜及钼类金属膜的层叠膜进行蚀刻的蚀刻液，含有磺酸化合物、磷酸和硝酸，其中，所述磺酸化合物选自硫酸、硫酸铵、硫酸钠、硫酸钾、硫酸氢铵、硫酸氢钠、硫酸氢钾、硫酸钙、硫酸铈铵、硫酸铁、硫酸铜、硫酸镁、硫酸铅、硫酸羟基铵、酰胺硫酸、酰胺硫酸铵、过二硫酸铵、乙二胺硫酸盐、苯胺硫酸盐和腺嘌呤硫酸盐。
【技术特征摘要】
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