一种化学气相共沉积与渗透尾气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于复合材料制造设备领域，涉及对化学气相共沉积与渗透设备使用的尾气处理装置的改进。本实用新型专利技术的特征在于，通过管路依次将水冷过滤器、冷冻过滤器、复合过滤器、真空泵、碱液过滤器和放空燃烧结构串联为四级尾气处理装置，本实用新型专利技术结构简单；操作方便；尾气处理能力强；可同时或单独对化学气相沉积与渗透工艺的尾气煤焦油和氯化氢进行处理。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于复合材料制造设备领域，涉及对化学气相共沉积与渗透设备使用的尾气处理装置的改进。
技术介绍
随着现代科学技术的飞速发展，超高温复合材料在航空、航天以及核工业等高
得到了广泛的研究与应用。目前超高温复合材料的研制大都采用化学气相沉积与渗透工艺，在沉积与渗透过程中产生的尾气包括煤焦油气、未分解的有机硅烷、反应中间产物有机硅化物、沉淀产物粒子以及反应生成的氯化氢气体等对设备及环境危害较大。未分解的有机硅烷和反应生成的HCL遇水将生成腐蚀性极强的酸；反应中间产物有机硅化物、沉淀产物粒子以及煤焦油气在设备中沉积，将使管路以及机械泵堵塞。因此对采用化学气相沉积工艺制备超高温复合材料过程中产生的尾气进行处理具有重要的意义。目前国内研制的化学气相沉积设备的尾气处理装置大都是单独对煤焦油气或氯化氢进行处理，而对于化学气相共沉积与渗透碳和陶瓷过程中产生的尾气，不能同时进行处理。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种结构简单、操作方便，且能同时对化学气相共沉积所产生的煤焦油和氯化氢尾气进行处理的尾气处理装置。本技术的技术方案是一种化学气相共沉积与渗透尾气处理装置，包括一个水冷过滤器、一个冷冻过滤器、一个复合过滤器、真空泵、一个碱液过滤器和放空燃烧机构，其特征在于，通过管路依次将水冷过滤器、冷冻过滤器、复合过滤器、真空泵、碱液过滤器和放空燃烧结构串联为四级尾气处理装置，水冷过滤器的尾气入口与化学气相共沉积与渗透设备的尾气排放端口连通，水冷过滤器的尾气出口通过管路与冷冻过滤器的入口连通，冷冻过滤器的出口通过管路与复合过滤器的入口连通，复合过滤器的出口通过管路与真空泵的入口连通，真空泵的出口通过管路与碱液过滤器的入口连通，碱液过滤器的出口通过管路与放空燃烧机构连通。本技术的优点是1.结构简单；2.运行操作以及定期清除焦油方便；3.尾气处理能力强；4.可同时或单独对化学气相沉积与渗透工艺的尾气煤焦油和氯化氢进行处理。附图说明图1是本技术的结构布局示意图。图中，1.尾气入口；2.冷却水；3.钢丝网球；4.水冷过滤器箱体；5.气体挡板；6.冷冻过滤器箱体；7.冷冻结构；8.液态油；9.干燥剂；10.旋片真空泵；11.罗茨真空泵；12.循环泵；13.碱液；14.碱液管路；15.尾气出口；16.碱液过滤器箱体；17.燃烧放空结构。具体实施方式下面对本技术做进一步详细说明。本技术化学气相共沉积与渗透尾气处理装置采用四级过滤方式。第一级为水冷过滤器，主要是去除煤焦油中的重焦油成分以及反应中间产物有机硅化物；第二级为冷冻过滤器，主要是去除煤焦油中的轻焦油成分；第三级为复合过滤器，内置液态油和干燥剂，液态油可以去除未分解的有机硅烷、沉淀产物粒子，目的是保证由此出来的尾气变成不含固体、液体成分的HCL气体，进而减少对机械泵的损伤与影响；第四级碱液过滤器，主要是去除反应产生的HCL。本技术包括一个水冷过滤器、一个冷冻过滤器、一个复合过滤器、真空泵、一个碱液过滤器和放空燃烧机构，其特征在于，通过管路依次将水冷过滤器、冷冻过滤器、复合过滤器、真空泵、碱液过滤器和放空燃烧结构串联为完整的四级尾气处理装置，水冷过滤器的尾气入口1与化学气相共沉积与渗透设备的尾气排放端口连通，水冷过滤器的尾气出口通过管路与冷冻过滤器的入口连通，冷冻过滤器的出口通过管路与复合过滤器的入口连通，复合过滤器的出口通过管路与真空泵的入口连通，真空泵的出口通过管路与碱液过滤器的入口连通，碱液过滤器的出口通过管路与放空燃烧机构连通。上面所述的水冷过滤器由箱体4、位于箱体4内的冷却水管路2以及位于箱体4内冷却水管路2外的大量钢丝网球构成；所述的冷冻过滤器由箱体6、包围箱体6的冷冻装置7和位于箱体6内的若干气体挡板5组成，气体挡板5交错布置，形成迂回转折的气路；所述的复合过滤器由液态油箱体8和干燥剂箱体9连接组成；所述的真空泵由旋片真空泵10和罗茨真空泵11并联组成；所述的碱液过滤器箱体16、循环泵12、碱液循环管路14构成，碱液过滤器箱体16中有碱液13；尾气输出管15将碱液过滤器箱体16的内腔与放空燃烧机构17连通。在图1的实施例中，尾气入口1与水冷过滤器的箱体4的底部相连接；水冷过滤器的箱体4内设有冷却水弯曲盘管2，并在箱体内装有许多钢丝网球3；冷冻过滤器的箱体6外部紧贴冷冻结构7，气体挡板5依次交错固定在箱体内的左右壁上；复合过滤器内置液态油8以及干燥剂9；旋片真空泵10与罗茨真空泵11采用并联连接；碱液过滤器的箱体16内盛有一定的碱液13，碱液循环管14中装有循环泵12；尾气输出管15与碱液过滤器的箱体16下部相连接。使用本技术进行尾气处理时，开启冷却循环水、冷冻过滤器、真空泵、循环泵，待冷冻过滤器内温度降低到-15℃后，即可进行尾气处理。水冷过滤器以及冷冻过滤器定期拆下进行清理所收集的焦油，复合过滤器中的液态油以及干燥剂定期处理，碱液过滤器中的碱液定期进行更换，即可保证尾气处理彻底以及设备正常运行。权利要求1.一种化学气相共沉积与渗透尾气处理装置，包括一个水冷过滤器、一个冷冻过滤器、一个复合过滤器、真空泵、一个碱液过滤器和放空燃烧机构，其特征在于，通过管路依次将水冷过滤器、冷冻过滤器、复合过滤器、真空泵、碱液过滤器和放空燃烧结构串联为四级尾气处理装置，水冷过滤器的尾气入口与化学气相共沉积与渗透设备的尾气排放端口连通，水冷过滤器的尾气出口通过管路与冷冻过滤器的入口连通，冷冻过滤器的出口通过管路与复合过滤器的入口连通，复合过滤器的出口通过管路与真空泵的入口连通，真空泵的出口通过管路与碱液过滤器的入口连通，碱液过滤器的出口通过管路与放空燃烧机构连通。2.根据权利要求1所述的化学气相共沉积与渗透尾气处理装置，其特征在于，所述的水冷过滤器由箱体、位于箱体内的冷却水管路以及位于箱体内冷却水管路外的大量钢丝网球构成；所述的冷冻过滤器由箱体、包围箱体的冷冻装置和位于箱体内的若干气体挡板组成，气体挡板交错布置，形成迂回转折的气路；所述的复合过滤器由液态油箱体和干燥剂箱体连接组成；所述的真空泵由旋片真空泵和罗茨真空泵并联组成；所述的碱液过滤器箱体、循环泵、碱液循环管路构成，碱液过滤器箱体中有碱液；尾气输出管将碱液过滤器箱体的内腔与放空燃烧机构连通。专利摘要本技术属于复合材料制造设备领域，涉及对化学气相共沉积与渗透设备使用的尾气处理装置的改进。本技术的特征在于，通过管路依次将水冷过滤器、冷冻过滤器、复合过滤器、真空泵、碱液过滤器和放空燃烧结构串联为四级尾气处理装置，本技术结构简单；操作方便；尾气处理能力强；可同时或单独对化学气相沉积与渗透工艺的尾气煤焦油和氯化氢进行处理。文档编号C23C16/44GK2716284SQ20042007308公开日2005年8月10日 申请日期2004年7月7日 优先权日2004年7月7日专利技术者邱海鹏, 韩立军, 王冬, 商凯东 申请人:中国航空工业第一集团公司北京航空制造工程研究所, 锦州市三特真空冶金技术工业有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学气相共沉积与渗透尾气处理装置，包括一个水冷过滤器、一个冷冻过滤器、一个复合过滤器、真空泵、一个碱液过滤器和放空燃烧机构，其特征在于，通过管路依次将水冷过滤器、冷冻过滤器、复合过滤器、真空泵、碱液过滤器和放空燃烧结构串联为四级尾气处理装置，水冷过滤器的尾气入口［１］与化学气相共沉积与渗透设备的尾气排放端口连通，水冷过滤器的尾气出口通过管路与冷冻过滤器的入口连通，冷冻过滤器的出口通过管路与复合过滤器的入口连通，复合过滤器的出口通过管路与真空泵的入口连通，真空泵的出口通过管路与碱液过滤器的入口连通，碱液过滤器的出口通过管路与放空燃烧机构连通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：邱海鹏，韩立军，王冬，商凯东，
申请(专利权)人：中国航空工业第一集团公司北京航空制造工程研究所，锦州市三特真空冶金技术工业有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]